CN211401176U

CN211401176U - 一种探针卡水平检测装置及关键部件

Info

Publication number: CN211401176U
Application number: CN202020423494.5U
Authority: CN
Inventors: 于海超; 赵梁玉; 王艾琳
Original assignee: Maxone Semiconductor Suzhou Co Ltd
Current assignee: Strong Half Conductor Suzhou Co ltd
Priority date: 2020-03-30
Filing date: 2020-03-30
Publication date: 2020-09-01
Anticipated expiration: 2030-03-30

Abstract

本实用新型公开了一种探针卡水平检测装置及关键部件，所述探针卡水平检测装置包括U型块、夹杆、滑块、胶头滴管、矩形槽、导杆、移动块、T型杆、磁条、弹簧一、通孔、橡胶块一、橡胶块二、螺栓以及弹簧二；所述关键部件包括调节固定机构和夹持机构。本实用新型通过推动滑块调节喷头的位置，推动T型杆，T型杆移动带动磁条移动与磁块分离，在弹簧一弹力的作用下，T型杆移动带动磁条移动与移动块吸附贴合，螺栓沿着螺母移动，螺栓移动对橡胶块二进行挤压，橡胶块二移动对弹簧二进行拉伸，使得弹簧二产生弹力，橡胶块二移动将胶头滴管夹持在橡胶块一与橡胶块二之间，弹簧二的弹力便于橡胶块二的移动复位。

Description

一种探针卡水平检测装置及关键部件

技术领域

本实用新型涉及一种水平检测装置，具体是一种探针卡水平检测装置，属于探针卡技术领域。

背景技术

探针卡是一种测试接口，主要对裸芯进行测试，通过连接测试机和芯片，通过传输信号对芯片参数进行测试，一般而言，长期使用探针卡后，其每一支探针长度或多或少存在一些误差而具有不同长度，以致于在对半导体元件进行检测时，无法同时使各探针接触到半导体元件的各接垫或凸块。因此，在使用探针卡之前必须对探针进行长度校正，使各探针端部位于同一水平而具有相同长度。

目前使用的探针卡水平检测装置存在一定缺陷，缺少胶头滴管便捷调节固定装置，进而不方便对探针卡不同的位置进行滴液测试，同时缺少胶头滴管便捷夹持功能，进而不方便对胶头滴管进行更换安装，采用手持胶头滴管，手部晃动会影响滴液滴落，使得滴液在水平方向上具有速度，影响测试效果。因此，针对上述问题提出一种探针卡水平检测装置。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种探针卡水平检测装置。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的，一种探针卡水平检测装置，包括U型块、夹杆、滑块、胶头滴管、调节固定机构以及夹持机构，所述U型块内部对称安装两个夹杆，所述夹杆一端固定安装压缩弹簧，且压缩弹簧一端固定安装在U型块上，所述U型块一端安装滑块，且滑块上放置胶头滴管；

所述调节固定机构包括矩形槽、导杆、移动块、T型杆、磁条以及弹簧一，所述U型块右端上侧开设矩形槽，且矩形槽内部固定安装导杆，所述导杆环形侧面上安装移动块，且移动块右端固定安装在滑块上，所述U型块顶端安装T型杆，所述T型杆环形侧面上安装弹簧一，且弹簧一两端分别固定安装在T型杆上以及U型块上，所述T型杆底端延伸至矩形槽内部，且T型杆底端固定安装磁条；

所述夹持机构包括通孔、橡胶块一、橡胶块二、螺栓以及弹簧二，所述滑块顶端开设通孔，且通孔内部安装胶头滴管，所述通孔内部固定安装橡胶块一以及弹簧二，所述弹簧二一端固定安装橡胶块二，所述滑块一端安装螺栓，所述螺栓一端延伸至通孔内部与橡胶块二相贴合，所述橡胶块一与橡胶块二均与胶头滴管环形侧面相贴合。

优选的，所述螺栓环形侧面上安装螺母，且螺母固定安装在滑块内部。

优选的，所述矩形槽内部顶端开设收纳槽，且收纳槽的长度与矩形槽的长度相同，所述收纳槽内部安装磁条，且磁条的长度与收纳槽的长度相同。

优选的，所述收纳槽内部固定安装磁块，且磁块通过螺钉固定安装在收纳槽内部。

优选的，所述弹簧一顶端通过铆钉一固定安装在T型杆上，所述弹簧一底端通过铆钉二固定安装在U型块上。

优选的，所述移动块一端开设圆孔，且圆孔内部均匀安装两个以上滚珠，所述滚珠球形侧面与导杆环形侧面相贴合。

一种探针卡水平检测装置关键部件，为调节固定机构，包括矩形槽、导杆、移动块、T型杆、磁条以及弹簧一，所述U型块右端上侧开设矩形槽，且矩形槽内部固定安装导杆，所述导杆环形侧面上安装移动块，且移动块右端固定安装在滑块上，所述U型块顶端安装T型杆，所述T型杆环形侧面上安装弹簧一，且弹簧一两端分别固定安装在T型杆上以及U型块上，所述T型杆底端延伸至矩形槽内部，且T型杆底端固定安装磁条。

一种探针卡水平检测装置关键部件，为夹持机构，包括通孔、橡胶块一、橡胶块二、螺栓以及弹簧二，所述滑块顶端开设通孔，且通孔内部安装胶头滴管，所述通孔内部固定安装橡胶块一以及弹簧二，所述弹簧二一端固定安装橡胶块二，所述滑块一端安装螺栓，所述螺栓一端延伸至通孔内部与橡胶块二相贴合，所述橡胶块一与橡胶块二均与胶头滴管环形侧面相贴合。

本实用新型的有益效果是：

1、第一条有益效果，T型杆移动对弹簧一进行拉伸，使得弹簧一产生弹力，弹簧一的弹力小于磁块与磁条之间的吸附力，进而将磁条收纳在收纳槽内部与移动块分离，使用人员通过推动滑块调节喷头的位置，推动T型杆，T型杆移动带动磁条移动与磁块分离，在弹簧一弹力的作用下，T型杆移动带动磁条移动与移动块吸附贴合，解决了缺少胶头滴管便捷调节固定装置，进而不方便对探针卡不同的位置进行滴液测试的问题；

2、第二条有益效果，螺栓沿着螺母移动，螺栓移动对橡胶块二进行挤压，橡胶块二移动对弹簧二进行拉伸，使得弹簧二产生弹力，橡胶块二移动将胶头滴管夹持在橡胶块一与橡胶块二之间，弹簧二的弹力便于橡胶块二的移动复位，解决了缺少胶头滴管便捷夹持功能，进而不方便对胶头滴管进行更换安装，采用手持胶头滴管，手部晃动会影响滴液滴落，使得滴液在水平方向上具有速度，影响测试效果的弊端。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型调节固定结构示意图；

图3为本实用新型夹持机构结构示意图。

图中：1、U型块，2、夹杆，3、滑块，4、胶头滴管，5、矩形槽，6、导杆，7、移动块，8、T型杆，9、磁条，10、弹簧一，11、通孔，12、橡胶块一，13、橡胶块二，14、螺栓，15、弹簧二。

具体实施方式

为使得本实用新型的实用新型目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，下面所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而非全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

具体实施例一

以下实施例是本申请探针卡水平检测装置的实施例。

请参阅图1-3所示，一种探针卡水平检测装置，包括U型块1、夹杆2、滑块3、胶头滴管4、调节固定机构以及夹持机构，所述U型块1内部对称安装两个夹杆2，所述夹杆2一端固定安装压缩弹簧，且压缩弹簧一端固定安装在U型块1上，所述U型块1一端安装滑块3，且滑块3上放置胶头滴管4；

所述调节固定机构包括矩形槽5、导杆6、移动块7、T型杆8、磁条9以及弹簧一10，所述U型块1右端上侧开设矩形槽5，且矩形槽5内部固定安装导杆6，所述导杆6环形侧面上安装移动块7，且移动块7右端固定安装在滑块3上，所述U型块1顶端安装T型杆8，所述T型杆8环形侧面上安装弹簧一10，且弹簧一10两端分别固定安装在T型杆8上以及U型块1上，所述T型杆8底端延伸至矩形槽5内部，且T型杆8底端固定安装磁条9，使用人员拉动T型杆8，T型杆8移动带动磁条9移动与磁块吸附贴合，T型杆8移动对弹簧一10进行拉伸，使得弹簧一10产生弹力，弹簧一10的弹力小于磁块与磁条9之间的吸附力，进而将磁条9收纳在收纳槽内部与移动块7分离，使用人员通过推动滑块3调节喷头的位置，推动T型杆8，T型杆8移动带动磁条9移动与磁块分离，在弹簧一10弹力的作用下，T型杆8移动带动磁条9移动与移动块7吸附贴合，进而对滑块3以及胶头滴管4进行固定；

所述夹持机构包括通孔11、橡胶块一12、橡胶块二13、螺栓14以及弹簧二15，所述滑块3顶端开设通孔11，且通孔11内部安装胶头滴管4，所述通孔11内部固定安装橡胶块一12以及弹簧二15，所述弹簧二15一端固定安装橡胶块二13，所述滑块3一端安装螺栓14，所述螺栓14一端延伸至通孔11内部与橡胶块二13相贴合，所述橡胶块一12与橡胶块二13均与胶头滴管4环形侧面相贴合，使用人员将胶头滴管4放置在通孔11内部，接着使用人员拧动螺栓14，螺栓14沿着螺母移动，螺栓14移动对橡胶块二13进行挤压，橡胶块二13移动对弹簧二15进行拉伸，使得弹簧二15产生弹力，橡胶块二13移动将胶头滴管4夹持在橡胶块一12与橡胶块二13之间，弹簧二15的弹力便于橡胶块二13的移动复位。

所述螺栓14环形侧面上安装螺母，且螺母固定安装在滑块3内部；所述矩形槽5内部顶端开设收纳槽，且收纳槽的长度与矩形槽5的长度相同，所述收纳槽内部安装磁条9，且磁条9的长度与收纳槽的长度相同；所述收纳槽内部固定安装磁块，且磁块通过螺钉固定安装在收纳槽内部；所述弹簧一10顶端通过铆钉一固定安装在T型杆8上，所述弹簧一10底端通过铆钉二固定安装在U型块1上；所述移动块7一端开设圆孔，且圆孔内部均匀安装两个以上滚珠，所述滚珠球形侧面与导杆6环形侧面相贴合。

本实用新型在使用时，T型杆8移动对弹簧一10进行拉伸，使得弹簧一10产生弹力，弹簧一10的弹力小于磁块与磁条9之间的吸附力，进而将磁条9收纳在收纳槽内部与移动块7分离，使用人员通过推动滑块3调节喷头的位置，推动T型杆8，T型杆8移动带动磁条9移动与磁块分离，在弹簧一10弹力的作用下，T型杆8移动带动磁条9移动与移动块7吸附贴合。

螺栓14沿着螺母移动，螺栓14移动对橡胶块二13进行挤压，橡胶块二13移动对弹簧二15进行拉伸，使得弹簧二15产生弹力，橡胶块二13移动将胶头滴管4夹持在橡胶块一12与橡胶块二13之间，弹簧二15的弹力便于橡胶块二13的移动复位。

具体实施例二

以下实施例是本申请探针卡水平检测装置用调节固定机构的实施例。

一种探针卡水平检测装置用调节固定机构，包括矩形槽5、导杆6、移动块7、T型杆8、磁条9以及弹簧一10，所述U型块1右端上侧开设矩形槽5，且矩形槽5内部固定安装导杆6，所述导杆6环形侧面上安装移动块7，且移动块7右端固定安装在滑块3上，所述U型块1顶端安装T型杆8，所述T型杆8环形侧面上安装弹簧一10，且弹簧一10两端分别固定安装在T型杆8上以及U型块1上，所述T型杆8底端延伸至矩形槽5内部，且T型杆8底端固定安装磁条9。

具体实施例三

以下实施例是本申请探针卡水平检测装置用夹持机构的实施例。

一种探针卡水平检测装置用夹持机构，包括通孔11、橡胶块一12、橡胶块二13、螺栓14以及弹簧二15，所述滑块3顶端开设通孔11，且通孔11内部安装胶头滴管4，所述通孔11内部固定安装橡胶块一12以及弹簧二15，所述弹簧二15一端固定安装橡胶块二13，所述滑块3一端安装螺栓14，所述螺栓14一端延伸至通孔11内部与橡胶块二13相贴合，所述橡胶块一12与橡胶块二13均与胶头滴管4环形侧面相贴合。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的得同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

以上所述，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims

1.一种探针卡水平检测装置，其特征在于：包括U型块（1）、夹杆（2）、滑块（3）、胶头滴管（4）、调节固定机构以及夹持机构，所述U型块（1）内部对称安装两个夹杆（2），所述夹杆（2）一端固定安装压缩弹簧，且压缩弹簧一端固定安装在U型块（1）上，所述U型块（1）一端安装滑块（3），且滑块（3）上放置胶头滴管（4）；

所述调节固定机构包括矩形槽（5）、导杆（6）、移动块（7）、T型杆（8）、磁条（9）以及弹簧一（10），所述U型块（1）右端上侧开设矩形槽（5），且矩形槽（5）内部固定安装导杆（6），所述导杆（6）环形侧面上安装移动块（7），且移动块（7）右端固定安装在滑块（3）上，所述U型块（1）顶端安装T型杆（8），所述T型杆（8）环形侧面上安装弹簧一（10），且弹簧一（10）两端分别固定安装在T型杆（8）上以及U型块（1）上，所述T型杆（8）底端延伸至矩形槽（5）内部，且T型杆（8）底端固定安装磁条（9）；

所述夹持机构包括通孔（11）、橡胶块一（12）、橡胶块二（13）、螺栓（14）以及弹簧二（15），所述滑块（3）顶端开设通孔（11），且通孔（11）内部安装胶头滴管（4），所述通孔（11）内部固定安装橡胶块一（12）以及弹簧二（15），所述弹簧二（15）一端固定安装橡胶块二（13），所述滑块（3）一端安装螺栓（14），所述螺栓（14）一端延伸至通孔（11）内部与橡胶块二（13）相贴合，所述橡胶块一（12）与橡胶块二（13）均与胶头滴管（4）环形侧面相贴合。

2.根据权利要求1所述的一种探针卡水平检测装置，其特征在于：所述螺栓（14）环形侧面上安装螺母，且螺母固定安装在滑块（3）内部。

3.根据权利要求1所述的一种探针卡水平检测装置，其特征在于：所述矩形槽（5）内部顶端开设收纳槽，且收纳槽的长度与矩形槽（5）的长度相同，所述收纳槽内部安装磁条（9），且磁条（9）的长度与收纳槽的长度相同。

4.根据权利要求3所述的一种探针卡水平检测装置，其特征在于：所述收纳槽内部固定安装磁块，且磁块通过螺钉固定安装在收纳槽内部。

5.根据权利要求1所述的一种探针卡水平检测装置，其特征在于：所述弹簧一（10）顶端通过铆钉一固定安装在T型杆（8）上，所述弹簧一（10）底端通过铆钉二固定安装在U型块（1）上。

6.根据权利要求1所述的一种探针卡水平检测装置，其特征在于：所述移动块（7）一端开设圆孔，且圆孔内部均匀安装两个以上滚珠，所述滚珠球形侧面与导杆（6）环形侧面相贴合。

7.一种探针卡水平检测装置关键部件，其特征在于：为调节固定机构，包括矩形槽（5）、导杆（6）、移动块（7）、T型杆（8）、磁条（9）以及弹簧一（10），U型块（1）右端上侧开设矩形槽（5），且矩形槽（5）内部固定安装导杆（6），所述导杆（6）环形侧面上安装移动块（7），且移动块（7）右端固定安装在滑块（3）上，所述U型块（1）顶端安装T型杆（8），所述T型杆（8）环形侧面上安装弹簧一（10），且弹簧一（10）两端分别固定安装在T型杆（8）上以及U型块（1）上，所述T型杆（8）底端延伸至矩形槽（5）内部，且T型杆（8）底端固定安装磁条（9）。

8.一种探针卡水平检测装置关键部件，其特征在于：为夹持机构，包括通孔（11）、橡胶块一（12）、橡胶块二（13）、螺栓（14）以及弹簧二（15），滑块（3）顶端开设通孔（11），且通孔（11）内部安装胶头滴管（4），所述通孔（11）内部固定安装橡胶块一（12）以及弹簧二（15），所述弹簧二（15）一端固定安装橡胶块二（13），所述滑块（3）一端安装螺栓（14），所述螺栓（14）一端延伸至通孔（11）内部与橡胶块二（13）相贴合，所述橡胶块一（12）与橡胶块二（13）均与胶头滴管（4）环形侧面相贴合。