CN211385479U - 靶材真空喷涂生产设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于靶材生产领域，具体为靶材真空喷涂生产设备，包括除尘机构，所述除尘机构包括除尘回收机、负压管、管道接头，所述除尘回收机前部设有所述负压管，所述负压管前端设有所述管道接头，所述除尘机构上设有用于喷涂的喷涂机构，所述喷涂机构上设有用于方便取放靶材的放置机构，所述喷涂机构包括导轨一、直线电机一、导轨二、直线电机二、喷箱，所述喷箱前部设有挡门，所述挡门上嵌入有观察窗，所述喷箱内侧顶部设有所述导轨一。本本实用新型采用喷涂机构，从而可以带动喷枪进行移动对靶材不同位置喷涂，这样可以节约空间并且节约制造材料的使用，从而降低成本，并且采用放置机构，从而方便取放靶材，使用方便。

Description

靶材真空喷涂生产设备

技术领域

本实用新型属于靶材生产领域，具体是涉及靶材真空喷涂生产设备。

背景技术

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。

现有的靶材真空喷涂生产设备，如公开号为CN104174544A的专利文件靶材真空喷涂生产设备所示，它采用带动靶材移动的方式对靶材不同位置进行喷涂，这样导致需要有较大的空间供靶材移动，从而提高了制造成本，并且没有设计可以方便取放靶材的措施，使用不方便。

需要说明的是，公开于本实用新型背景技术部分的信息仅仅旨在增加对本实用新型的总体背景的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。

实用新型内容

为解决现有技术中存在的问题，本实用新型采用喷涂机构，从而可以带动喷枪进行移动对靶材不同位置喷涂，这样可以节约空间并且节约制造材料的使用，从而降低成本，并且采用放置机构，从而方便取放靶材，使用方便。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

靶材真空喷涂生产设备，包括除尘机构，所述除尘机构包括除尘回收机、负压管、管道接头，所述除尘回收机前部设有所述负压管，所述负压管前端设有所述管道接头，其特征在于：所述除尘机构上设有用于喷涂的喷涂机构，所述喷涂机构上设有用于方便取放靶材的放置机构，所述喷涂机构包括导轨一、直线电机一、导轨二、直线电机二、喷箱，所述喷箱前部设有挡门，所述挡门上嵌入有观察窗，所述喷箱内侧顶部设有所述导轨一，所述导轨一上设有所述直线电机一，所述直线电机一底部呈水平通过螺钉连接有所述导轨二，所述导轨二上设有所述直线电机二，所述直线电机二底部设有喷枪支架，所述喷枪支架上安装有喷枪。

在上述技术方案的基础上，所述放置机构包括电机、丝杠、支耳、螺纹套、放置板，所述电机输出轴上设有所述丝杠，所述丝杠前部转动连接有所述支耳，所述支耳底端与所述喷箱焊接，所述丝杠上通过螺纹连接有所述螺纹套，所述螺纹套上端设有所述放置板，所述放置板底端靠近两侧焊接有滑块，所述滑块底部滑动连接有滑轨，所述滑轨底端与所述喷箱焊接。

在上述技术方案的基础上，所述导轨一和所述直线电机一数量均为2且左右对称分布，所述导轨一和所述直线电机一稳定支撑所述导轨二位移。

在上述技术方案的基础上，所述螺纹套与所述放置板靠近后部焊接，所述螺纹套位移后可以带动所述放置板伸出所述喷箱更多，从而更方便取放靶材。

在上述技术方案的基础上，所述放置机构包括放置板、滑块、滑轨、导轨三、直线电机三，所述导轨三上设有所述直线电机三，所述直线电机三顶部安装有所述放置板，所述放置板底端靠近两侧焊接有所述滑块，所述滑块底部滑动连接有所述滑轨，所述滑轨底端与所述喷箱焊接。

在上述技术方案的基础上，所述直线电机三与所述放置板靠近后部通过螺钉连接，所述直线电机三位移后可以带动所述放置板伸出所述喷箱更多，从而更方便取放靶材。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、启动电机带动丝杠转动后使螺纹套和放置板位移，也就可以将靶材放置在放置板上或从放置板上拿取，因此方便取放靶材，使用方便；

2、启动直线电机一带动导轨二沿导轨一位移，同时也可以启动直线电机二带动喷枪支架和喷枪配合位移，从而对靶材不同位置喷涂，这样可以节约空间并且节约制造材料的使用，从而降低成本。

本实用新型的附加技术特征及其优点将在下面的描述内容中阐述地更加明显，或通过本实用新型的具体实践可以了解到。

附图说明

附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本实用新型，但并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型所述靶材真空喷涂生产设备的实施例1中箱体内部结构示意图；

图2是本实用新型所述靶材真空喷涂生产设备的实施例1主视图；

图3是本实用新型所述靶材真空喷涂生产设备的实施例1右视图；

图4是本实用新型所述靶材真空喷涂生产设备的实施例2中箱体内部结构示意图。

附图标记说明如下：

1、除尘机构；101、除尘回收机；102、负压管；103、管道接头；2、喷涂机构；201、导轨一；202、直线电机一；203、导轨二；204、直线电机二；205、喷枪支架；206、喷枪；207、喷箱；208、挡门；209、观察窗；3、放置机构； 301、电机；302、丝杠；303、支耳；304、螺纹套；305、放置板；306、滑块； 307、滑轨；308、导轨三；309、直线电机三。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

实施例1

请参阅图1-图3，本实用新型提供一种技术方案：靶材真空喷涂生产设备，包括除尘机构1，除尘机构1包括除尘回收机101、负压管102、管道接头103，除尘回收机101前部设有负压管102，负压管102前端设有管道接头103，其特征在于：除尘机构1上设有用于喷涂的喷涂机构2，喷涂机构2上设有用于方便取放靶材的放置机构3，喷涂机构2包括导轨一201、直线电机一202、导轨二 203、直线电机二204、喷箱207，喷箱207前部设有挡门208，挡门208上嵌入有观察窗209，喷箱207内侧顶部设有导轨一201，导轨一201上设有直线电机一202，导轨一201和直线电机一202数量均为2且左右对称分布，导轨一201 和直线电机一202稳定支撑导轨二203位移，直线电机一202底部呈水平通过螺钉连接有导轨二203，导轨二203上设有直线电机二204，直线电机二204底部设有喷枪支架205，喷枪支架205上安装有喷枪206。

在上述实施例的基础上：放置机构3包括电机301、丝杠302、支耳303、螺纹套304、放置板305，电机301输出轴上设有丝杠302，丝杠302前部转动连接有支耳303，支耳303底端与喷箱207焊接，丝杠302上通过螺纹连接有螺纹套304，螺纹套304上端设有放置板305，螺纹套304与放置板305靠近后部焊接，螺纹套304位移后可以带动放置板305伸出喷箱207更多，从而更方便取放靶材，放置板305底端靠近两侧焊接有滑块306，滑块306底部滑动连接有滑轨307，滑轨307底端与喷箱207焊接。

本实用新型的工作原理及使用流程：开合挡门208，启动电机301带动丝杠 302转动后使螺纹套304和放置板305位移，也就可以将靶材放置在放置板305 上或从放置板305上拿取，因此方便取放靶材，使用方便，关闭挡门208，启动除尘回收机101通过负压管102和管道接头103对喷箱207内部进行真空吸附将废料进行回收，然后启动直线电机一202带动导轨二203沿导轨一201位移，同时也可以启动直线电机二204带动喷枪支架205和喷枪206配合位移，从而对靶材不同位置喷涂，这样可以节约空间并且节约制造材料的使用，从而降低成本。

实施例2

请参阅图4，实施例2和实施例1的区别在于，放置机构3包括放置板305、滑块306、滑轨307、导轨三308、直线电机三309，导轨三308上设有直线电机三309，直线电机三309顶部安装有放置板305，直线电机三309与放置板305 靠近后部通过螺钉连接，直线电机三309位移后可以带动放置板305伸出喷箱 207更多，从而更方便取放靶材，放置板305底端靠近两侧焊接有滑块306，滑块306底部滑动连接有滑轨307，滑轨307底端与喷箱207焊接，启动直线电机三309带动放置板305使其伸缩，也就可以将靶材放置在放置板305上或从放置板305上拿取，因此方便取放靶材，使用方便。

虽然已经通过示例对本实用新型的一些特定实施例进行了详细说明，但是本领域的技术人员应该理解，以上示例仅是为了进行说明，而不是为了限制本实用新型的范围。本领域的技术人员应该理解，可在不脱离本实用新型的范围和精神的情况下，对以上实施例进行修改。本实用新型的范围由所附权利要求来限定。

Claims (6)

1.靶材真空喷涂生产设备，包括除尘机构(1)，所述除尘机构(1)包括除尘回收机(101)、负压管(102)、管道接头(103)，所述除尘回收机(101)前部设有所述负压管(102)，所述负压管(102)前端设有所述管道接头(103)，其特征在于：所述除尘机构(1)上设有用于喷涂的喷涂机构(2)，所述喷涂机构(2)上设有用于方便取放靶材的放置机构(3)，所述喷涂机构(2)包括导轨一(201)、直线电机一(202)、导轨二(203)、直线电机二(204)、喷箱(207)，所述喷箱(207)前部设有挡门(208)，所述挡门(208)上嵌入有观察窗(209)，所述喷箱(207)内侧顶部设有所述导轨一(201)，所述导轨一(201)上设有所述直线电机一(202)，所述直线电机一(202)底部呈水平通过螺钉连接有所述导轨二(203)，所述导轨二(203)上设有所述直线电机二(204)，所述直线电机二(204)底部设有喷枪支架(205)，所述喷枪支架(205)上安装有喷枪(206)。

2.根据权利要求1所述的靶材真空喷涂生产设备，其特征在于：所述放置机构(3)包括电机(301)、丝杠(302)、支耳(303)、螺纹套(304)、放置板(305)，所述电机(301)输出轴上设有所述丝杠(302)，所述丝杠(302)前部转动连接有所述支耳(303)，所述支耳(303)底端与所述喷箱(207)焊接，所述丝杠(302)上通过螺纹连接有所述螺纹套(304)，所述螺纹套(304)上端设有所述放置板(305)，所述放置板(305)底端靠近两侧焊接有滑块(306)，所述滑块(306)底部滑动连接有滑轨(307)，所述滑轨(307)底端与所述喷箱(207)焊接。

3.根据权利要求1所述的靶材真空喷涂生产设备，其特征在于：所述导轨一(201)和所述直线电机一(202)数量均为2且左右对称分布。

4.根据权利要求2所述的靶材真空喷涂生产设备，其特征在于：所述螺纹套(304)与所述放置板(305)靠近后部焊接。

5.根据权利要求1所述的靶材真空喷涂生产设备，其特征在于：所述放置机构(3)包括放置板(305)、滑块(306)、滑轨(307)、导轨三(308)、直线电机三(309)，所述导轨三(308)上设有所述直线电机三(309)，所述直线电机三(309)顶部安装有所述放置板(305)，所述放置板(305)底端靠近两侧焊接有所述滑块(306)，所述滑块(306)底部滑动连接有所述滑轨(307)，所述滑轨(307)底端与所述喷箱(207)焊接。

6.根据权利要求5所述的靶材真空喷涂生产设备，其特征在于：所述直线电机三(309)与所述放置板(305)靠近后部通过螺钉连接。

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