CN211288763U - 一种新型的双向密封高真空挡板阀 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种新型的双向密封高真空挡板阀，包括气缸、上部法兰盘以及一体式缸体，本实用新型的高真空挡板阀全体为不锈钢三通结构，不易损坏，装配轻便，降低维修成本，另外密封方式采用上下双密封式结构，在挡板阀工作时，直连气缸会把密封挡板打到不锈钢三通最上方，保护密封气缸的中心轴不被等离子气体腐蚀。上部法兰盘中间位置留有一个内置的密封圈和两个上置的油封，有效的提高了挡板阀的密封性，整套结构有效的提高了挡板阀的使用寿命和性能。
Description
技术领域
本实用新型涉及等离子处理技术领域，特别涉及一种用于等离子处理设备的新型的双向密封高真空挡板阀。
背景技术
真空阀门是真空系统中用以调节气流量、 切断或接通管路的元件。 高真空挡板阀以压缩空气为动力， 通过电磁换向阀改变气路方向， 执行气缸驱动挡板阀启闭运动，适用于1.3×10-3Pa~1.0×105Pa真空系统中用以开启或隔断气流。 挡板阀具有结构简单，开闭时间短， 安全可靠， 坚固耐用， 并且可以自动控制等优点， 被广泛应用于电子、 化工、 冶金、 航空、 航天、 材料、 生物医药、 原子能、 宇宙探测等高科技领域。 高真空气动挡板阀的气缸直径及活塞杆的设计十分重要， 挡板阀在开闭时， 若气缸及活塞杆直径设计不合理则会导致阀门产生密封效果差、 使用寿命时间短等问题。
发明内容
为了克服上述缺陷，本实用新型提供了一种新型的双向密封高真空挡板阀，能够提高挡板阀的使用寿命和性能。
本实用新型为了解决其技术问题所采用的技术方案是：一种新型的双向密封高真空挡板阀，包括气缸、上部法兰盘以及一体式缸体，所述一体式缸体为三通结构，其上端出口上安装上部法兰盘，其下端出口为排气口，所述一体式缸体的侧面出口为外接式抽气口，所述气缸的端部连接设置一伸缩连接杆，所述伸缩连接杆的下端连接密封挡板，所述密封挡板在伸缩连接杆的带动下在一体式缸体内上下移动，所述密封挡板呈台阶状设置，其上台阶上设有放置密封圈的上密封圈槽，下台阶下面设有放置密封圈的下密封圈槽，所述密封挡板位于排气口处时，下密封圈槽的密封圈与排气口内侧壁密封连接，所述密封挡板向上移动靠近上部法兰盘时，上密封圈槽的密封圈与上部法兰盘底面密封连接。
作为本实用新型的进一步改进，所述上部法兰盘的中间位置设有一个内置的密封圈，还有两个上置的油封，内置的密封圈与伸缩连接杆密封接触，上置的油封与气缸下端面密封接触。
本实用新型的有益效果是：本实用新型的高真空挡板阀全体为不锈钢三通结构，不易损坏，装配轻便，降低维修成本，另外密封方式采用上下双密封式结构，在挡板阀工作时，直连气缸会把密封挡板打到不锈钢三通最上方，保护密封气缸的中心轴不被等离子气体腐蚀。上部法兰盘中间位置留有一个内置的密封圈和两个上置的油封，有效的提高了挡板阀的密封性，整套结构有效的提高了挡板阀的使用寿命和性能。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图2为本实用新型结构剖视图；
图中标示：1-气缸；2-上部法兰盘；3-一体式缸体；4-排气口；5-外接式抽气口；6-伸缩连接杆；7-密封挡板；8-上密封圈槽；9-下密封圈槽；10-内置的密封圈；11-上置的油封。
具体实施方式
为了加深对本实用新型的理解，下面将结合实施例和附图对本实用新型作进一步详述，该实施例仅用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型保护范围的限定。
图1出示了本实用新型一种新型的双向密封高真空挡板阀的一种实施方式，包括气缸1、上部法兰盘2以及一体式缸体3，所述一体式缸体3为三通结构，其上端出口上安装上部法兰盘2，其下端出口为排气口4，所述一体式缸体3的侧面出口为外接式抽气口5，所述气缸1的端部连接设置一伸缩连接杆6，所述伸缩连接杆6的下端连接密封挡板7，所述密封挡板7在伸缩连接杆6的带动下在一体式缸体3内上下移动，所述密封挡板7呈台阶状设置，其上台阶上设有放置密封圈的上密封圈槽8，下台阶下面设有放置密封圈的下密封圈槽9，所述密封挡板7位于排气口4处时，下密封圈槽9的密封圈与排气口4内侧壁密封连接，所述密封挡板7向上移动靠近上部法兰盘2时，上密封圈槽8的密封圈与上部法兰盘2底面密封连接。
所述上部法兰盘2的中间位置设有一个内置的密封圈10，还有上置的油封11，内置的密封圈10与伸缩连接杆密封接触，上置的油封11与气缸1下端面密封接触。
Claims (2)
1.一种新型的双向密封高真空挡板阀，其特征在于：包括气缸(1)、上部法兰盘(2)以及一体式缸体(3)，所述一体式缸体(3)为三通结构，其上端出口上安装上部法兰盘(2)，其下端出口为排气口(4)，所述一体式缸体(3)的侧面出口为外接式抽气口(5)，所述气缸(1)的端部连接设置一伸缩连接杆(6)，所述伸缩连接杆(6)的下端连接密封挡板(7)，所述密封挡板(7)在伸缩连接杆(6)的带动下在一体式缸体(3)内上下移动，所述密封挡板(7)呈台阶状设置，其上台阶上设有放置密封圈的上密封圈槽(8)，下台阶下面设有放置密封圈的下密封圈槽(9)，所述密封挡板(7)位于排气口(4)处时，下密封圈槽(9)的密封圈与排气口(4)内侧壁密封连接，所述密封挡板(7)向上移动靠近上部法兰盘(2)时，上密封圈槽(8)的密封圈与上部法兰盘(2)底面密封连接。
2.根据权利要求1所述的一种新型的双向密封高真空挡板阀，其特征在于：所述上部法兰盘(2)的中间位置设有一个内置的密封圈(10)，还有上置的油封(11)，内置的密封圈(10)与伸缩连接杆密封接触，上置的油封(11)与气缸(1)下端面密封接触。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201922351087.8U CN211288763U (zh) | 2019-12-24 | 2019-12-24 | 一种新型的双向密封高真空挡板阀 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201922351087.8U CN211288763U (zh) | 2019-12-24 | 2019-12-24 | 一种新型的双向密封高真空挡板阀 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN211288763U true CN211288763U (zh) | 2020-08-18 |
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201922351087.8U Active CN211288763U (zh) | 2019-12-24 | 2019-12-24 | 一种新型的双向密封高真空挡板阀 |
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| Country | Link |
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| CN (1) | CN211288763U (zh) |
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