CN211247508U - 一种柱形靶材加工用高效清洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种柱形靶材加工用高效清洗装置，包括箱体和支撑脚，所述箱体的下方前后两端左右两侧均固接有支撑脚，所述箱体的内部安装有清扫组件，所述清扫组件的外侧安装有清洗组件，所述第三弹簧的内侧上方均设有垫块，所述垫块与第二横板固定相连。该柱形靶材加工用高效清洗装置，通过电机、靶材、水泵、第一齿轮、第二齿轮、毛刷、箱体、喷头、套块和转轴之间的配合，解决了现有技术仅采用水洗的方式导致清理效果较差的问题，通过箱体、靶材、刮板、横杆、套筒、第一弹簧、卡块和第二弹簧之间的配合，使在靶材取出之间将刮板贴在靶材表面在将靶材拉出，解决了现有技术清洗后表面的水量过多导致进行烘干时需要的时间较长的问题。

Description

一种柱形靶材加工用高效清洗装置

技术领域

本实用新型涉及靶材技术领域，具体为一种柱形靶材加工用高效清洗装置。

背景技术

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源，简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应，虽然现有技术能够实现对靶材的清洗，但是现有技术存在仅采用水洗的方式导致清理效果较差的问题，同时仍存在清洗后表面的水量过多导致进行烘干时需要的时间较长的问题。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种柱形靶材加工用高效清洗装置，以解决上述背景技术中提出的仅采用水洗的方式导致清理效果较差的问题，同时仍存在清洗后表面的水量过多导致进行烘干时需要的时间较长的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种柱形靶材加工用高效清洗装置，包括箱体和支撑脚，所述箱体的下方前后两端左右两侧均固接有支撑脚，所述箱体的内部安装有清扫组件，所述清扫组件的外侧安装有清洗组件，所述箱体的上方左右两侧安装有刮水组件，所述箱体的内部中心设有靶材，所述靶材的下方设有第二横板，所述第二横板的下方通过多个第三弹簧与箱体活动相连，所述第三弹簧的内侧上方均设有垫块，所述垫块与第二横板固定相连。

优选的，所述清扫组件包括第一轴承、毛刷、第一齿轮、电机箱、电机、第二齿轮、第二轴承和转轴，所述电机箱位于箱体的正下方，所述电机箱的内部固接有电机，所述电机的输出轴与第二齿轮固定相连，所述第二齿轮的外侧设有四个第一齿轮，所述第一齿轮与第二齿轮相互啮合，所述第一齿轮的内部固接有转轴，所述转轴的外壁上下两侧均通过第一轴承与箱体转动相连，所述转轴的外壁下端与第二轴承的内壁固定相连，所述转轴的外壁固接有多个毛刷。

优选的，所述清洗组件包括水孔、第二竖杆、水泵、水箱、水管、套块、第三轴承和喷头，所述水箱固接在电机箱的外壁，所述水箱的左右两侧均连通有水管，所述水管的外壁安装有水泵，所述第二轴承的外壁与水箱固定相连，所述水箱与转轴相连通，所述箱体的内部四角均固接有第二竖杆，所述第二竖杆的外壁固接有多个套块，所述套块的内侧内部上下两端均通过第三轴承与转轴转动相连，所述套块的内侧安装有喷头，所述喷头与转轴相连通，所述转轴的外壁加工有多个水孔。

优选的，所述第三轴承、第一轴承和第二轴承均为密封轴承。

优选的，所述刮水组件包括卡块、第一弹簧、刮板、横杆、第一横板、套筒、第二弹簧、第一竖杆、顶板和挡板，两个所述挡板分别固接在箱体的上方左右两侧，所述挡板的内部均设有横杆，所述横杆与挡板均间隙配合，所述横杆的内外两侧分别与刮板和套筒固定相连，所述横杆的外壁设有第一弹簧，所述第一弹簧的内外两侧分别与挡板和套筒固定相连，所述套筒的内部设有第一横板，所述第一横板与套筒间隙配合，所述第一横板的上下两侧分别与第一竖杆和卡块固定相连，所述第一竖杆的外壁设有第二弹簧，所述第二弹簧的上下两侧分别与套筒和第一横板固定相连，所述第一竖杆的上端固接有顶板。

优选的，所述卡块与箱体之间构成卡合结构。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该柱形靶材加工用高效清洗装置，通过电机、靶材、水泵、第一齿轮、第二齿轮、毛刷、箱体、喷头、套块和转轴之间的配合，启动电机和水泵后可将靶材插进箱体的内部进行冲刷清理，解决了现有技术仅采用水洗的方式导致清理效果较差的问题，通过箱体、靶材、刮板、横杆、套筒、第一弹簧、卡块和第二弹簧之间的配合，使在靶材取出之间将刮板贴在靶材表面在将靶材拉出，解决了现有技术清洗后表面的水量过多导致进行烘干时需要的时间较长的问题。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

图2为图1中箱体、转轴和第一轴承处的结构示意图。

图3为图1中箱体、电机和第一齿轮处的结构示意图。

图4为图1中喷头、水孔和第三弹簧处的结构示意图。

图中：1、箱体、2、清扫组件，201、第一轴承，202、毛刷，203、第一齿轮，204、电机箱，205、电机，206、第二齿轮，207、第二轴承，208、转轴，3、刮水组件，301、卡块，302、第一弹簧，303、刮板，304、横杆，305、第一横板，306、套筒，307、第二弹簧，308、第一竖杆，309、顶板，310、挡板，4、清洗组件，401、水孔，402、第二竖杆，403、水泵，404、水箱，405、水管，406、套块，407、第三轴承，408、喷头，5、支撑脚，6、第三弹簧，7、靶材，8、第二横板，9、垫块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种柱形靶材加工用高效清洗装置，包括箱体1和支撑脚5，箱体1的下方前后两端左右两侧均固接有支撑脚5，支撑脚5可对箱体1进行支撑，箱体1的内部安装有清扫组件2，清扫组件2的外侧安装有清洗组件4，箱体1的上方左右两侧安装有刮水组件3，箱体1的内部中心设有靶材7，靶材7可放置在箱体1的中心位置进行处理，靶材7的下方设有第二横板8，第二横板8的下方通过多个第三弹簧6与箱体1活动相连，第三弹簧6的弹性系数K为500N/m，第三弹簧6的内侧上方均设有垫块9，垫块9与第二横板8固定相连，垫块9可保证第三弹簧6只会垂直下落。

清扫组件2包括第一轴承201、毛刷202、第一齿轮203、电机箱204、电机205、第二齿轮206、第二轴承207和转轴208，电机箱204位于箱体1的正下方，限制箱体1和电机箱204的相对位置，电机箱204的内部固接有电机205，电机205的型号为BLD-09型，电机205的输出轴与第二齿轮206固定相连，电机205的输出轴可带动第二齿轮206进行转动，第二齿轮206的外侧设有四个第一齿轮203，第一齿轮203与第二齿轮206相互啮合，第二齿轮206可带动第一齿轮203进行转动，第一齿轮203的内部固接有转轴208，第一齿轮203可带动转轴208进行转动，转轴208的外壁上下两侧均通过第一轴承201与箱体1转动相连，箱体1可通过第一轴承201对转轴208进行转动支撑，转轴208的外壁下端与第二轴承207的内壁固定相连，转轴208的外壁固接有多个毛刷202，转轴208可带动毛刷202进行转动。

清洗组件4包括水孔401、第二竖杆402、水泵403、水箱404、水管405、套块406、第三轴承407和喷头408，水箱404固接在电机箱204的外壁，电机箱204可对水箱404进行支撑，水箱404的左右两侧均连通有水管405，水管405与外界水箱相连通，水管405的外壁安装有水泵403，水泵403可山西爱你向水箱404的内部注水，第二轴承207的外壁与水箱404固定相连，水箱404可通过第二轴承207对转轴208进行转动支撑，水箱404与转轴208相连通，箱体1的内部四角均固接有第二竖杆402，箱体1可对第二竖杆402进行支撑，第二竖杆402的外壁固接有多个套块406，套块406的内侧内部上下两端均通过第三轴承407与转轴208转动相连，套块406可通过第三轴承407与转轴208之间的密封转动，套块406的内侧安装有喷头408，套块406的内部水量可从喷头408处排出，喷头408与转轴208相连通，转轴208的外壁加工有多个水孔401，水孔401可实现转轴208与套块406的连通，第三轴承407、第一轴承201和第二轴承207均为密封轴承，使第三轴承407、第一轴承201和第二轴承207安装处保持密封。

刮水组件3包括卡块301、第一弹簧302、刮板303、横杆304、第一横板305、套筒306、第二弹簧307、第一竖杆308、顶板309和挡板310，两个挡板310分别固接在箱体1的上方左右两侧，箱体1可对挡板310进行支撑，挡板310的内部均设有横杆304，横杆304与挡板310均间隙配合，横杆304可在挡板310的内部进行移动，横杆304的内外两侧分别与刮板303和套筒306固定相连，套筒306可通过横杆304带动刮板303进行移动，横杆304的外壁设有第一弹簧302，第一弹簧302的弹性系数K为400N/m，第一弹簧302的内外两侧分别与挡板310和套筒306固定相连，套筒306向外移动即可拉伸第一弹簧302，套筒306的内部设有第一横板305，第一横板305与套筒306间隙配合，第一横板305可在套筒306的内部进行移动，第一横板305的上下两侧分别与第一竖杆308和卡块301固定相连，第一竖杆308可通过第一横板305带动卡块301进行移动，第一竖杆308的外壁设有第二弹簧307，第二弹簧307的弹性系数K为300N/m，第二弹簧307的上下两侧分别与套筒306和第一横板305固定相连，第一横板305向上移动即可挤压第二弹簧307，第一竖杆308的上端固接有顶板309，顶板309可带动第一竖杆308进行移动，卡块301与箱体1之间构成卡合结构，使箱体1可限制卡块301的位置。

当需要此柱形靶材加工用高效清洗装置使用时，首先使用者需将套筒306向外移动至预定位置，此时拉伸第一弹簧302同时卡块301可受第二弹簧307的弹力向下插进箱体1的上表面，使左右刮板303均向外移动并定位，然后同时启动水泵403和电机205，使水泵403可将外界水量通过水箱404输送至转轴208的内部，并流至套块406处最后从喷头408处喷出，同时电机205的启动可通过第一齿轮203和第二齿轮206的配合带动转轴208转动，转轴208即可带动毛刷202进行转动，而后使用者可将所需清理的靶材7从箱体1的上方向下放置箱体1的内部，并上下不断的拉动靶材7实现对表面的冲刷清理，结束后可关闭电机205和水泵403，同时向上拉动顶板309，使卡块301从箱体1的内部拉出，第一弹簧302的弹力即可拉动刮板303压在靶材7的表面，在使用者拉出靶材7使可将靶材7外壁的水大部分刮掉流回箱体1内部。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“同轴”、“底部”、“一端” 、 “顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型中， 除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、 “连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种柱形靶材加工用高效清洗装置，包括箱体（1）和支撑脚（5），所述箱体（1）的下方前后两端左右两侧均固接有支撑脚（5），其特征在于：所述箱体（1）的内部安装有清扫组件（2），所述清扫组件（2）的外侧安装有清洗组件（4），所述箱体（1）的上方左右两侧安装有刮水组件（3），所述箱体（1）的内部中心设有靶材（7），所述靶材（7）的下方设有第二横板（8），所述第二横板（8）的下方通过多个第三弹簧（6）与箱体（1）活动相连，所述第三弹簧（6）的内侧上方均设有垫块（9），所述垫块（9）与第二横板（8）固定相连。

2.根据权利要求1所述的一种柱形靶材加工用高效清洗装置，其特征在于：所述清扫组件（2）包括第一轴承（201）、毛刷（202）、第一齿轮（203）、电机箱（204）、电机（205）、第二齿轮（206）、第二轴承（207）和转轴（208），所述电机箱（204）位于箱体（1）的正下方，所述电机箱（204）的内部固接有电机（205），所述电机（205）的输出轴与第二齿轮（206）固定相连，所述第二齿轮（206）的外侧设有四个第一齿轮（203），所述第一齿轮（203）与第二齿轮（206）相互啮合，所述第一齿轮（203）的内部固接有转轴（208），所述转轴（208）的外壁上下两侧均通过第一轴承（201）与箱体（1）转动相连，所述转轴（208）的外壁下端与第二轴承（207）的内壁固定相连，所述转轴（208）的外壁固接有多个毛刷（202）。

3.根据权利要求2所述的一种柱形靶材加工用高效清洗装置，其特征在于：所述清洗组件（4）包括水孔（401）、第二竖杆（402）、水泵（403）、水箱（404）、水管（405）、套块（406）、第三轴承（407）和喷头（408），所述水箱（404）固接在电机箱（204）的外壁，所述水箱（404）的左右两侧均连通有水管（405），所述水管（405）的外壁安装有水泵（403），所述第二轴承（207）的外壁与水箱（404）固定相连，所述水箱（404）与转轴（208）相连通，所述箱体（1）的内部四角均固接有第二竖杆（402），所述第二竖杆（402）的外壁固接有多个套块（406），所述套块（406）的内侧内部上下两端均通过第三轴承（407）与转轴（208）转动相连，所述套块（406）的内侧安装有喷头（408），所述喷头（408）与转轴（208）相连通，所述转轴（208）的外壁加工有多个水孔（401）。

4.根据权利要求3所述的一种柱形靶材加工用高效清洗装置，其特征在于：所述第三轴承（407）、第一轴承（201）和第二轴承（207）均为密封轴承。

5.根据权利要求1所述的一种柱形靶材加工用高效清洗装置，其特征在于：所述刮水组件（3）包括卡块（301）、第一弹簧（302）、刮板（303）、横杆（304）、第一横板（305）、套筒（306）、第二弹簧（307）、第一竖杆（308）、顶板（309）和挡板（310），两个所述挡板（310）分别固接在箱体（1）的上方左右两侧，所述挡板（310）的内部均设有横杆（304），所述横杆（304）与挡板（310）均间隙配合，所述横杆（304）的内外两侧分别与刮板（303）和套筒（306）固定相连，所述横杆（304）的外壁设有第一弹簧（302），所述第一弹簧（302）的内外两侧分别与挡板（310）和套筒（306）固定相连，所述套筒（306）的内部设有第一横板（305），所述第一横板（305）与套筒（306）间隙配合，所述第一横板（305）的上下两侧分别与第一竖杆（308）和卡块（301）固定相连，所述第一竖杆（308）的外壁设有第二弹簧（307），所述第二弹簧（307）的上下两侧分别与套筒（306）和第一横板（305）固定相连，所述第一竖杆（308）的上端固接有顶板（309）。

6.根据权利要求5所述的一种柱形靶材加工用高效清洗装置，其特征在于：所述卡块（301）与箱体（1）之间构成卡合结构。

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