CN211199397U - 一种管式镀膜石墨舟、管式加热炉及太阳能电池片 - Google Patents
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Abstract
本申请公开了一种PECVD管式镀膜石墨舟，包括舟体及隔热板；所述舟体包括石墨舟页及连接块；所述连接块用于连接相邻的所述石墨舟页；所述隔热板设置在外舟页的外侧，与所述外舟页平行相隔有间距，用于减弱炉管至待镀膜硅片的热辐射；所述隔热板与所述舟体之间无电连接。本申请通过在所述舟体外侧增设隔热板，并规定所述隔热板与所述舟体绝缘，以免短路。本申请通过减弱垂直于所述石墨舟页的方向的热辐射，进而降低所述舟体外侧与内侧的温度差，提高整舟的硅片镀层的膜厚与折射率的均匀性和一致性。本申请同时还提供了一种具有上述有益效果的管式加热炉及太阳能电池片。
Description
技术领域
本申请涉及光伏组件制造领域，特别是涉及一种管式镀膜石墨舟、管式加热炉及太阳能电池片。
背景技术
目前光伏产业仍然以晶硅太阳能电池为主，太阳能电池制备流程是：清洗、扩散、刻蚀、PECVD、丝网印刷、烧结、测试分选和包装，其中PECVD工序目的是在硅片表面沉积一层氮化硅膜层，该氮化硅膜层可降低电池片的反射率，增强对光的吸收，从而提高电池片的转换效率，若膜层不均匀会导致返工片，需要进行返工处理，增加成本，故提高镀膜的均匀性非常关键。
目前行业内PECVD镀膜有管式镀膜和板式镀膜，以管式镀膜为主，管式镀膜使用到的硅片载体是石墨舟，石墨舟放在圆形炉管里面，通过高频电源电离硅烷和氨气形成等离子体，反应后沉积在硅片表面。现有技术中的管式炉镀膜，首先由炉管加热丝加热，然后将热量传递到反应腔体里面，而腔体内侧受距离的差异导致温度和热辐射的强度是不均匀的，靠近管壁的位置温度和热辐射会高，远离管壁的位置温度和热辐射会低，如此就会导致石墨舟内外舟页的温度和热辐射能量差异，从而影响沉积的速率，导致膜厚和折射率存在差异，即膜层不均。
因此，如何解决现有技术中置于石墨舟外侧与内侧的硅片受热不均引起的镀膜膜层不均，是本领域技术人员亟待解决的问题。
实用新型内容
本申请的目的是提供一种管式镀膜石墨舟、管式加热炉及太阳能电池片，以解决现有技术中置于石墨舟外侧与内侧的硅片受热不均引起的镀膜膜层不均。
为解决上述技术问题，本申请提供一种管式镀膜石墨舟，包括舟体及隔热板；
所述舟体包括石墨舟页及连接块；
所述连接块用于连接相邻的所述石墨舟页；
所述隔热板设置在外舟页的外侧，与所述外舟页平行相隔有间距，用于减弱炉管至待镀膜硅片的热辐射；
所述隔热板与所述舟体之间无电连接。
可选地，在所述管式镀膜石墨舟中，所述隔热板为石墨隔热板，所述石墨隔热板与所述舟体间通过绝缘连接件连接。
可选地，在所述管式镀膜石墨舟中，所述绝缘连接件为陶瓷螺母。
可选地，在所述管式镀膜石墨舟中，所述石墨隔热板的厚度的范围为2 毫米至5毫米，包括端点值。
可选地，在所述管式镀膜石墨舟中，所述石墨隔热板与所述外舟页的间距的范围为2毫米至11毫米，包括端点值。
可选地，在所述管式镀膜石墨舟中，所述隔热板为绝缘隔热版。
本申请还提供了一种管式加热炉，所述管式加热炉包括上述任一种所述的管式镀膜石墨舟。
本申请还提供了一种太阳能电池片，所述太阳能电池片为经过上述管式加热炉进行PECVD镀膜得到的太阳能电池片。
本申请所提供的管式镀膜石墨舟，包括舟体及隔热板；所述舟体包括石墨舟页及连接块；所述连接块用于连接相邻的所述石墨舟页；所述隔热板设置在外舟页的外侧，与所述外舟页平行相隔有间距，用于减弱炉管至待镀膜硅片的热辐射；所述隔热板与所述舟体之间无电连接。本申请通过在所述舟体外侧增设隔热板，并规定所述隔热板与所述舟体绝缘，以免短路。可将所述管式镀膜石墨舟在管式炉中受到的热量等效为来自四个方向，即左右两侧垂直于所述石墨舟页的方向的热量，以及上下两侧平行于所述石墨舟页的方向的热量，其中，上下两侧的热辐射在穿透所述舟体时无明显阻碍，消耗较低，因此对所述舟体中各个位置的加热都较为平均，而左右方向的热辐射每穿透一层所述石墨舟页，都会有较大损耗，导致其为所述舟体外层提供了较多热量，对所述舟体内侧加热效果却不明显，所谓管式加热镀膜温度不均也多是在与所述石墨舟页垂直的方向上出，本申请通过减弱垂直于所述石墨舟页的方向的热辐射，进而降低所述舟体外侧与内侧的温度差，提高整舟的硅片镀层的膜厚与折射率的均匀性和一致性。本申请同时还提供了一种具有上述有益效果的管式加热炉及太阳能电池片。
附图说明
为了更清楚的说明本申请实施例或现有技术的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本申请提供的管式镀膜石墨舟的一种具体实施方式的俯视结构示意图；
图2为本申请提供的管式镀膜石墨舟的另一种具体实施方式的俯视结构示意图；
图3为本申请提供的管式加热炉的一种具体实施方式的截面示意图。
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案，下面结合附图和具体实施方式对本申请作进一步的详细说明。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
本申请的核心是提供一种管式镀膜石墨舟，其一种具体实施方式的结构示意图如图1所示，包括舟体100及隔热板200；
所述舟体100包括石墨舟页110及连接块120；
所述连接块120用于连接相邻的所述石墨舟页110；
所述隔热板200设置在外舟页的外侧，与所述外舟页平行相隔有间距，用于减弱炉管至待镀膜硅片的热辐射；
所述隔热板200与所述舟体100之间无电连接。
本申请中的所述外舟页，指处于所述舟体100两侧最外侧的两个所述石墨舟页110。
需要注意的是，本申请中的所述隔热板200，可以是矩形隔热板200，也可以是圆形隔热板200，可以是整体式隔热板200，也可以是分体式隔热板200，无论如何，所述隔热板200应当满足减弱所述管式炉的炉管对所述待镀膜硅片的热辐射，如所述隔热板200形状应当覆盖所述舟体100中放置所述待镀膜硅片的区域。
本申请所提供的管式镀膜石墨舟，包括舟体100及隔热板200；所述舟体 100包括石墨舟页110及连接块120；所述连接块120用于连接相邻的所述石墨舟页110；所述隔热板200设置在外舟页的外侧，与所述外舟页平行相隔有间距，用于减弱炉管至待镀膜硅片的热辐射；所述隔热板200与所述舟体100 之间无电连接。本申请通过在所述舟体100外侧增设隔热板200，并规定所述隔热板200与所述舟体100绝缘，以免短路。可将所述管式镀膜石墨舟在管式炉中受到的热量等效为来自四个方向，即左右两侧垂直于所述石墨舟页110的方向的热量，以及上下两侧平行于所述石墨舟页110的方向的热量，其中，上下两侧的热辐射在穿透所述舟体100时无明显阻碍，消耗较低，因此对所述舟体100中各个位置的加热都较为平均，而左右方向的热辐射每穿透一层所述石墨舟页110，都会有较大损耗，导致其为所述舟体100外层提供了较多热量，对所述舟体100内侧加热效果却不明显，所谓管式加热镀膜温度不均也多是在与所述石墨舟页110垂直的方向上出，本申请通过减弱垂直于所述石墨舟页 110的方向的热辐射，进而降低所述舟体100外侧与内侧的温度差，提高整舟的硅片镀层的膜厚与折射率的均匀性和一致性。
在具体实施方式一的基础上，进一步对所述隔热板200的材质做限定，得到具体实施方式二，其结构示意图如图2所示，包括舟体100及隔热板200；
所述舟体100包括石墨舟页110及连接块120；
所述连接块120用于连接相邻的所述石墨舟页110；
所述隔热板200设置在外舟页的外侧，与所述外舟页平行相隔有间距，用于减弱炉管至待镀膜硅片的热辐射；
所述隔热板200与所述舟体100之间无电连接；
所述隔热板200为石墨隔热板200，所述石墨隔热板200与所述舟体100 间通过绝缘连接件300连接。
本申请与上述具体实施方式的不同之处在于，本申请中限定了所述隔热板 200为石墨隔热板200，同时为与所述舟体100绝缘增设了绝缘连接件300，其余结构均与上述具体实施方式相同，在此不再展开赘述。
本具体实施方式中将所述隔热板200限定为了所述石墨隔热板200，石墨隔热板200的材质与所述石墨舟页110相同，形状也与所述石墨舟页110相同或相似，因此可在制作所述石墨舟页110时一起制作，简化了所述管式镀膜石墨舟的生产流程，提升了生产效率；此外，采用所述石墨隔热板200，由于与所述石墨舟页110材质相同，在镀膜的过程中相当于未向所述管式炉中引入其他杂质，保证了镀膜的质量。
更进一步地，所述绝缘连接件300为陶瓷螺母。陶瓷螺母机械性能好，绝缘效果优秀，同时质量轻便，可增加所述管式镀膜石墨舟的结构稳定性。
更进一步地，所述石墨隔热板200的厚度的范围为2毫米至5毫米，包括端点值如2.0毫米、4.0毫米或5.0毫米中任一个。所述石墨隔热板200与所述外舟页的间距的范围为2毫米至11毫米，包括端点值，如2.0毫米、6.2毫米或11.0毫米中任一个。上述参数范围为经过理论计算与实际检验得出的最佳值，当然，可以根据实际情况做相应调整。上述所述石墨隔热板200与所述外舟页的间距可以通过所述陶瓷螺母的厚度作调整。
当然，所述隔热板200也能为绝缘隔热版，此时所述绝缘隔热版与所述舟体100之间的连接件则不一定为绝缘连接件300。
本申请同时还提供了一种管式加热炉，其截面图如图3所示，所述管式加热炉包括上述任一种的管式镀膜石墨舟。本申请所提供的管式镀膜石墨舟，包括舟体100及隔热板200；所述舟体100包括石墨舟页110及连接块120；所述连接块120用于连接相邻的所述石墨舟页110；所述隔热板200设置在外舟页的外侧，与所述外舟页平行相隔有间距，用于减弱炉管至待镀膜硅片的热辐射；所述隔热板200与所述舟体100之间无电连接。本申请通过在所述舟体 100外侧增设隔热板200，并规定所述隔热板200与所述舟体100绝缘，以免短路。可将所述管式镀膜石墨舟在管式炉中受到的热量等效为来自四个方向，即左右两侧垂直于所述石墨舟页110的方向的热量，以及上下两侧平行于所述石墨舟页110的方向的热量，其中，上下两侧的热辐射在穿透所述舟体100时无明显阻碍，消耗较低，因此对所述舟体100中各个位置的加热都较为平均，而左右方向的热辐射每穿透一层所述石墨舟页110，都会有较大损耗，导致其为所述舟体100外层提供了较多热量，对所述舟体100内侧加热效果却不明显，所谓管式加热镀膜温度不均也多是在与所述石墨舟页110垂直的方向上出，本申请通过减弱垂直于所述石墨舟页110的方向的热辐射，进而降低所述舟体 100外侧与内侧的温度差，提高整舟的硅片镀层的膜厚与折射率的均匀性和一致性。
本申请同时还提供了一种太阳能电池片，所述太阳能电池片为经过所述管式加热炉进行PECVD镀膜得到的太阳能电池片。本申请所提供的管式镀膜石墨舟，包括舟体100及隔热板200；所述舟体100包括石墨舟页110及连接块 120；所述连接块120用于连接相邻的所述石墨舟页110；所述隔热板200设置在外舟页的外侧，与所述外舟页平行相隔有间距，用于减弱炉管至待镀膜硅片的热辐射；所述隔热板200与所述舟体100之间无电连接。本申请通过在所述舟体100外侧增设隔热板200，并规定所述隔热板200与所述舟体100绝缘，以免短路。可将所述管式镀膜石墨舟在管式炉中受到的热量等效为来自四个方向，即左右两侧垂直于所述石墨舟页110的方向的热量，以及上下两侧平行于所述石墨舟页110的方向的热量，其中，上下两侧的热辐射在穿透所述舟体 100时无明显阻碍，消耗较低，因此对所述舟体100中各个位置的加热都较为平均，而左右方向的热辐射每穿透一层所述石墨舟页110，都会有较大损耗，导致其为所述舟体100外层提供了较多热量，对所述舟体100内侧加热效果却不明显，所谓管式加热镀膜温度不均也多是在与所述石墨舟页110垂直的方向上出，本申请通过减弱垂直于所述石墨舟页110的方向的热辐射，进而降低所述舟体100外侧与内侧的温度差，提高整舟的硅片镀层的膜厚与折射率的均匀性和一致性。
本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其它实施例的不同之处，各个实施例之间相同或相似部分互相参见即可。对于实施例公开的装置而言，由于其与实施例公开的方法相对应，所以描述的比较简单，相关之处参见方法部分说明即可。
需要说明的是，在本说明书中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
以上对本申请所提供的管式镀膜石墨舟、管式加热炉及太阳能电池片进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以对本申请进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本申请权利要求的保护范围内。
Claims (8)
1.一种管式镀膜石墨舟，其特征在于，包括舟体及隔热板；
所述舟体包括石墨舟页及连接块；
所述连接块用于连接相邻的所述石墨舟页；
所述隔热板设置在外舟页的外侧，与所述外舟页平行相隔有间距，用于减弱炉管至待镀膜硅片的热辐射；
所述隔热板与所述舟体之间无电连接。
2.如权利要求1所述的管式镀膜石墨舟，其特征在于，所述隔热板为石墨隔热板，所述石墨隔热板与所述舟体间通过绝缘连接件连接。
3.如权利要求2所述的管式镀膜石墨舟，其特征在于，所述绝缘连接件为陶瓷螺母。
4.如权利要求2所述的管式镀膜石墨舟，其特征在于，所述石墨隔热板的厚度的范围为2毫米至5毫米，包括端点值。
5.如权利要求2所述的管式镀膜石墨舟，其特征在于，所述石墨隔热板与所述外舟页的间距的范围为2毫米至11毫米，包括端点值。
6.如权利要求1所述的管式镀膜石墨舟，其特征在于，所述隔热板为绝缘隔热版。
7.一种管式加热炉，其特征在于，所述管式加热炉包括如权利要求1至6任一项所述的管式镀膜石墨舟。
8.一种太阳能电池片，其特征在于，所述太阳能电池片为经过如权利要求7所述的管式加热炉进行PECVD镀膜得到的太阳能电池片。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921621102.XU CN211199397U (zh) | 2019-09-26 | 2019-09-26 | 一种管式镀膜石墨舟、管式加热炉及太阳能电池片 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201921621102.XU CN211199397U (zh) | 2019-09-26 | 2019-09-26 | 一种管式镀膜石墨舟、管式加热炉及太阳能电池片 |
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| CN211199397U true CN211199397U (zh) | 2020-08-07 |
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ID=71858594
Family Applications (1)
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| CN201921621102.XU Active CN211199397U (zh) | 2019-09-26 | 2019-09-26 | 一种管式镀膜石墨舟、管式加热炉及太阳能电池片 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN211199397U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114774861A (zh) * | 2022-04-26 | 2022-07-22 | 苏州厚朴传感科技有限公司 | 一种晶圆片镀膜表面颗粒控制的方法 |
-
2019
- 2019-09-26 CN CN201921621102.XU patent/CN211199397U/zh active Active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN114774861A (zh) * | 2022-04-26 | 2022-07-22 | 苏州厚朴传感科技有限公司 | 一种晶圆片镀膜表面颗粒控制的方法 |
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