CN211177716U

CN211177716U - 一种石墨舟烘箱

Info

Publication number: CN211177716U
Application number: CN201922375921.7U
Authority: CN
Inventors: 范启超; 徐兆远; 魏宇明
Original assignee: Zhejiang Jingneng Photoelectric Co ltd
Current assignee: Zhejiang Jingneng Photoelectric Co ltd
Priority date: 2019-12-25
Filing date: 2019-12-25
Publication date: 2020-08-04
Anticipated expiration: 2029-12-25

Abstract

本实用新型提供了一种石墨舟烘箱，包括机座，机座上固定有箱体，箱体侧部具有取放口，箱体上铰接有能将取放口封闭住的箱门，箱体上部具有排湿口，箱体内固定有电加热管，箱体内还具有躲避槽，机座上还固定有支架，支架上设置有取放机构，取放机构包括轨道一、轨道二、滑座一、滑座二、气缸一、气缸二、活动架一、活动架二、取料臂和放料臂。本实用新型具有取放方便的优点。

Description

一种石墨舟烘箱

技术领域

本实用新型属于机械技术领域，涉及一种烘箱，特别是一种石墨舟烘箱。

背景技术

PECVD作为镀膜最常用的工艺之一，被广泛用于半导体、太阳能电池片的生产过程中。作为硅片的载体，石墨是最理想的材料之一，对表面镀膜的均匀性、色差等产生至关重要的作用，要求其有高纯度、耐腐蚀、极好的抗弯强度和良好的导电性能。石墨舟在长时间使用后，表面会变脏，需要先放入到清洗设备中进行清洗，再放入到烘箱中进行烘干。

经检索，如中国专利文献公开了一种石墨舟烘箱【申请号：201120232448.8；公开号：CN 202149674U】。这种石墨舟烘箱，具有箱体，所述箱体的正面设有箱门，其特征在于：所述箱体顶部的内壁上设有4～6组成对的红外灯管。

该专利中公开的石墨舟烘箱虽然可缩短烘干时间，但是，该石墨舟烘箱中没有取放结构，需要人工将石墨舟放入或者取出，因此，设计出一种石墨舟烘箱是很有必要的。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种石墨舟烘箱，该烘箱具有取放方便的特点。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：一种石墨舟烘箱，包括机座，其特征在于，所述机座上固定有箱体，箱体侧部具有取放口，箱体上铰接有能将取放口封闭住的箱门，箱体上部具有排湿口，箱体内固定有电加热管，箱体内还具有躲避槽，机座上还固定有支架，支架上设置有取放机构，取放机构包括轨道一、轨道二、滑座一、滑座二、气缸一、气缸二、活动架一、活动架二、取料臂和放料臂，轨道一竖直固定在支架上部，滑座一设置在轨道一上，气缸一固定在支架上部，气缸一的活塞杆竖直向下，气缸一的活塞杆端部和滑座一相连，滑座一上固定有推杆电机一，推杆电机一的推杆竖直向上，活动架一固定在推杆电机一的推杆端部，活动架一上水平固定有导杆一，取料臂活动设置导杆一上，取料臂上具有若干用于定位石墨舟的定位槽一，取料臂上还具有把手一，轨道二竖直固定在支架下部，滑座二设置在轨道二上，气缸二固定在支架下部，气缸二的活塞杆竖直向上，气缸二的活塞杆端部和滑座二相连，滑座二上固定有推杆电机二，推杆电机二的推杆竖直向下，活动架二固定在推杆电机二的推杆端部，活动架二上水平固定有导杆二，放料臂活动设置在导杆二上，放料臂上具有若干用于定位石墨舟的定位槽二，放料臂上还具有把手二。

采用以上结构，通过将待烘干的石墨舟放在放料臂上，打开箱门，通过气缸一带动滑座一向下移动，滑座一带动取料臂向下移动，使取料臂位于取放口处，推动取料臂向箱体内移动，通过推杆电机一带动活动架一向上移动，活动架一带动取料臂向上移动，取料臂将烘干好的石墨舟与箱体脱离，并将其向上移动，使其冷却；通过气缸二带动滑座二向上移动，滑座二带动放料臂向上移动，使放料臂位于取放口处，推动放料臂向箱体内移动，通过推杆电机二带动活动架二向下移动，活动架二带动放料臂向下移动，放料臂将待烘干的石墨舟放入到箱体内，取放方便。

所述活动架一上还固定有若干冷却风机。

采用以上结构，通过冷却风机可加速取料臂上石墨舟的冷却。

所述活动架二上还固定有集水盒。

采用以上结构，通过集水盒可对放料臂上石墨舟掉落的水滴进行收集。

所述集水盒的材料为不锈钢。

所述把手一上还具有隔热套一，把手二上还具有隔热套二。

与现有技术相比，本石墨舟烘箱具有该优点：

本实用新型中通过将待烘干的石墨舟放在放料臂上，打开箱门，通过气缸一带动滑座一向下移动，滑座一带动取料臂向下移动，使取料臂位于取放口处，推动取料臂向箱体内移动，通过推杆电机一带动活动架一向上移动，活动架一带动取料臂向上移动，取料臂将烘干好的石墨舟与箱体脱离，并将其向上移动，使其自然冷却；通过气缸二带动滑座二向上移动，滑座二带动放料臂向上移动，使放料臂位于取放口处，推动放料臂向箱体内移动，通过推杆电机二带动活动架二向下移动，活动架二带动放料臂向下移动，放料臂将待烘干的石墨舟放入到箱体内，取放方便。

附图说明

图1是本实用新型的立体结构示意图。

图2是本实用新型中拆去部分的立体结构示意图。

图3是本实用新型中活动架一的立体结构示意图。

图4是本实用新型中活动架二的立体结构示意图。

图中，1、机座；2、气缸二；3、滑座二；4、轨道二；5、推杆电机二；6、箱门；7、箱体；7a、排湿口；7b、躲避槽；8、轨道一；9、支架；10、气缸一；11、滑座一；12、活动架一；13、推杆电机一；14、活动架二；15、把手一；16、导杆一；17、取料臂；17a、定位槽一；18、把手二；19、导杆二；20、放料臂；20a、定位槽二；21、冷却风机；22、集水盒。

具体实施方式

以下是本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的描述，但本实用新型并不限于这些实施例。

如图1-图4所示，本该石墨舟烘箱，包括机座1，机座1上固定有箱体7，在本实施例中，机座1上通过螺栓连接的方式固定有箱体7；箱体7侧部具有取放口，箱体7上铰接有能将取放口封闭住的箱门6，箱体7上部具有排湿口7a，箱体7内固定有电加热管，箱体7内还具有躲避槽7b，机座1上还固定有支架9，在本实施例中，机座1上通过焊接的方式还固定有支架9；支架9上设置有取放机构，取放机构包括轨道一8、轨道二4、滑座一11、滑座二3、气缸一10、气缸二2、活动架一12、活动架二14、取料臂17和放料臂20，轨道一8竖直固定在支架9上部，滑座一11设置在轨道一8上，气缸一10固定在支架9上部，气缸一10的活塞杆竖直向下，气缸一10的活塞杆端部和滑座一11相连，滑座一11上固定有推杆电机一13，推杆电机一13的推杆竖直向上，活动架一12固定在推杆电机一13的推杆端部，活动架一12上水平固定有导杆一16，取料臂17活动设置在导杆一16上，取料臂17上具有若干用于定位石墨舟的定位槽一17a，在本实施例中，定位槽一17a的数量为三个；取料臂17上还具有把手一15，轨道二4竖直固定在支架9下部，滑座二3设置在轨道二4上，气缸二2固定在支架9下部，气缸二2的活塞杆竖直向上，气缸二2的活塞杆端部和滑座二3相连，滑座二3上固定有推杆电机二5，推杆电机二5的推杆竖直向下，活动架二14固定在推杆电机二5的推杆端部，活动架二14上水平固定有导杆二19，放料臂20活动设置在导杆二19上，放料臂20上具有若干用于定位石墨舟的定位槽二20a，在本实施例中，定位槽二20a的数量为三个；放料臂20上还具有把手二18。

采用该结构，通过将待烘干的石墨舟放在放料臂20上，打开箱门6，通过气缸一10带动滑座一11向下移动，滑座一11带动取料臂17向下移动，使取料臂17位于取放口处，推动取料臂17向箱体7内移动，通过推杆电机一13带动活动架一12向上移动，活动架一12带动取料臂17向上移动，取料臂17将烘干好的石墨舟与箱体7脱离，并将其向上移动，使其冷却；通过气缸二2带动滑座二3向上移动，滑座二3带动放料臂20向上移动，使放料臂20位于取放口处，推动放料臂20向箱体7内移动，通过推杆电机二5带动活动架二14向下移动，活动架二14带动放料臂20向下移动，放料臂20将待烘干的石墨舟放入到箱体7内，取放方便。

活动架一12上还固定有若干冷却风机21，在本实施例中，冷却风机21的数量为三个。

采用该结构，通过冷却风机21可加速取料臂17上石墨舟的冷却。

活动架二14上还固定有集水盒22。

采用该结构，通过集水盒22可对放料臂20上石墨舟掉落的水滴进行收集。

集水盒22的材料为不锈钢。

把手一15上还具有隔热套一，把手二18上还具有隔热套二；在本实施例中，隔热套一和隔热套二采用市场上可以买到的现有产品。

以上部件均为通用标准件或本技术领域人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。

本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。

Claims

1.一种石墨舟烘箱，包括机座，其特征在于，所述机座上固定有箱体，箱体侧部具有取放口，箱体上铰接有能将取放口封闭住的箱门，箱体上部具有排湿口，箱体内固定有电加热管，箱体内还具有躲避槽，机座上还固定有支架，支架上设置有取放机构，取放机构包括轨道一、轨道二、滑座一、滑座二、气缸一、气缸二、活动架一、活动架二、取料臂和放料臂，轨道一竖直固定在支架上部，滑座一设置在轨道一上，气缸一固定在支架上部，气缸一的活塞杆竖直向下，气缸一的活塞杆端部和滑座一相连，滑座一上固定有推杆电机一，推杆电机一的推杆竖直向上，活动架一固定在推杆电机一的推杆端部，活动架一上水平固定有导杆一，取料臂活动设置导杆一上，取料臂上具有若干用于定位石墨舟的定位槽一，取料臂上还具有把手一，轨道二竖直固定在支架下部，滑座二设置在轨道二上，气缸二固定在支架下部，气缸二的活塞杆竖直向上，气缸二的活塞杆端部和滑座二相连，滑座二上固定有推杆电机二，推杆电机二的推杆竖直向下，活动架二固定在推杆电机二的推杆端部，活动架二上水平固定有导杆二，放料臂活动设置在导杆二上，放料臂上具有若干用于定位石墨舟的定位槽二，放料臂上还具有把手二。

2.根据权利要求1所述的石墨舟烘箱，其特征在于，所述活动架一上还固定有若干冷却风机。

3.根据权利要求1所述的石墨舟烘箱，其特征在于，所述活动架二上还固定有集水盒。

4.根据权利要求3所述的石墨舟烘箱，其特征在于，所述集水盒的材料为不锈钢。

5.根据权利要求1所述的石墨舟烘箱，其特征在于，所述把手一上还具有隔热套一，把手二上还具有隔热套二。