CN211142238U - 一种组合式籽晶托盘 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于金刚石合成领域,尤其是一种组合式籽晶托盘,针对现有的装置在更换不同厚度的籽晶托盘,先将籽晶和隔热丝从一个籽晶托盘内取出,然后重新放置在较厚的籽晶托盘内,但是其操作较为繁琐的问题,现提出如下方案,其包括籽晶托盘,所述籽晶托盘的上方设有加厚托盘,籽晶托盘和加厚托盘的顶侧均设有穿孔,两个穿孔的位置相对应,本实用新型中,在籽晶生长过程中,当需要增加籽晶托盘的厚度时,无需更换籽晶托盘,直接将加厚托盘上的连接槽对准连接柱移动即可完成固定组合,增加了籽晶托盘的厚度,拉动T型卡杆使其移出卡槽,取出加厚托盘即可拆卸,操作简单,满足了人们的使用需求。
Description
技术领域
本实用新型涉及金刚石合成技术领域,尤其涉及一种组合式籽晶托盘。
背景技术
金刚石集众多优异性质于一体,具有极高的硬度、热导率,宽的透射光谱带、宽带隙及高电子空穴迁移率等优点,可以广泛应用于刀具、涂层、光学窗口及声学传感器、半导体和电子器件等领域。
公开号为CN105525344B公开了一种用于金刚石单晶同质外延的籽晶托盘、基台组件及其应用,所述籽晶托盘置于微波等离子体化学气相沉积装置的水冷台上,其提到需要将籽晶置于不同厚度的籽晶托盘中生长,保持高功率密度,现有的多是直接更换不同厚度的籽晶托盘,先将籽晶和隔热丝从一个籽晶托盘内取出,然后重新放置在较厚的籽晶托盘内,但是其操作较为繁琐,存在改进的空间。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在装置在更换不同厚度的籽晶托盘,先将籽晶和隔热丝从一个籽晶托盘内取出,然后重新放置在较厚的籽晶托盘内,但是其操作较为繁琐的缺点,而提出的一种组合式籽晶托盘。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
一种组合式籽晶托盘,包括籽晶托盘,所述籽晶托盘的上方设有加厚托盘,籽晶托盘和加厚托盘的顶侧均设有穿孔,两个穿孔的位置相对应,籽晶托盘的顶侧固定安装有两个连接柱,加厚托盘的底侧开设有两个连接槽,两个连接柱的顶端分别延伸至两个连接槽内,所述连接槽的两侧内壁上均开设有凹槽,两个凹槽的顶侧内壁上均固定安装有L型柱,将加厚托盘上的连接槽对准连接柱移动。
优选的,两个L型柱相互靠近的一侧均开设有压孔,两个压孔内均滑动安装有压柱,压柱的两端均延伸至压孔外,两个压柱相互靠近的一端均固定安装有直角适配块,两个直角适配块相互靠近的一侧均延伸至连接槽内并均与连接柱相适配,两个压柱相互远离的一端均固定安装有第一弹簧的一端,两个第一弹簧相互远离的一端分别固定安装在两个凹槽相互远离的一侧内壁上,两个压柱的底侧均固定安装有齿条,连接柱移动挤压两个直角适配块使其相互远离,两个直角适配块相互远离分别带动两个压柱相互远离,两个第一弹簧均发生弹性形变,两个压柱移动分别带动两个齿条相互远离。
优选的,两个凹槽的一侧内壁上均转动安装有位于压柱下方的齿轮,两个齿轮分别与两个齿条相啮合,两个齿轮的一侧均固定安装有转柱,两个转柱上均转动安装有转杆,两个转杆相互靠近的一侧均转动安装有推杆,两个L型柱相互靠近的一侧均开设有推孔,两个推杆相互靠近的一端分别贯穿两个推孔并均固定安装有推板,两个齿条相互远离分别带动两个齿轮转动,两个齿轮转动分别带动两个转柱转动,两个转柱转动分别带动两个转杆转动,两个转杆转动分别带动两个推杆相互靠近,两个推杆相互靠近分别带动两个推板相互靠近。
优选的,其中一个齿轮的一侧固定安装有固定杆,固定杆的底端转动安装有连杆,连杆的底端转动安装有定位杆,定位杆的一侧设有开设在凹槽一侧内壁上的卡孔,加厚托盘的一侧设有T型卡杆,T型卡杆靠近加厚托盘的一端贯穿卡孔,T型卡杆上套接有第二弹簧,第二弹簧的两端分别固定安装在T型卡杆和加厚托盘相互靠近的一侧上,L型柱的顶侧开设有定位孔,T型卡杆的顶侧开设有活动孔,定位杆的底端依次贯穿定位孔和活动孔,其中一个齿轮转动带动固定杆转动,固定杆转动带动连杆转动,连杆转动带动定位杆在定位孔和活动孔内移动,当连接柱进入连接槽内时,此时两个推板刚好压紧连接柱,T型卡杆与卡槽的位置相对应,而定位杆刚好移出活动孔,由于第二弹簧处于拉伸状态,所以在拉伸状态,所以在第二弹簧的反作用力下使得T型卡杆移入卡槽内。
优选的,所述连接柱的一侧开设有卡槽,T型卡杆靠近连接柱的一端与卡槽相适配。
本实用新型中,由于设置了推板,通过推板压紧连接柱,可以防止连接柱安装后产生晃动,进而防止籽晶托盘和加厚托盘安装后产生晃动;
本实用新型中,由于设置了T型卡杆,通过T型卡杆移入卡槽可以固定连接柱,进而固定籽晶托盘和加厚托盘;
本实用新型中,在籽晶生长过程中,当需要增加籽晶托盘的厚度时,无需更换籽晶托盘,直接将加厚托盘上的连接槽对准连接柱移动即可完成固定组合,增加了籽晶托盘的厚度,拉动T型卡杆使其移出卡槽,取出加厚托盘即可拆卸,操作简单,满足了人们的使用需求。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种组合式籽晶托盘的结构示意图;
图2为本实用新型提出的一种组合式籽晶托盘的图1中A部分结构示意图;
图3为本实用新型提出的一种组合式籽晶托盘的图2中A1部分结构示意图;
图4为本实用新型提出的一种组合式籽晶托盘的直角适配块立体结构示意图。
图中:1籽晶托盘、2加厚托盘、3连接柱、4连接槽、5凹槽、6 L型柱、7压孔、8压柱、9齿条、10齿轮、11转柱、12转杆、13推杆、14推孔、15推板、16卡孔、17 T型卡杆、18连杆、19定位杆、20定位孔、21活动孔、22卡槽、23直角适配块、24固定杆。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。
实施例1
参照图1-4,一种组合式籽晶托盘,包括籽晶托盘1,籽晶托盘1的上方设有加厚托盘2,籽晶托盘1和加厚托盘2的顶侧均设有穿孔,两个穿孔的位置相对应,籽晶托盘1的顶侧固定安装有两个连接柱3,加厚托盘2的底侧开设有两个连接槽4,两个连接柱3的顶端分别延伸至两个连接槽4内,连接槽4的两侧内壁上均开设有凹槽5,两个凹槽5的顶侧内壁上均固定安装有L型柱6,将加厚托盘2上的连接槽4对准连接柱3移动。
本实用新型中,两个L型柱6相互靠近的一侧均开设有压孔7,两个压孔7内均滑动安装有压柱8,压柱8的两端均延伸至压孔7外,两个压柱8相互靠近的一端均固定安装有直角适配块23,两个直角适配块23相互靠近的一侧均延伸至连接槽4内并均与连接柱3相适配,两个压柱8相互远离的一端均固定安装有第一弹簧的一端,两个第一弹簧相互远离的一端分别固定安装在两个凹槽5相互远离的一侧内壁上,两个压柱8的底侧均固定安装有齿条9,连接柱3移动挤压两个直角适配块23使其相互远离,两个直角适配块23相互远离分别带动两个压柱8相互远离,两个第一弹簧均发生弹性形变,两个压柱8移动分别带动两个齿条9相互远离。
本实用新型中,两个凹槽5的一侧内壁上均转动安装有位于压柱8下方的齿轮10,两个齿轮10分别与两个齿条9相啮合,两个齿轮10的一侧均固定安装有转柱11,两个转柱11上均转动安装有转杆12,两个转杆12相互靠近的一侧均转动安装有推杆13,两个L型柱6相互靠近的一侧均开设有推孔14,两个推杆13相互靠近的一端分别贯穿两个推孔14并均固定安装有推板15,两个齿条9相互远离分别带动两个齿轮10转动,两个齿轮10转动分别带动两个转柱11转动,两个转柱11转动分别带动两个转杆12转动,两个转杆12转动分别带动两个推杆13相互靠近,两个推杆13相互靠近分别带动两个推板15相互靠近。
本实用新型中,其中一个齿轮10的一侧固定安装有固定杆24,固定杆24的底端转动安装有连杆18,连杆18的底端转动安装有定位杆19,定位杆19的一侧设有开设在凹槽5一侧内壁上的卡孔16,加厚托盘2的一侧设有T型卡杆17,T型卡杆17靠近加厚托盘2的一端贯穿卡孔16,T型卡杆17上套接有第二弹簧,第二弹簧的两端分别固定安装在T型卡杆17和加厚托盘2相互靠近的一侧上,L型柱6的顶侧开设有定位孔20,T型卡杆17的顶侧开设有活动孔21,定位杆19的底端依次贯穿定位孔20和活动孔21,其中一个齿轮10转动带动固定杆24转动,固定杆24转动带动连杆18转动,连杆18转动带动定位杆19在定位孔20和活动孔21内移动,当连接柱3进入连接槽4内时,此时两个推板15刚好压紧连接柱3,T型卡杆17与卡槽22的位置相对应,而定位杆19刚好移出活动孔21,由于第二弹簧处于拉伸状态,所以在拉伸状态,所以在第二弹簧的反作用力下使得T型卡杆17移入卡槽22内。
本实用新型中,连接柱3的一侧开设有卡槽22,T型卡杆17靠近连接柱3的一端与卡槽22相适配。
实施例2
参照图1-4,一种组合式籽晶托盘,包括籽晶托盘1,籽晶托盘1的上方设有加厚托盘2,籽晶托盘1和加厚托盘2的顶侧均设有穿孔,两个穿孔的位置相对应,籽晶托盘1的顶侧固定焊接有两个连接柱3,加厚托盘2的底侧开设有两个连接槽4,两个连接柱3的顶端分别延伸至两个连接槽4内,连接槽4的两侧内壁上均开设有凹槽5,两个凹槽5的顶侧内壁上均固定焊接有L型柱6,将加厚托盘2上的连接槽4对准连接柱3移动。
本实用新型中,两个L型柱6相互靠近的一侧均开设有压孔7,两个压孔7内均滑动安装有压柱8,压柱8的两端均延伸至压孔7外,两个压柱8相互靠近的一端均固定焊接有直角适配块23,两个直角适配块23相互靠近的一侧均延伸至连接槽4内并均与连接柱3相适配,两个压柱8相互远离的一端均固定焊接有第一弹簧的一端,两个第一弹簧相互远离的一端分别固定焊接在两个凹槽5相互远离的一侧内壁上,两个压柱8的底侧均固定焊接有齿条9,连接柱3移动挤压两个直角适配块23使其相互远离,两个直角适配块23相互远离分别带动两个压柱8相互远离,两个第一弹簧均发生弹性形变,两个压柱8移动分别带动两个齿条9相互远离。
本实用新型中,两个凹槽5的一侧内壁上均转动安装有位于压柱8下方的齿轮10,两个齿轮10分别与两个齿条9相啮合,两个齿轮10的一侧均固定焊接有转柱11,两个转柱11上均转动安装有转杆12,两个转杆12相互靠近的一侧均通过销轴转动安装有推杆13,两个L型柱6相互靠近的一侧均开设有推孔14,两个推杆13相互靠近的一端分别贯穿两个推孔14并均固定焊接有推板15,两个齿条9相互远离分别带动两个齿轮10转动,两个齿轮10转动分别带动两个转柱11转动,两个转柱11转动分别带动两个转杆12转动,两个转杆12转动分别带动两个推杆13相互靠近,两个推杆13相互靠近分别带动两个推板15相互靠近。
本实用新型中,其中一个齿轮10的一侧固定焊接有固定杆24,固定杆24的底端通过销轴转动安装有连杆18,连杆18的底端通过销轴转动安装有定位杆19,定位杆19的一侧设有开设在凹槽5一侧内壁上的卡孔16,加厚托盘2的一侧设有T型卡杆17,T型卡杆17靠近加厚托盘2的一端贯穿卡孔16,T型卡杆17上套接有第二弹簧,第二弹簧的两端分别固定焊接在T型卡杆17和加厚托盘2相互靠近的一侧上,L型柱6的顶侧开设有定位孔20,T型卡杆17的顶侧开设有活动孔21,定位杆19的底端依次贯穿定位孔20和活动孔21,其中一个齿轮10转动带动固定杆24转动,固定杆24转动带动连杆18转动,连杆18转动带动定位杆19在定位孔20和活动孔21内移动,当连接柱3进入连接槽4内时,此时两个推板15刚好压紧连接柱3,T型卡杆17与卡槽22的位置相对应,而定位杆19刚好移出活动孔21,由于第二弹簧处于拉伸状态,所以在拉伸状态,所以在第二弹簧的反作用力下使得T型卡杆17移入卡槽22内。
本实用新型中,连接柱3的一侧开设有卡槽22,T型卡杆17靠近连接柱3的一端与卡槽22相适配。
本实用新型中,在籽晶生长过程中,当需要增加籽晶托盘1的厚度时,将加厚托盘2上的连接槽4对准连接柱3移动,连接柱3移动挤压两个直角适配块23使其相互远离,两个直角适配块23相互远离分别带动两个压柱8相互远离,两个第一弹簧均发生弹性形变,两个压柱8移动分别带动两个齿条9相互远离,两个齿条9相互远离分别带动两个齿轮10转动,两个齿轮10转动分别带动两个转柱11转动,两个转柱11转动分别带动两个转杆12转动,两个转杆12转动分别带动两个推杆13相互靠近,两个推杆13相互靠近分别带动两个推板15相互靠近,同时其中一个齿轮10转动带动固定杆24转动,固定杆24转动带动连杆18转动,连杆18转动带动定位杆19在定位孔20和活动孔21内移动,当连接柱3进入连接槽4内时,此时两个推板15刚好压紧连接柱3,T型卡杆17与卡槽22的位置相对应,而定位杆19刚好移出活动孔21,由于第二弹簧处于拉伸状态,所以在拉伸状态,所以在第二弹簧的反作用力下使得T型卡杆17移入卡槽22内,此时完成安装,需要拆卸时,拉动T型卡杆17使其移出卡槽22,取出加厚托盘2即可。
以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种组合式籽晶托盘,包括籽晶托盘(1),其特征在于,所述籽晶托盘(1)的上方设有加厚托盘(2),籽晶托盘(1)和加厚托盘(2)的顶侧均设有穿孔,两个穿孔的位置相对应,籽晶托盘(1)的顶侧固定安装有两个连接柱(3),加厚托盘(2)的底侧开设有两个连接槽(4),两个连接柱(3)的顶端分别延伸至两个连接槽(4)内,所述连接槽(4)的两侧内壁上均开设有凹槽(5),两个凹槽(5)的顶侧内壁上均固定安装有L型柱(6)。
2.根据权利要求1所述的一种组合式籽晶托盘,其特征在于,两个L型柱(6)相互靠近的一侧均开设有压孔(7),两个压孔(7)内均滑动安装有压柱(8),压柱(8)的两端均延伸至压孔(7)外,两个压柱(8)相互靠近的一端均固定安装有直角适配块(23),两个直角适配块(23)相互靠近的一侧均延伸至连接槽(4)内并均与连接柱(3)相适配,两个压柱(8)相互远离的一端均固定安装有第一弹簧的一端,两个第一弹簧相互远离的一端分别固定安装在两个凹槽(5)相互远离的一侧内壁上,两个压柱(8)的底侧均固定安装有齿条(9)。
3.根据权利要求1所述的一种组合式籽晶托盘,其特征在于,两个凹槽(5)的一侧内壁上均转动安装有位于压柱(8)下方的齿轮(10),两个齿轮(10)分别与两个齿条(9)相啮合,两个齿轮(10)的一侧均固定安装有转柱(11),两个转柱(11)上均转动安装有转杆(12),两个转杆(12)相互靠近的一侧均转动安装有推杆(13),两个L型柱(6)相互靠近的一侧均开设有推孔(14),两个推杆(13)相互靠近的一端分别贯穿两个推孔(14)并均固定安装有推板(15)。
4.根据权利要求1所述的一种组合式籽晶托盘,其特征在于,其中一个齿轮(10)的一侧固定安装有固定杆(24),固定杆(24)的底端转动安装有连杆(18),连杆(18)的底端转动安装有定位杆(19),定位杆(19)的一侧设有开设在凹槽(5)一侧内壁上的卡孔(16),加厚托盘(2)的一侧设有T型卡杆(17),T型卡杆(17)靠近加厚托盘(2)的一端贯穿卡孔(16),T型卡杆(17)上套接有第二弹簧,第二弹簧的两端分别固定安装在T型卡杆(17)和加厚托盘(2)相互靠近的一侧上,L型柱(6)的顶侧开设有定位孔(20),T型卡杆(17)的顶侧开设有活动孔(21),定位杆(19)的底端依次贯穿定位孔(20)和活动孔(21)。
5.根据权利要求1所述的一种组合式籽晶托盘,其特征在于,所述连接柱(3)的一侧开设有卡槽(22),T型卡杆(17)靠近连接柱(3)的一端与卡槽(22)相适配。
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