CN211100662U - 一种非接触式超声清洗装置旋转移动导轨 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及清洗机械设备领域，具体涉及到一种非接触式超声清洗装置旋转移动导轨。其包括支架、旋转支架、旋转支撑板、移动板和支撑杆；所述旋转支架通过旋转电机与所述支架活动连接；所述支撑杆与所述移动板固定连接；所述移动板活动设置在所述旋转支撑板上；所述旋转支撑板的一端与所述旋转支架固定连接。旋转支架在旋转电机的作用下带动旋转支撑板以支架为轴发生旋转，从而带动移动板、支撑杆以及连接在支撑杆下端的清洗装置转动。与此同时，移动板因重力作用下支撑在旋转支撑板上，使其在旋转支撑板上自由移动，从而带动清洗装置在被清洗物表面进行横向和纵向方向移动，起到充分清洗被清洗物表面的污渍，避开被清洗物特定位置等效果。

Description

一种非接触式超声清洗装置旋转移动导轨

技术领域

本实用新型涉及清洗机械设备领域，具体涉及到一种非接触式超声清洗装置旋转移动导轨。

背景技术

光刻设备是一种将所需图案应用到衬底上(通常到所述衬底的目标位置上)的机器。而这种光刻机等设备(如浸没式光刻机)的投影隔水罩，以及硅片晶元平台等经常与带有光刻胶的硅片接触，带来投影隔水罩脏污，硅片台上有颗粒物导致硅片畸变等问题，导致高精度设备的作业精度、硅片的处理工艺等受到较严重的影响。因此需要对该经常与光刻胶等接触的，容易被污染的特殊部件进行清洗。现有技术中对此类设备的清洗主要是采用大理石打磨或者整个部件浸泡清洗，费时费力，效率比较低而且由于大理石打磨采用的是接触式清理，因而存在损坏部件的风险。因此需要设置一种能够避免与光刻设备直接接触，但又能高度清洗光刻设备，操作简单，安全的清洗装置，但是这种设备出了需要避免与光刻设备直接接触之外，还能在被清洗物表面自由移动，清洗被清洗物的整个表面，同时还能避开硅片晶元表面的易泄漏清洗液的凹点，否则不能充分的清洗硅片晶元等物品，还会因为清洗液的泄漏等带来浪费、污染和安全问题。

实用新型内容

针对上述技术问题，本实用新型提供了一种非接触式超声清洗装置旋转移动导轨，其包括支架、旋转支架、旋转支撑板、移动板和支撑杆；所述旋转支架通过旋转电机与所述支架活动连接；所述支撑杆与所述移动板固定连接；所述移动板活动设置在所述旋转支撑板上；所述旋转支撑板的一端与所述旋转支架固定连接。

作为一种优选的技术方案，所述移动板底部设置有横向的凹槽，所述凹槽内设置带有第一微型电机的滚动条；所述移动板通过所述滚动条与所述旋转支撑板活动接触。

作为一种优选的技术方案，所述移动板底部设置有宽度方向的滚动轮。

作为一种优选的技术方案，所述旋转支撑板上设置有长度方向的卡槽。

作为一种优选的技术方案，所述移动板底部设置有第二微型电机，所述第二微型电机与所述滚动轮驱动连接。

作为一种优选的技术方案，所述支撑杆底部设置电动推杆。

作为一种优选的技术方案，非接触式超声清洗装置旋转移动导轨还包括控制系统，所述控制系统与所述第一微型电机、第二微型电机和旋转电机通讯连接。

有益效果：本实用新型中的非接触式超声清洗装置旋转移动导轨中旋转支架通过旋转电机与支架活动连接，能够被旋转电机带动旋转。将旋转支撑板的一端固定连接在该旋转支架上时，由旋转支架在旋转电机的作用下带动旋转支撑板以支架为轴发生旋转，从而带动移动板、支撑杆以及连接在支撑杆下端的清洗装置转动。与此同时，移动板因设置在其一端的支撑杆，连接在支撑杆下端的清洗装置等的重力作用下支撑在旋转支撑板上，利用移动板与旋转支撑板之间的活动连接，使移动板在旋转支撑板上沿着其长度方向自由移动，从而带动清洗装置在被清洗物表面进行横向和纵向方向上的自由移动，起到充分清洗被清洗物表面的污渍，避开被清洗物表面的特定部位等效果。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型中非接触式超声清洗装置旋转移动导轨的结构示意图。

图2为本实用新型中非接触式超声清洗装置旋转移动导轨的结构示意图。

其中：1-支架、2-旋转电机、3-旋转支架、4-旋转支撑板、5-移动板、6-支撑杆、7-电动推杆、8-滚动条、9-卡槽。

具体实施方式

参选以下本实用新型的优选实施方法的详述以及包括的实施例可更容易地理解本实用新型的内容。除非另有限定，本文使用的所有技术以及科学术语具有与本实用新型所属领域普通技术人员通常理解的相同的含义。当存在矛盾时，以本说明书中的定义为准。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中央”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

针对上述技术问题，本实用新型提供了一种非接触式超声清洗装置旋转移动导轨，其包括支架、旋转支架、旋转支撑板、移动板和支撑杆；所述旋转支架通过旋转电机与所述支架活动连接；所述支撑杆与所述移动板固定连接；所述移动板活动设置在所述旋转支撑板上；所述旋转支撑板的一端与所述旋转支架固定连接。

本实用新型中的旋转支架通过旋转电机与支架活动连接，能够被旋转电机带动旋转。将旋转支撑板的一端固定连接在该旋转支架上时，由旋转支架在旋转电机的作用下带动旋转支撑板以支架为轴发生旋转，从而带动移动板、支撑杆以及连接在支撑杆下端的清洗装置转动。与此同时，移动板因设置在其一端的支撑杆，连接在支撑杆下端的清洗装置等的重力作用下支撑在旋转支撑板上，利用移动板与旋转支撑板之间的活动连接，使移动板在旋转支撑板上沿着其长度方向自由移动，从而带动清洗装置在被清洗物表面进行横向和纵向方向上的自由移动，起到充分清洗被清洗物表面的污渍，避开被清洗物表面的特定部位等效果。其中对移动板与旋转支撑板之间的连接方式不做特殊限定，只要能够将移动板在旋转支撑板的长度方向上自由移动即可，可以选用本领域技术人员所熟知的方式进行连接。

在一些实施方式中，所述移动板底部设置有横向的凹槽，所述凹槽内设置带有第一微型电机的滚动条；所述移动板通过所述滚动条与所述旋转支撑板活动接触。在移动板底部设置凹槽，同时将尺寸大小相匹配的滚动条安装在该凹槽内，由于移动板以及其一端固定连接的支撑杆、清洗装置的重量，使移动板支撑在旋转支撑板上，然后通过滚动条上的微型电机运行，使滚动条带动移动板在旋转支撑板上沿着旋转支撑板长度方向移动。本实用新型中旋转支撑板的长度方向是指旋转支撑板沿着旋转支架旋转形成的扇形的直径方向。

在一些实施方式中，所述移动板底部设置有宽度方向的滚动轮；进一步地，所述旋转支撑板上设置有长度方向的卡槽。在移动板底部宽度方向上设置滚动轮，同时在旋转支撑板的长度方向上设置尺寸与滚动轮相匹配的卡槽，使滚动轮沿着旋转支撑板上的卡槽移动。进一步地，所述移动板底部设置有第二微型电机，所述第二微型电机与所述滚动轮驱动连接。通过控制第二微型电机的运行情况，控制滚动轮的滚动，带动移动板在旋转支撑板上的移动。其中移动板的宽度方向是指垂直于的旋转支撑板长度的方向。

进一步地，所述支撑杆底部设置电动推杆。

本实用新型中的支撑杆上可选的设置电动推杆，电动推杆的上端与支撑杆的下端固定连接，其下端可以连接清洗装置。通过电动推杆的电机控制推杆的伸缩量，从而有助于控制清洗装置的上下高度，灵活控制清洗状态，有助于减少浪费。

进一步地，非接触式超声清洗装置旋转移动导轨还包括控制系统，所述控制系统与所述第一微型电机、第二微型电机和旋转电机通讯连接。

本实用新型中所述控制系统的作用是同时协调控制旋转电机和第一微型电机/第二微型电机，使移动板通过滚动轮或滚动条带动支撑杆沿着旋转支撑板的长度方向移动的同时，旋转支架在旋转电机的作用下带动旋转支撑板转动，从而带动连接在支撑板下端的清洗装置在被清洗物表面在横向和纵向方向上自由移动，达到充分清洗被清洗物的效果。其中的通讯连接可以是远程通讯连接，也可以是通过线路连接，该控制系统通过本领域技术人员所熟知的程序软件控制微型电机和旋转电机的运行情况。

下面通过实施例对本实用新型进行具体描述。有必要在此指出的是，以下实施例只用于对本实用新型作进一步说明，不能理解为对本实用新型保护范围的限制，该领域的专业技术人员根据上述本实用新型的内容做出的一些非本质的改进和调整，仍属于本实用新型的保护范围。

实施例1

如图1所示，本实施例提供了一种非接触式超声清洗装置旋转移动导轨，其包括支架1、旋转支架3、旋转支撑板4、移动板5、支撑杆6和控制系统；

所述旋转支架3通过旋转电机2与所述支架1活动连接；

所述支撑杆6与所述移动板5固定连接；

所述移动板5活动设置在所述旋转支撑板4上；

所述旋转支撑板4的一端与所述旋转支架3固定连接；

所述移动板5底部设置有横向的凹槽，所述凹槽内设置带有第一微型电机的滚动条8；所述移动板5通过所述滚动条8与所述旋转支撑板4活动接触；

所述支撑杆6底部设置电动推杆7；

所述控制系统与所述第一微型电机、第二微型电机和旋转电机2通讯连接。

实施例2

如图2所示，本实施例提供了一种非接触式超声清洗装置旋转移动导轨，其包括支架1、旋转支架3、旋转支撑板4、移动板5、支撑杆6和控制系统；

所述旋转支架3通过旋转电机2与所述支架1活动连接；

所述支撑杆6与所述移动板5固定连接；

所述移动板5活动设置在所述旋转支撑板4上；

所述旋转支撑板4的一端与所述旋转支架3固定连接；

所述移动板5底部设置有宽度方向的滚动轮；

所述旋转支撑板4上设置有长度方向的卡槽9；

所述移动板5底部设置有第二微型电机，所述第二微型电机与所述滚动轮驱动连接；

所述支撑杆6底部设置电动推杆7。

所述控制系统与所述第一微型电机、第二微型电机和旋转电机2通讯连接。

本公开实施例附图只涉及到与本公开实施例涉及到的结构，其他结构可参考通常设计。

为了清晰起见，在用于描述本公开的实施例的附图中，层或区域的厚度被放大或缩小，即这些附图并非按照实际的比例绘制。

在不冲突的情况下，本公开的实施例及实施例中的特征可以相互组合以得到新的实施例。

以上所述仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非是对实用新型作其他形式的限制，任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的技术内容加以变更或更改为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改，等同变化与改型，仍属于本实用新型技术方案的保护范围。

Claims (7)

1.一种非接触式超声清洗装置旋转移动导轨，其特征在于，其包括支架、旋转支架、旋转支撑板、移动板和支撑杆；所述旋转支架通过旋转电机与所述支架活动连接；所述支撑杆与所述移动板固定连接；所述移动板活动设置在所述旋转支撑板上；所述旋转支撑板的一端与所述旋转支架固定连接。

2.如权利要求1所述的非接触式超声清洗装置旋转移动导轨，其特征在于，所述移动板底部设置有横向的凹槽，所述凹槽内设置带有第一微型电机的滚动条；所述移动板通过所述滚动条与所述旋转支撑板活动接触。

3.如权利要求2所述的非接触式超声清洗装置旋转移动导轨，其特征在于，所述移动板底部设置有宽度方向的滚动轮。

4.如权利要求3所述的非接触式超声清洗装置旋转移动导轨，其特征在于，所述旋转支撑板上设置有长度方向的卡槽。

5.如权利要求3所述的非接触式超声清洗装置旋转移动导轨，其特征在于，所述移动板底部设置有第二微型电机，所述第二微型电机与所述滚动轮驱动连接。

6.如权利要求1所述的非接触式超声清洗装置旋转移动导轨，其特征在于，所述支撑杆底部设置电动推杆。

7.如权利要求5所述的非接触式超声清洗装置旋转移动导轨，其特征在于，非接触式超声清洗装置旋转移动导轨还包括控制系统，所述控制系统与所述第一微型电机、第二微型电机和旋转电机通讯连接。

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