CN211089995U - 一种加热均匀的立体加热器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种加热均匀的立体加热器，属于材料蒸发设备技术领域，装置包括加热载体，加热载体为圆筒体，加热载体内侧为中空空腔，加热载体表面设有电路涂层，电路涂层包括至少两个涂层区，相邻两个涂层区之间设有过渡区间，每个涂层区均设有电路条，电路条两端为正极接头端、负极接头端，电路条包括并列的两条子电路条，两条子电路条之间设有间隙，电路条在涂层区填充分布，填充的电路条之间设有间隙，电路涂层外侧设有绝缘涂层。多个的涂层区形成多个的加热区，在不同的加热区之间有间隔，这样有利于加热区中心位置或靠近中心位置的加热区域散热，保证加热器整体部分加热较为均匀。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种加热均匀的立体加热器，属于材料蒸发设备技术领域。
背景技术
目前市场上立体形状的加热器，多为金属加热丝，并且多进行整体全面加热，加热器两端散热较中间位置多，根据设计工艺的不同要求，加热器有不同的容腔尺寸，当加热器内的容腔容积超过一定范围时，会造成加热器中间的温度较两端的温度高一些，在材料热蒸发领域往往需要加热器整体加热均匀，这样材料的蒸发镀膜速率会更加平稳，故现在亟需寻求一种整体加热均匀的加热器。
实用新型内容
针对现有技术的不足，本实用新型提供一种加热均匀的立体加热器。
本实用新型的技术方案如下：
一种加热均匀的立体加热器，包括加热载体，所述加热载体为圆筒体，加热载体内侧为中空空腔，加热载体表面设有电路涂层，电路涂层包括至少两个涂层区，相邻两个涂层区之间设有过渡区间，每个涂层区均设有电路条，电路条两端为正极接头端、负极接头端，电路条包括并列的两条子电路条，两条子电路条之间设有间隙，电路条在涂层区填充分布，填充的电路条之间设有间隙，电路涂层外侧设有绝缘涂层。
不同涂层区的电路涂层可根据不同的电阻参数需要制定相应的形状及分布，当加热器整体应用在蒸镀设备上时，加热器内部放置坩埚，坩埚内盛放蒸发料，在为坩埚提供加热热源时，相比中间区域，端部热量会存在散失，导致整体温度加热不均匀，增加过渡区间，可使对整个坩埚的加热温度更加均匀。
优选的，所述电路涂层沉积置于加热载体表面。
优选的，过渡区间的高度为至少5mm。
优选的，电路条在涂层区螺旋分布，或电路条在涂层区折回分布。
优选的，涂层区内电路条与电路条之间的间隙为至少2mm，子电路条之间的间隙为至少2mm。保证电路条不被击穿。
优选的，所有涂层区电路条的正极接头端、负极接头端均设置于加热载体的同一端。正极接头端、负极接头端用于连接外部电极，设于同一端，便于装配电极，节省空间。
本实用新型的有益效果在于：
本实用新型提供的加热器，多个的涂层区形成多个的加热区，在不同的加热区之间有间隔，这样有利于加热区中心位置或靠近中心位置的加热区域散热，保证陶瓷加热器整体部分加热较为均匀。
附图说明
图1为本实用新型加热器立体结构示意图；
图2为本实用新型电路涂层轴向展开示意图；
其中：1、加热载体，2、涂层区，3、过渡区间，4、电路条，4-1、子电路条，5、正极接头端，6、负极接头端。
具体实施方式
下面通过实施例并结合附图对本实用新型做进一步说明，但不限于此。
实施例1：
一种加热均匀的立体加热器，如图1、图2所示，包括加热载体1，所述加热载体1为圆筒体，加热载体内侧为中空空腔，加热载体表面设有电路涂层，电路涂层包括两个涂层区2，相邻两个涂层区之间设有过渡区间3，过渡区间的高度为11mm，每个涂层区均设有电路条4，电路条两端为正极接头端5、负极接头端6，电路条4包括并列的两条子电路条4-1，两条子电路条之间设有2mm间隙，电路条在涂层区折回分布，涂层区内折回的电路条与电路条之间设有2mm间隙，电路涂层沉积置于加热载体表面，电路涂层外侧设有绝缘涂层。
加热器整体应用在蒸镀设备上时，加热器内部放置坩埚，坩埚内盛放蒸发料，在为坩埚提供加热热源时，相比中间区域，端部热量会存在散失，导致整体温度加热不均匀，增加过渡区间，可使对整个坩埚的加热温度更加均匀。
实施例2：
一种加热均匀的立体加热器，其结构如实施例1所述，所不同的是，过渡区间的高度为5mm。
实施例3：
一种加热均匀的立体加热器，其结构如实施例1所述，所不同的是，所有涂层区电路条的正极接头端5、负极接头端6均设置于加热载体的同一端，如图2所示。正极接头端、负极接头端用于连接外部电极，设于同一端，便于装配电极，节省空间。
实施例4：
一种加热均匀的立体加热器，其结构如实施例1所述，所不同的是，电路条在涂层区螺旋分布。
Claims (6)
1.一种加热均匀的立体加热器，其特征在于，包括加热载体，所述加热载体为圆筒体，加热载体内侧为中空空腔，加热载体表面设有电路涂层，电路涂层包括至少两个涂层区，相邻两个涂层区之间设有过渡区间，每个涂层区均设有电路条，电路条两端为正极接头端、负极接头端，电路条包括并列的两条子电路条，两条子电路条之间设有间隙，电路条在涂层区填充分布，涂层区内填充的电路条与电路条之间设有间隙，电路涂层外侧设有绝缘涂层。
2.根据权利要求1所述的加热均匀的立体加热器，其特征在于，所述电路涂层沉积置于加热载体表面。
3.根据权利要求1所述的加热均匀的立体加热器，其特征在于，过渡区间的高度为至少5mm。
4.根据权利要求1所述的加热均匀的立体加热器，其特征在于，电路条在涂层区螺旋分布，或电路条在涂层区折回分布。
5.根据权利要求1所述的加热均匀的立体加热器，其特征在于，涂层区内电路条与电路条之间的间隙为至少2mm，子电路条之间的间隙为至少2mm。
6.根据权利要求4所述的加热均匀的立体加热器，其特征在于，电路条在涂层区折回分布时，所有涂层区电路条的正极接头端、负极接头端均设置于加热载体的同一端。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201922229568 | 2019-12-13 | ||
| CN2019222295681 | 2019-12-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN211089995U true CN211089995U (zh) | 2020-07-24 |
Family
ID=71624855
Family Applications (1)
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| CN201922239993.9U Active CN211089995U (zh) | 2019-12-13 | 2019-12-14 | 一种加热均匀的立体加热器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN211089995U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112822798A (zh) * | 2020-12-31 | 2021-05-18 | 博宇（天津）半导体材料有限公司 | 一种立式陶瓷加热器 |
-
2019
- 2019-12-14 CN CN201922239993.9U patent/CN211089995U/zh active Active
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112822798A (zh) * | 2020-12-31 | 2021-05-18 | 博宇（天津）半导体材料有限公司 | 一种立式陶瓷加热器 |
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