CN211061849U - 一种曝光机用冷却水分配系统 - Google Patents
一种曝光机用冷却水分配系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN211061849U CN211061849U CN201921873617.9U CN201921873617U CN211061849U CN 211061849 U CN211061849 U CN 211061849U CN 201921873617 U CN201921873617 U CN 201921873617U CN 211061849 U CN211061849 U CN 211061849U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- water
- return
- total
- distribution system
- exposure machine
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
Abstract
本实用新型提供了一种曝光机用冷却水分配系统，其能解决现有曝光机的冷却水分配系统多是由自来水管搭建，费时费力、占用空间大、调节精度不高，且维修困难的问题。其包括歧管块，歧管块内部分别设有总进水通道和总回水通道，总进水通道和总回水通道的一端封闭，另一端分别安装有快插接头；歧管块上还分别开有至少两个与总进水通道连通的分出水口，分出水口上密封安装有出水调节阀，出水调节阀上安装有流量计，流量计上安装有快插接头；歧管块上还分别开有数量与分出水口一致的且与总回水通道连通的分回水口，分回水口上密封安装有回水调节阀，回水调节阀上安装有快插接头。
Description
技术领域
本实用新型涉及水路分配系统领域，具体为一种曝光机用冷却水分配系统。
背景技术
在半导体的曝光工艺中会用到曝光机，曝光机的许多核心部件在工作中必须使用冷却水进行冷却，因需要冷却的部件较多，对冷却水的流量又各有要求，因此曝光机都会配置一套冷却水分配系统。现有的冷却水分配系统多是由自来水管搭建，费时费力、占用空间大、调节精度不高，且维修困难。
发明内容
针对现有曝光机的冷却水分配系统多是由自来水管搭建，费时费力、占用空间大、调节精度不高，且维修困难的技术问题，本实用新型提供了一种曝光机用冷却水分配系统，其便于搭建、结构紧凑、调节精度高且便于维修。
其技术方案是这样的：一种曝光机用冷却水分配系统，其特征在于：其包括歧管块，所述歧管块内部分别设有总进水通道和总回水通道，所述总进水通道和所述总回水通道的一端封闭，另一端分别安装有快插接头；所述歧管块上还分别开有至少两个与所述总进水通道连通的分出水口，所述分出水口上密封安装有出水调节阀，所述出水调节阀上安装有流量计，所述流量计上安装有快插接头；所述歧管块上还分别开有数量与所述分出水口一致的且与所述总回水通道连通的分回水口，所述分回水口上密封安装有回水调节阀，所述回水调节阀上安装有快插接头。
其进一步特征在于：
所述分出水口与所述分回水口间隔设置。
所述分出水口与所述出水调节阀之间、所述分回水口与所述回水调节阀之间均通过密封管螺纹连接。
所述分出水口的数量为六个。
所述快插接头可由快拧接头代替。
所述流量计为电子式流量计。
所述歧管块为不锈钢歧管块，所述出水调节阀和所述回水调节阀均为不锈钢球阀。
本实用新型的有益效果是：
本实用新型的冷却水分配系统，通过使用歧管块，使各分出水口与总进水通道连通，各分回水口与总回水通道连通，从而实现了各路出水和回水的有效集成和优化，结构紧凑，占用空间小；通过在分出水口上设置出水调节阀和流量计，能够实现各路出水流量的精确调节，使每一路的用水需求都能得到满足，并可实时监控各路水流情况，利于维修时的问题查找；通过在分回水口上设置回水调节阀，可以保证整个回路的流量稳定；快插接头的设置，可使安装搭建极其方便，大大缩短安装时间。
附图说明
图1为本实用新型的主视图；
图2为沿图1中A-A线的剖视图；
图3为沿图1中B-B线的剖视图；
图4为沿图1中C-C线的剖视图；
图5为沿图1中D-D线的剖视图。
附图标记：1-歧管块；2-总进水通道；3-总回水通道；4-快插接头；5-分出水口；6-密封管螺纹；7-出水调节阀；8-流量计；9-分回水口；10-回水调节阀。
具体实施方式
见图1至图5，本实用新型的一种曝光机用冷却水分配系统，其包括歧管块1，歧管块1优选不锈钢歧管块，更加耐用；歧管块1内部分别设有总进水通道2和总回水通道3，总进水通道2和总回水通道3的一端封闭，另一端分别安装有快插接头4；歧管块1上还分别开有至少两个与总进水通道连通的分出水口5，分出水口5上通过密封管螺纹6安装有出水调节阀7，出水调节阀7上通过密封管螺纹6安装安装有流量计8，流量计8为电子式流量计，流量计8上安装有快插接头4；歧管块1上还分别开有数量与分出水口5一致的且与总回水通道3连通的分回水口9，分回水口9上通过密封管螺纹6安装有回水调节阀10，回水调节阀10上安装有快插接头4；其中，分出水口5与分回水口9间隔设置，从而更加便于管回路的安装和布置；本实施例中，分出水口5和分回水口9各设置六个，从而一套分配系统可供曝光机的六个用水回路使用；出水调节阀7和回水调节阀10均为不锈钢球阀，便于流量调节，且耐用；快插接头4可由快拧接头代替，但对于用户来说需要更多的安装时间。
下面具体描述下采用本实用新型装置分配冷却水的过程：将外部总进水管安装在总进水通道2的快插接头4上，外部总回水管安装在总回水通道3的快插接头4上，根据曝光机需要冷却部件的数量，选择相应数量的冷却管路，管路一端连在流量计8的快插接头4上，另一端连在回水调节阀10的快插接头4上，通过外部总进水管给歧管块1进水，然后根据各部件对冷却水流量的不同需求调节分出水口5上的出水调节阀7，使流量计8的读数与需求流量一致，即可实现各部件冷却水流量的精确调节，冷却水冷却完部件后通过分回水口9进入总回水通道3，由外部总回水管排出。
Claims (7)
1.一种曝光机用冷却水分配系统，其特征在于：其包括歧管块，所述歧管块内部分别设有总进水通道和总回水通道，所述总进水通道和所述总回水通道的一端封闭，另一端分别安装有快插接头；所述歧管块上还分别开有至少两个与所述总进水通道连通的分出水口，所述分出水口上密封安装有出水调节阀，所述出水调节阀上安装有流量计，所述流量计上安装有快插接头；所述歧管块上还分别开有数量与所述分出水口一致的且与所述总回水通道连通的分回水口，所述分回水口上密封安装有回水调节阀，所述回水调节阀上安装有快插接头。
2.根据权利要求1所述的一种曝光机用冷却水分配系统，其特征在于：所述分出水口与所述分回水口间隔设置。
3.根据权利要求1或2所述的一种曝光机用冷却水分配系统，其特征在于：所述分出水口与所述出水调节阀之间、所述分回水口与所述回水调节阀之间均通过密封管螺纹连接。
4.根据权利要求1所述的一种曝光机用冷却水分配系统，其特征在于：所述分出水口的数量为六个。
5.根据权利要求1所述的一种曝光机用冷却水分配系统，其特征在于：所述快插接头可由快拧接头代替。
6.根据权利要求1所述的一种曝光机用冷却水分配系统，其特征在于：所述流量计为电子式流量计。
7.根据权利要求1所述的一种曝光机用冷却水分配系统，其特征在于：所述歧管块为不锈钢歧管块，所述出水调节阀和所述回水调节阀均为不锈钢球阀。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921873617.9U CN211061849U (zh) | 2019-11-04 | 2019-11-04 | 一种曝光机用冷却水分配系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921873617.9U CN211061849U (zh) | 2019-11-04 | 2019-11-04 | 一种曝光机用冷却水分配系统 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN211061849U true CN211061849U (zh) | 2020-07-21 |
Family
ID=71591401
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201921873617.9U Active CN211061849U (zh) | 2019-11-04 | 2019-11-04 | 一种曝光机用冷却水分配系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN211061849U (zh) |
-
2019
- 2019-11-04 CN CN201921873617.9U patent/CN211061849U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN107218739B (zh) | 一种基于bim集成化族的制冷机房 | |
| CN111396982A (zh) | 一种热力耦合水力的热网平衡调节方法及供热系统 | |
| CN103697719A (zh) | 一种并联多支路冷却水分配与调节系统 | |
| RU127809U1 (ru) | Система распределения и дозирования ингибитора гидратообразования | |
| CN105066544B (zh) | 一种小温变组合式冷却循环水系统 | |
| CN211061849U (zh) | 一种曝光机用冷却水分配系统 | |
| CN203429188U (zh) | 两段式可调节水量的高炉软水冷却系统 | |
| CN209146702U (zh) | 一种多点调节式稀油润滑系统 | |
| CN101581209B (zh) | 自动调控对称分汽管线及其使用方法 | |
| CN207335216U (zh) | 一种基于bim集成化族的制冷机房 | |
| RU164342U1 (ru) | Блок распределения и дозирования ингибитора гидратообразования | |
| CN108545214B (zh) | 一种大型热结构低气压环境热特性试验水冷却系统 | |
| CN201787264U (zh) | 一种农田低压管道浮球定额给水栓 | |
| CN207196083U (zh) | 大型调压计量撬 | |
| CN210422568U (zh) | 一种气田丛式井场轮换计量集气装置及系统 | |
| CN205276881U (zh) | 冷却水流向可调的冷却装置及大体积混凝土的冷却系统 | |
| CN210764457U (zh) | 发电机定子冷却水水质调配装置 | |
| CN107388037A (zh) | 新型调压计量箱 | |
| CN209688954U (zh) | 一种降低一级网回水温度的供热系统 | |
| CN206488336U (zh) | 可调喷射装置及供热系统 | |
| CN207196084U (zh) | 新型调压计量箱 | |
| CN205259148U (zh) | 鱼道进口集中补水系统 | |
| CN217004067U (zh) | 一种均匀流量分配器 | |
| CN210601074U (zh) | 一种整装式计量箱 | |
| CN110725363A (zh) | 一种出水补偿式增压型箱式无负压供水设备 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |