CN211051820U - 一种自动清洁的吐胶装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于半导体设备领域，尤其涉及一种自动清洁的吐胶装置，包括：胶瓶，用于存储光刻胶；胶泵，与胶瓶连接，用于将胶瓶中的光刻胶抽出；暂存槽，设置于胶瓶与胶泵之间，用于存储胶泵从胶瓶中抽出且未吐出的光刻胶；吐胶管，是用于吐胶的管道，其一端与胶泵连接，另一端连接有吐胶头；还包括清洁件和可伸缩的振子结构，所述振子结构设置于吐胶管以及吐胶头内，清洁件设置于振子结构的底部，胶泵的泵压能使振子结构伸缩，从而带动清洁件的运动，以实现清洁件对吐胶头内壁的清洁，避免光刻胶残留堵塞，有效降低吐胶阻力，使吐胶顺畅，同时，振子结构能将光刻胶封存于胶管内，避免与外界接触造成污染。

Description

一种自动清洁的吐胶装置

技术领域

本实用新型属于半导体设备领域，尤其涉及一种自动清洁的吐胶装置, 以解决吐胶口光刻胶凝固造成的堵塞异常和吐胶不顺畅的问题。

背景技术

现有的技术中黄光上胶制程基本依靠胶泵或者氮气压力将胶瓶中的光刻胶抽出，通过胶管将光刻胶吐到片源上，然后依靠载台旋转将光刻胶均匀的平铺开来。

然而现有的技术中存在以下问题：

1、机台间隔一段时间未作业后，胶口处残留光刻胶出现凝固，出现吐胶不顺畅，吐胶偏离中心位置 ，载台旋转后出现中心区域无光刻胶异常；

2、由于光刻胶为具有一定粘度的液体状，易附着在胶管内壁，造成吐胶时阻力，特别是胶口的阻力对片源的匀胶影响较大，易出现边缘无胶或者部分区域胶厚偏大胶条异常。

因此，研究并设计出一种自动清洁的吐胶装置是非常有必要的。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种自动清洁的吐胶装置，以解决上述背景技术中由于间隔作业吐胶口光刻胶凝固造成的堵塞异常和吐胶不顺畅的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有自动清洁的吐胶装置，包括：胶瓶，用于存储光刻胶；胶泵，与胶瓶连接，用于将胶瓶中的光刻胶抽出；暂存槽，设置于胶瓶与胶泵之间，用于存储胶泵从胶瓶中抽出且未吐出的光刻胶；吐胶管，用于吐胶的管道，其一端与胶泵连接，另一端连接有吐胶头；还包括清洁件和可伸缩的振子结构，所述振子结构设置于吐胶管以及吐胶头内，清洁件设置于振子结构的底部，胶泵的泵压能使振子结构伸缩，从而带动清洁件的运动，实现清洁件对吐胶头内壁的清洁。

优选的，所述吐胶管内壁设置有用于限制振子结构位置的凹槽。

优选的，所述凹槽的上端设置为便于上挡板向上滑出的倾斜面。

优选的，所述清洁件为管状结构，吐胶头包裹清洁件，清洁件与吐胶头内壁相摩擦。

优选的，所述振子结构包括上挡板、下挡板和弹簧结构，下挡板连接清洁件。

优选的，所述吐胶头的直径≥清洁件的直径≥吐胶管的直径。

优选的，所述胶泵工作时，振子结构处于压缩状态，上挡板移动至凹槽中，下挡板向上移动。

优选的，所述胶泵停止时，振子结构恢复初始状态，上挡板从凹槽中向上滑出，将光刻胶与外界隔绝，下挡板向下移动，带动清洁件对吐胶头刮擦清洁。

本实用新型的振子结构可带动的清洁件对吐胶头内壁进行清洁，避免光刻胶残留堵塞，同时，振子结构能将光刻胶封存于胶管内，避免与外界接触造成污染吐胶结构的口径依次增大设计，可有效降低吐胶阻力，使吐胶顺畅，降低吐胶异常。

附图说明

图1为本实用新型之结构示意图。

图2为本实用新型之吐胶状态的结构示意图。

图3为本实用新型之清洁状态的结构示意图。

附图标注：1、胶瓶；2、暂存槽；3、胶泵；4、吐胶管；5、吐胶头；6、清洁件；7、振子结构；71、上挡板；72、下挡板；73、弹簧结构；8、凹槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型的关键点是在吐胶头5及吐胶管4内设计振子结构7，每当吐胶完毕后，依靠振子结构7的扩展力，使得清洁件6与吐胶头5内壁摩擦，将残留在吐胶头5内壁的光刻胶清理干净。同时，吐胶头5的直径≥清洁件6的直径≥吐胶管4的直径，由于使用口径依次增大设计可减少胶口阻力顺利吐胶，有效降低吐胶异常，实际作业验证胶管口的口径依次增大设计对吐胶异常有明显的改善效益。

参看附图1，本实用新型提供了一种具有自动清洁的吐胶装置，包括胶瓶1、暂存槽2、胶泵3、吐胶管4和吐胶头5。其中，胶瓶1中存储有光刻胶；胶泵3与胶瓶1连接，依靠胶泵3的泵压将光刻胶从胶瓶1中抽出；暂存槽2设置于胶瓶1与胶泵3之间，胶泵3从胶瓶1中抽出却未被吐出的光刻胶暂时存储于暂存槽2中；吐胶管4的一端与胶泵3连接，另一端连接有吐胶头5，光刻胶最终于吐胶头5中吐出。

参看附图2和3，吐胶装置还包括振子结构7和清洁件6。

其中，振子结构7设置于吐胶管4以及吐胶头5内，该振子结构7包括上挡板71、下挡板72和弹簧结构73，该弹簧结构73使得振子结构7可伸缩。在吐胶管4内壁设置有凹槽8，该凹槽8用于限制振子结构7的位置,振子结构7的上挡板71卡在凹槽8中。凹槽8的上端呈一定坡度，以便于上挡板71向上滑出，凹槽8的下端无坡度，以避免上挡板71从凹槽8中向下滑脱。清洁件6设置于振子结构7的底部，胶泵3的泵压能使振子结构7伸缩，从而带动清洁件6的运动，实现清洁件6对吐胶头5内壁的清洁。

图2为吐胶状态，胶泵3启动工作，胶泵3的泵压使得吐胶管4收缩，从而压缩振子结构7的弹簧结构73（受力如图2箭头所示），上挡板71顺着吐胶管4内壁被压至其下方的凹槽8中，下挡板72向上移动，吐胶头5的实际吐胶口径增大，光刻胶依次从吐胶管4、清洁件6、吐胶头5流出，口径依次增大，减小胶口的阻力，提高胶口的吐胶顺畅度，从而有效降低吐胶异常。

图3为清洁状态，胶泵3停止工作，振子结构7的弹簧结构73恢复初始状态（受力如图3箭头所示），上挡板71从凹槽8中向上滑出，将吐胶管4内的光刻胶与外界隔绝，避免光刻胶受到污染、风干等影响，下挡板72顺着吐胶头5向下移动，从而使得清洁件6顺着吐胶头5内壁进行刮擦，达到清理残胶的效果。

具体使用时，吐胶头5移动至片源的中心上方，胶泵3启动使用，胶泵3的泵压带动吐胶管4的收缩，从而使得振子结构7的弹簧结构73被压缩，上挡板71顺着吐胶管4的内壁被压至凹槽8中，下挡板72向上移动，吐胶的口径增大，光刻胶在胶泵3的泵压下从缝隙中流出，开始吐胶。吐胶完毕，胶泵3停止使用，吐胶头5移动至片源附近的初始位置，振子结构7恢复初始状态，上挡板71从凹槽8中向上滑出，将吐胶管4内的光刻胶与外界隔绝，下挡板72顺着吐胶头5向下移动，从而使得清洁件6顺着吐胶头5进行刮擦，达到清理残胶的效果，清理的残胶落入下方的胶槽(图示未画出)中。

本实用新型的振子结构7可带动的清洁件6对吐胶头5内壁进行清洁，避免光刻胶残留堵塞，同时，振子结构7能将光刻胶封存于胶管内，避免与外界接触造成污染；吐胶结构的口径依次增大设计，可有效降低吐胶阻力，使吐胶顺畅，降低吐胶异常。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (8)

1.一种自动清洁的吐胶装置，包括：

胶瓶，用于存储光刻胶；

胶泵，与胶瓶连接，用于将胶瓶中的光刻胶抽出；

暂存槽，设置于胶瓶与胶泵之间，用于存储胶泵从胶瓶中抽出且未吐出的光刻胶；

吐胶管，用于吐胶的管道，其一端与胶泵连接，另一端连接有吐胶头；

其特征在于：还包括清洁件和可伸缩的振子结构，所述振子结构设置于吐胶管以及吐胶头内，清洁件设置于振子结构的底部，胶泵的泵压能使振子结构伸缩，从而带动清洁件的运动，实现清洁件对吐胶头内壁的清洁。

2.根据权利要求1所述的一种自动清洁的吐胶装置，其特征在于：所述吐胶管内壁设置有用于限制振子结构位置的凹槽。

3.根据权利要求2所述的一种自动清洁的吐胶装置，其特征在于：所述凹槽的上端设置为便于上挡板向上滑出的倾斜面。

4.根据权利要求1所述的一种自动清洁的吐胶装置，其特征在于：所述清洁件为管状结构，吐胶头包裹清洁件，清洁件与吐胶头内壁相摩擦。

5.根据权利要求1所述的一种自动清洁的吐胶装置，其特征在于：所述振子结构包括上挡板、下挡板和弹簧结构，下挡板连接清洁件。

6.根据权利要求1所述的一种自动清洁的吐胶装置，其特征在于：所述吐胶头的直径≥清洁件的直径≥吐胶管的直径。

7.根据权利要求1所述的一种自动清洁的吐胶装置，其特征在于：所述胶泵工作时，振子结构处于压缩状态，上挡板移动至凹槽中，下挡板向上移动。

8.根据权利要求1所述的一种自动清洁的吐胶装置，其特征在于：所述胶泵停止时，振子结构恢复初始状态，上挡板从凹槽中向上滑出，将光刻胶与外界隔绝，下挡板向下移动，带动清洁件对吐胶头刮擦清洁。

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