CN211028570U - 一种细线宽多振镜头激光刻蚀机 - Google Patents

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Abstract

本实用新型公开了一种细线宽多振镜头激光刻蚀机,包括底座、机架、刻蚀机本体与送料机构,所述底座顶部的左侧固定安装有机架,所述机架上固定安装有刻蚀机本体,所述底座的顶部且对应刻蚀机本体的位置设置有送料机构,所述机架包括支杆、横杆、螺纹电机、螺纹轴与螺纹板,所述支杆的底部与底座顶部的左侧固定连接,所述支杆的顶部固定连接有横杆。本实用新型通过底座、机架、刻蚀机本体与送料机构之间的相互配合,实现了一种细线宽多振镜头激光刻蚀机,采用圆盘式持续送料,不仅保证了刻蚀机对产品进行精准加工,而且能够实现对产品的持续输送,因此提高了加工速度,生产效率高,具有较好的实用效果,进而提高了加工效。

Description

一种细线宽多振镜头激光刻蚀机
技术领域
本实用新型涉及激光刻蚀机技术领域,具体为一种细线宽多振镜头激光刻蚀机。
背景技术
激光刻蚀机是指采用高能脉冲激光束在零件表面刻蚀出相对宽度的微细小槽,以改善材料表面润滑特性的技术。如申请号:CN201711356830.8,提供了一种细线宽多振镜头激光刻蚀机,包括机架、控制系统、计算机系统、激光发生器、吸附平台、二维振镜头、X、Y轴直线运动平台和F-θ透镜组,控制系统、计算机系统和激光发生器都安装在机架上,激光发生器的激光头、二维振镜头和F-θ透镜组安装在吸附平台上方,激光发生器的激光头的激光出光孔与二维振镜头的激光进光孔同心,F-θ透镜组安装在二维振镜头下部,多件激光发生器的激光头、二维振镜头和F-θ透镜组组合后并排安装相邻的激光发生器的激光头、二维振镜头和F-θ透镜组组合之间的距离为F-θ透镜组刻蚀的幅面宽度两倍及以上的整数倍。本发明的细线宽多振镜头激光刻蚀机,加工速度快,生产效率高,但是上述案例采用对激光刻蚀机进行多方位移动来对吸附平台上的产品进行加工,因此不仅对刻蚀机的移动精度要求较高,而且不能够进行连续刻蚀,因此在工作时效率较低。
实用新型内容
为解决上述问题本实用新型提供了一种细线宽多振镜头激光刻蚀机。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种细线宽多振镜头激光刻蚀机,包括底座、机架、刻蚀机本体与送料机构,所述底座顶部的左侧固定安装有机架,所述机架上固定安装有刻蚀机本体,所述底座的顶部且对应刻蚀机本体的位置设置有送料机构;
所述机架包括支杆、横杆、螺纹电机、螺纹轴与螺纹板,所述支杆的底部与底座顶部的左侧固定连接,所述支杆的顶部固定连接有横杆,所述横杆的顶部固定安装有螺纹电机,所述螺纹电机的输出轴上固定连接有螺纹轴,所述螺纹轴的底部贯穿横杆且延伸至其外部,所述螺纹轴的表面螺纹连接有与其相适配的螺纹板;
所述刻蚀机本体包括安装座、激光发生器的激光头、扫描头,所述安装座固定安装在螺纹板底部的右侧,所述安装座的底部固定安装有激光发生器的激光头,所述激光发生器的激光头的底部安装有扫描头;
所述送料机构包括转杆、转盘、放置盒、大齿轮、驱动电机与小齿轮,所述转杆的底部通过轴承转动连接在底座内壁的底部,所述转杆的顶部贯穿底座且延伸至其外部固定连接有转盘,所述转盘顶部的边缘处设置有等距离排列的放置盒,位于底座内部的转杆表面固定连接有大齿轮,所述底座内壁底部的右侧固定安装有驱动电机,所述驱动电机的输出轴上且对应大齿轮的位置固定连接有与其相适配的小齿轮。
优选的,所述螺纹轴表面的底部且对应底座位置设置有限位轴承。
优选的,所述螺纹板的左侧固定连接有限位块,所述支杆的右侧开设有与限位块相适配的限位槽,所述限位块靠近限位槽的一侧贯穿限位槽且延伸至其内部。
优选的,所述转盘底部的左右两侧均设置有滚珠,所述滚珠的底部与底座的顶部滚动连接。
优选的,所述大齿轮的齿牙与小齿轮的齿牙相互啮合。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果如下:
1、本实用新型通过底座、机架、刻蚀机本体与送料机构之间的相互配合,实现了一种细线宽多振镜头激光刻蚀机,采用圆盘式持续送料,不仅保证了刻蚀机对产品进行精准加工,而且能够实现对产品的持续输送,因此提高了加工速度,生产效率高,具有较好的实用效果,进而提高了加工效率。
2、本实用新型通过设置限位块与限位槽使得螺纹板移动更加稳定,通过设置滚珠使得转盘移动更加稳定。
附图说明
图1为本实用新型正视图的结构剖面图;
图2为本实用新型转盘俯视图的结构示意图。
图中:1底座、2机架、3刻蚀机本体、4送料机构、201支杆、202横杆、 203螺纹电机、204螺纹轴、205螺纹板、301安装座、302激光发生器的激光头、303扫描头、401转杆、402转盘、403放置盒、404大齿轮、405驱动电机、406小齿轮、5限位块、6限位槽、7滚珠。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-2,一种细线宽多振镜头激光刻蚀机,包括底座1、机架2、刻蚀机本体3与送料机构4,底座1顶部的左侧固定安装有机架2,机架2上固定安装有刻蚀机本体3,底座1的顶部且对应刻蚀机本体3的位置设置有送料机构4。
机架2包括支杆201、横杆202、螺纹电机203、螺纹轴204与螺纹板205,支杆201的底部与底座1顶部的左侧固定连接,支杆201的顶部固定连接有横杆202,横杆202的顶部固定安装有螺纹电机203,螺纹电机203的输出轴上固定连接有螺纹轴204,螺纹轴204的底部贯穿横杆202且延伸至其外部,螺纹轴204表面的底部且对应底座1位置设置有限位轴承,螺纹轴204的表面螺纹连接有与其相适配的螺纹板205,螺纹板205的左侧固定连接有限位块5,支杆201的右侧开设有与限位块5相适配的限位槽6,限位块5靠近限位槽6的一侧贯穿限位槽6且延伸至其内部,通过设置限位块5与限位槽6使得螺纹板205移动更加稳定。
刻蚀机本体3包括安装座301、激光发生器的激光头302、扫描头303,安装座301固定安装在螺纹板205底部的右侧,安装座301的底部固定安装有激光发生器的激光头302,激光发生器的激光头302的底部安装有扫描头 303。
送料机构4包括转杆401、转盘402、放置盒403、大齿轮404、驱动电机405与小齿轮406,转杆401的底部通过轴承转动连接在底座1内壁的底部,转杆401的顶部贯穿底座1且延伸至其外部固定连接有转盘402,转盘402底部的左右两侧均设置有滚珠7,滚珠7的底部与底座1的顶部滚动连接,通过设置滚珠7使得转盘402移动更加稳定,转盘402顶部的边缘处设置有等距离排列的放置盒403,位于底座1内部的转杆401表面固定连接有大齿轮404,底座1内壁底部的右侧固定安装有驱动电机405,驱动电机405的输出轴上且对应大齿轮404的位置固定连接有与其相适配的小齿轮406,大齿轮404的齿牙与小齿轮406的齿牙相互啮合,通过底座1、机架2、刻蚀机本体3与送料机构4之间的相互配合,实现了一种细线宽多振镜头激光刻蚀机,采用圆盘式持续送料,不仅保证了刻蚀机对产品进行精准加工,而且能够实现对产品的持续输送,因此提高了加工速度,生产效率高,具有较好的实用效果,进而提高了加工效。
使用时,只需要打开螺纹电机203,使其带动螺纹轴204进行转动,从而可以通过螺纹板205带动刻蚀机本体3向下移动,即可对放置盒403内的产品进行加工,同时,打开驱动电机405,使其带动小齿轮406进行转动,从而可以通过大齿轮404带动转杆401进行转动,因此可以将转盘402上放置盒 403内的产品进行持续输送,进而提高了加工效率。
综上所述:该细线宽多振镜头激光刻蚀机,通过设置底座1、机架2、刻蚀机本体3与送料机构4,解决了背景技术所提到的问题。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种细线宽多振镜头激光刻蚀机,包括底座(1)、机架(2)、刻蚀机本体(3)与送料机构(4),其特征在于:所述底座(1)顶部的左侧固定安装有机架(2),所述机架(2)上固定安装有刻蚀机本体(3),所述底座(1)的顶部且对应刻蚀机本体(3)的位置设置有送料机构(4);
所述机架(2)包括支杆(201)、横杆(202)、螺纹电机(203)、螺纹轴(204)与螺纹板(205),所述支杆(201)的底部与底座(1)顶部的左侧固定连接,所述支杆(201)的顶部固定连接有横杆(202),所述横杆(202)的顶部固定安装有螺纹电机(203),所述螺纹电机(203)的输出轴上固定连接有螺纹轴(204),所述螺纹轴(204)的底部贯穿横杆(202)且延伸至其外部,所述螺纹轴(204)的表面螺纹连接有与其相适配的螺纹板(205);
所述刻蚀机本体(3)包括安装座(301)、激光发生器的激光头(302)、扫描头(303),所述安装座(301)固定安装在螺纹板(205)底部的右侧,所述安装座(301)的底部固定安装有激光发生器的激光头(302),所述激光发生器的激光头(302)的底部安装有扫描头(303);
所述送料机构(4)包括转杆(401)、转盘(402)、放置盒(403)、大齿轮(404)、驱动电机(405)与小齿轮(406),所述转杆(401)的底部通过轴承转动连接在底座(1)内壁的底部,所述转杆(401)的顶部贯穿底座(1)且延伸至其外部固定连接有转盘(402),所述转盘(402)顶部的边缘处设置有等距离排列的放置盒(403),位于底座(1)内部的转杆(401)表面固定连接有大齿轮(404),所述底座(1)内壁底部的右侧固定安装有驱动电机(405),所述驱动电机(405)的输出轴上且对应大齿轮(404)的位置固定连接有与其相适配的小齿轮(406)。
2.根据权利要求1所述的一种细线宽多振镜头激光刻蚀机,其特征在于:所述螺纹轴(204)表面的底部且对应底座(1)位置设置有限位轴承。
3.根据权利要求1所述的一种细线宽多振镜头激光刻蚀机,其特征在于:所述螺纹板(205)的左侧固定连接有限位块(5),所述支杆(201)的右侧开设有与限位块(5)相适配的限位槽(6),所述限位块(5)靠近限位槽(6)的一侧贯穿限位槽(6)且延伸至其内部。
4.根据权利要求1所述的一种细线宽多振镜头激光刻蚀机,其特征在于:所述转盘(402)底部的左右两侧均设置有滚珠(7),所述滚珠(7)的底部与底座(1)的顶部滚动连接。
5.根据权利要求1所述的一种细线宽多振镜头激光刻蚀机,其特征在于:所述大齿轮(404)的齿牙与小齿轮(406)的齿牙相互啮合。
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CN117711989A (zh) * 2024-01-02 2024-03-15 浙江大学 一种半导体功率器件制造用刻蚀机

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