CN210891029U - 一种硅烷充装的气化增压系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种硅烷充装的气化增压系统，包括中间罐、气化罐和分流阀，中间罐的上端设置有进气管，下端设置有出液管，侧端设置有进液管a，中间罐通过出液管与充装罐相连通，气化罐位于中间罐的侧端，其包括内罐体和外罐体，内罐体和外罐体之间形成有加热腔，内罐体下端突出于外罐体外部并连接有进液管b，上端突出于外罐体外部形成有排气口，排气口与进气管相连通，分流阀的两个出液端分别与进液管a和进液管b相连通，进液端通过连接管与硅烷储罐连接；外罐体的上端设置有出水管，下端设置有进水管，进水管和出水管均一端与加热腔相连通，另一端与恒温水箱连接，进水管上设置有调节阀；本实用新型具有结构合理、安全性好的优点。

Description

一种硅烷充装的气化增压系统

技术领域

本实用新型属于硅烷充装设备领域，具体涉及一种硅烷充装的气化增压系统。

背景技术

目前，硅烷，又名甲硅烷、四氢化硅，硅烷是强还原性物质，与氧化性物质、碱或重金属盐类溶液接触，会显示出很强的活泼性，属易燃、易爆的危险性气体；同时，硅烷是生产单晶硅、多晶硅、非晶硅、金属硅化物、氮化硅、碳化硅和氧化硅等一系列硅化合物的基本原料，广泛应用电子及半导体工业；由于硅烷特殊的理化性质，在充装、储存和输送中都需要十分小心，因此对硅烷充装工艺的技术要求极高，现有的硅烷充装工艺大都是对借助压缩机的作用，通过压缩机提高硅烷的压力从而将其充装至钢瓶内；但是由于压缩机这种大型的机械设备工作功率大、振动较猛，所以其工作时也带动硅烷充装排以及充装管道的振动，很容易因压缩机充装时的震动而导致充装排以及充装管道的管线接头松动，进而导致硅烷泄漏，引起火灾甚至爆炸事故，存在有很大的安全隐患；因此，为解决上述问题，开发一种结构合理、安全性好的硅烷充装用气化增压系统很有必要。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了克服现有技术的不足，而提供一种结构合理、安全性好的硅烷充装用气化增压系统。

本实用新型的目的是这样实现的：一种硅烷充装的气化增压系统，包括中间罐、气化罐和分流阀，所述中间罐的上端设置有进气管，下端设置有出液管，侧端设置有进液管a，中间罐通过出液管与充装罐相连通，且出液管上设置有控制阀，所述气化罐位于所述中间罐的侧端，其包括内罐体和外罐体，所述内罐体固定设置于外罐体的内部，且相互之间形成有加热腔，所述内罐体下端突出于外罐体外部并固定连接有进液管b，上端突出于外罐体外部形成有排气口，所述排气口与中间罐上端的进气管相连通，所述分流阀的两个出液端分别与进液管a和进液管b相连通，分流阀的进液端通过连接管与硅烷储罐连接；所述外罐体的上端设置有出水管，下端设置有进水管，进水管和出水管均一端与加热腔相连通，另一端与恒温水箱连接，所述进水管上设置有调节阀。

所述进液管a和所述进液管b上均设置有止回阀。

所述中间罐上安装有液位计。

所述气化罐上安装有压力计。

本实用新型的有益效果：本实用新型通过设置中间罐和气化罐，同时在气化罐中外罐体和内罐体之间设置加热腔，采用此结构，可在使用时，通过外罐体上的进水管向加热腔内注入温水，从而使内罐体内部的液化硅烷受热气化，液化硅烷气化后体积变大，使气化罐和中间罐内部的气压增加，利用内外气压差所产生的的压力将中间罐内的液化硅烷通过出液管压入至硅烷充装罐内，从而实现硅烷的充装，解决了由于压缩机这种大型的机械设备工作功率大、振动较猛，其工作时也会带动硅烷充装排以及充装管道的振动，很容易因压缩机充装时的震动而导致充装排以及充装管道的管线接头松动，进而导致硅烷泄漏，引起火灾甚至爆炸事故，存在有很大的安全隐患的问题；总的，本实用新型具有结构合理、安全性好的优点。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是本实用新型中气化罐正视图的剖视图。

图中：1、中间罐 11、进气管 12、出液管 13、进液管a 2、气化罐 21、内罐体22、外罐体 23、加热腔 24、进液管b 25、排气口 26、出水管 27、进水管 3、分流阀4、控制阀 5、恒温水箱 6、调节阀 7、止回阀 8、液位计 9、压力计。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步的说明。

实施例：如图1、图2所示，一种硅烷充装的气化增压系统，包括中间罐1、气化罐2和分流阀3，所述中间罐1的上端设置有进气管11，下端设置有出液管12，侧端设置有进液管a13，中间罐1通过出液管12与充装罐相连通，且出液管12上设置有控制阀4，所述气化罐2位于所述中间罐1的侧端，其包括内罐体21和外罐体22，所述内罐体21固定设置于外罐体22的内部，且相互之间形成有加热腔23，所述内罐体21下端突出于外罐体22外部并固定连接有进液管b24，上端突出于外罐体22外部形成有排气口25，所述排气口25与中间罐1上端的进气管11相连通，所述分流阀3的两个出液端分别与进液管a13和进液管b24相连通，分流阀3的进液端通过连接管与硅烷储罐连接，所述进液管a13和所述进液管b24上均设置有止回阀7；所述外罐体22的上端设置有出水管26，下端设置有进水管27，进水管27和出水管26均一端与加热腔23相连通，另一端与恒温水箱5连接，所述进水管27上设置有调节阀6；所述中间罐1上安装有液位计8；所述气化罐2上安装有压力计9。

本实用新型在使用时，首先，调节分流阀3，使分流阀3与进液管a13连接处的出液端打开，使分流阀3与进液管b24连接处的出液端闭合，然后，打开硅烷储罐上的阀门，向中间罐1内注入液化硅烷，液化硅烷经分流阀3和止回阀7并通过中间罐1上的进液管a13进入至中间罐1内部，在向中间罐1内注入液化硅烷的同时，观察中间罐1上液位计8的数值，当液位计8上的数值达到要求后，关闭硅烷储罐上的阀门，并调节分流阀3，使分流阀3与进液管a13连接处的出液端闭合，使分流阀3与进液管b24连接处的出液端打开，最后，打开硅烷储罐上的阀门，通过分流阀3和止回阀7并经进液管b24向气化罐2中的内罐体21中注入液化硅烷，当内罐体21中注入的液化硅烷的量符合要求后，关闭硅烷储罐上的阀门，停止液化硅烷的注入，完成上述操作后，当需要对充装罐内充装液化硅烷时，先将中间罐1下端的出液管12与充装罐连接，并打开出液管12上的控制阀4，而后打开进水管27上的调节阀6，向气化罐2上内罐体21和外罐体22之间的加热腔23内注入热水，热水的注入，使内罐体21内部的液化硅烷受热发生气化，液化硅烷气化后体积变大，使气化罐2和中间罐1内部的气压增加，利用内外气压差所产生的的压力将中间罐1内的液化硅烷通过出液管12压入至硅烷充装罐内，从而实现硅烷的充装，同时，本实用新型通过在进水管27上设置调节阀6，使用时可根据气化罐2上压力计9的数值对调节阀6进行调节，通过控制调节阀6从而对注入加热腔23内热水的流速进行控制，进而实现对气化罐2内液化硅烷气化的速度进行控制；本实用新型采用此结构，解决了由于压缩机这种大型的机械设备工作功率大、振动较猛，其工作时也会带动硅烷充装排以及充装管道的振动，很容易因压缩机充装时的震动而导致充装排以及充装管道的管线接头松动，进而导致硅烷泄漏，引起火灾甚至爆炸事故，存在有很大的安全隐患的问题；总的，本实用新型具有结构合理、安全性好的优点。

Claims (4)

1.一种硅烷充装的气化增压系统，包括中间罐、气化罐和分流阀，其特征在于：所述中间罐的上端设置有进气管，下端设置有出液管，侧端设置有进液管a，中间罐通过出液管与充装罐相连通，且出液管上设置有控制阀，所述气化罐位于所述中间罐的侧端，其包括内罐体和外罐体，所述内罐体固定设置于外罐体的内部，且相互之间形成有加热腔，所述内罐体下端突出于外罐体外部并固定连接有进液管b，上端突出于外罐体外部形成有排气口，所述排气口与中间罐上端的进气管相连通，所述分流阀的两个出液端分别与进液管a和进液管b相连通，分流阀的进液端通过连接管与硅烷储罐连接；所述外罐体的上端设置有出水管，下端设置有进水管，进水管和出水管均一端与加热腔相连通，另一端与恒温水箱连接，所述进水管上设置有调节阀。

2.如权利要求1所述的一种硅烷充装的气化增压系统，其特征在于：所述进液管a和所述进液管b上均设置有止回阀。

3.如权利要求1所述的一种硅烷充装的气化增压系统，其特征在于：所述中间罐上安装有液位计。

4.如权利要求1所述的一种硅烷充装的气化增压系统，其特征在于：所述气化罐上安装有压力计。

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