CN210883579U - 一种硅烷存储设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅烷存储设备，包括内罐，内罐的外部设置有螺旋形的冷却管，内罐的左上部的冷却管设置有冷却进口，内罐的右下部的冷却管设置有冷却出口，内罐的外部固定设置有外罐，外罐的上部固定设置有回流件，外罐的左侧下部设置有抽气装置，外罐的左侧设置有冷源装置，冷源装置的下方设置有三通管，三通管分别与冷却管和冷凝器相连，冷凝器固定设置在回流件上，冷凝器的右侧通过阀门连接有第二三通管，第二三通管的下部与冷却管的冷却出口相连，第二三通管的上部通过管道与第二冷凝器相连，第二冷凝器通过阀门与冷源装置相连接，内罐的左侧上部设置有进料管，内罐的右侧上部设置有出料管；本实用新型具有储存安全、使用方便的优点。

Description

一种硅烷存储设备

技术领域

本实用新型属于化工设备技术领域，具体涉及一种硅烷存储设备。

背景技术

硅烷在常温常压下是一种无色、高活性和可压缩的气体，硅烷在储存的过程中，由于其储存罐体多为圆柱形，在放置的过程中容易发生滚动而造成碰撞，存在很大的安全隐患；并且硅烷燃点低，会在空气或卤素气体中发生爆炸性燃烧，硅烷发生泄露时，如不及时发现并处理，很容易引发火灾和发生爆炸，存在很大的危险性，因此，需提供一种长期安全可靠的使用硅烷条件的同时，又保证产品储存质量的装置；为解决上述问题，开发一种具有储存安全、使用方便的硅烷存储设备很有必要。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了克服现有技术的不足，而提供一种具有储存安全、使用方便的硅烷存储设备。

本实用新型的目的是这样实现的：一种硅烷存储设备，包括内罐，内罐的外部设置有螺旋形的冷却管，内罐的左上部的冷却管设置有冷却进口，内罐的右下部的冷却管设置有冷却出口，内罐的外部固定设置有外罐，外罐的上部固定设置有回流件，外罐的左侧下部设置有抽气装置，外罐的左侧设置有冷源装置，冷源装置的下方设置有三通管，三通管分别与冷却管和冷凝器相连，冷凝器固定设置在回流件上，冷凝器的右侧通过阀门连接有第二三通管，第二三通管的下部与冷却管的冷却出口相连，第二三通管的上部通过管道与第二冷凝器相连，第二冷凝器通过阀门与冷源装置相连接，内罐的左侧上部设置有进料管，内罐的右侧上部设置有出料管。

进一步地，内罐与外罐形成的空腔内设置有保温填料，保温填料采用膨胀珍珠岩，内罐与外罐内为真空状态。

进一步地，冷却进口处的温度为-90℃，冷却出口处的温度为-80℃。

进一步地，抽气装置与外罐相连接处设置有过滤板，抽气装置的管道上设置有硅烷检测装置、压力传感器和温度传感器。

进一步地，冷源装置内的冷源采用液氮。

进一步地，第二冷凝器处设置有循环泵。

进一步地，出料管伸入内罐的底部，出料管上设置有最低压力控制阀，保证内罐内的压力为0.1MPa。

进一步地，冷却管、三通管、第二三通管、进料管和出料管的管道端部均设置有压力传感器和温度传感器，管道的外部包裹有保温层。

由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

（1）通过设置的内罐和外罐，防止硅烷在存储时发生泄漏，并能在泄漏发生时及时检测并报警，提高硅烷存储的安全性；

（2）通过设置的冷凝器，并通过冷却管的作用，使内罐存储的硅烷保持相对恒定的温度，保证硅烷长期稳定的以液体的形式储存，并且便于取用，在内罐的上方设置有回流件，使内罐上部的硅烷气体变为液体回流入内罐，同时，由于在出料管上设置有最低压力控制阀，防止硅烷在抽取后气体回流造成的爆炸等后果，使硅烷存储更加安全。

附图说明

图1是本实用新型的示意图。

图中：1、内罐 2、冷却管 3、外罐 31、回流件 4、抽气装置 5、冷源装置 51、三通管6、冷凝器 61、第二三通管 7、第二冷凝器 8、进料管 9、出料管 201、冷却进口 202、冷却出口。

具体实施方式

下面通过实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案做进一步具体的说明。

如图1所示，一种硅烷存储设备，包括内罐1，内罐1的外部设置有冷却管2，冷却管2的形状为螺旋形，内罐1的左上部的冷却管2设置有冷却进口201，冷却进口201处的温度为-90℃，内罐1的右下部的冷却管2设置有冷却出口202，冷却出口202处的温度为-80℃，使得内罐1内部的硅烷呈现液体的形态，并在一定温度下保持稳定的状态；内罐1的外部固定设置有外罐3，内罐1与外罐3形成的空腔内设置有保温填料，保温填料采用膨胀珍珠岩，内罐1与外罐3内为真空状态，使得内罐1与外罐3之间的温度进行隔绝，减少能量的消耗；外罐3的上部固定设置有回流件31，外罐3的左侧下部设置有抽气装置4，抽气装置4与外罐3相连接处设置有过滤板，使得通过抽气装置4抽气时，防止保温填料进入抽气装置4内，从而影响抽气装置4的正常工作，同时，过滤板设置为可更换的形式，减少了对设备的维护，抽气装置4的管道上设置有硅烷检测装置、压力传感器和温度传感器，用于检测内罐1与外罐3之间是否存在硅烷泄漏，同时，保证内罐1与外罐3之间的温度与压力，便于硅烷的安全稳定储存；外罐3的左侧设置有冷源装置5，冷源装置5内的冷源采用液氮，冷源装置5的下方设置有三通管51，三通管51分别与冷却管2和冷凝器6相连，冷凝器6固定设置在回流件31上，冷凝器6的右侧通过阀门连接有第二三通管61，第二三通管61的下部与冷却管2的冷却出口202相连，第二三通管61的上部通过管道与第二冷凝器7相连，第二冷凝器7处设置有循环泵，第二冷凝器7通过阀门与冷源装置5相连接，内罐1的左侧上部设置有进料管8，内罐1的右侧上部设置有出料管9，出料管9伸入内罐1的底部，出料管9上设置有最低压力控制阀，保证内罐1内的压力为0.1MPa，防止内罐1内压力过低时其它气体倒吸进入内罐1内与硅烷发生反应，保证设备在使用时的安全。

冷却管2、三通管51、第二三通管61、进料管8和出料管9的管道端部均设置有压力传感器和温度传感器，便于对整个装置进行监控，使设备使用更加安全可靠，管道的外部包裹有保温层，减少对冷源的能量的消耗，利于硅烷的长期储存。

本实用新型在使用时，首先，硅烷通过进料管8送入内罐1内，此时，通过冷源装置5及冷却管2的作用，使硅烷在内罐1内由气体状态变为液体状态，并通过进料管8和出料管9的压力传感器和温度传感器对其状态进行监控；然后，通过冷源装置5及冷凝器6的作用，使内罐1上部的气体硅烷经过冷凝器6和回流件31后变为液体回流至内罐1内，使内罐1保持一定的压力；最后，通过抽气装置4的作用，使内罐1与外罐3之间保持相对真空的状态，并通过设置在抽气装置4的管道上的硅烷检测装置、压力传感器和温度传感器，用于检测内罐1与外罐3之间是否存在硅烷泄漏，同时，保证内罐1与外罐3之间的温度与压力，便于硅烷的安全稳定储存。

以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非对其限制，尽管参照上述实施例对本实用新型进行了详细的说明，所属领域的普通技术人员应当理解，依然可以对本实用新型的具体实施方式进行修改或者等同替换，而未脱离本实用新型精神和范围的任何修改或者等同替换，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。

Claims (8)

1.一种硅烷存储设备，包括内罐（1），其特征在于：内罐（1）的外部设置有螺旋形的冷却管（2），内罐（1）的左上部的冷却管（2）设置有冷却进口（201），内罐（1）的右下部的冷却管（2）设置有冷却出口（202），内罐（1）的外部固定设置有外罐（3），外罐（3）的上部固定设置有回流件（31），外罐（3）的左侧下部设置有抽气装置（4），外罐（3）的左侧设置有冷源装置（5），冷源装置（5）的下方设置有三通管（51），三通管（51）分别与冷却管（2）和冷凝器（6）相连，冷凝器（6）固定设置在回流件（31）上，冷凝器（6）的右侧通过阀门连接有第二三通管（61），第二三通管（61）的下部与冷却管（2）的冷却出口（202）相连，第二三通管（61）的上部通过管道与第二冷凝器（7）相连，第二冷凝器（7）通过阀门与冷源装置（5）相连接，内罐（1）的左侧上部设置有进料管（8），内罐（1）的右侧上部设置有出料管（9）。

2.根据权利要求1所述的一种硅烷存储设备，其特征在于：内罐（1）与外罐（3）形成的空腔内设置有保温填料，保温填料采用膨胀珍珠岩，内罐（1）与外罐（3）内为真空状态。

3.根据权利要求1所述的一种硅烷存储设备，其特征在于：冷却进口（201）处的温度为-90℃，冷却出口（202）处的温度为-80℃。

4.根据权利要求1所述的一种硅烷存储设备，其特征在于：抽气装置（4）与外罐（3）相连接处设置有过滤板，抽气装置（4）的管道上设置有硅烷检测装置、压力传感器和温度传感器。

5.根据权利要求1所述的一种硅烷存储设备，其特征在于：冷源装置（5）内的冷源采用液氮。

6.根据权利要求1所述的一种硅烷存储设备，其特征在于：第二冷凝器（7）处设置有循环泵。

7.根据权利要求1所述的一种硅烷存储设备，其特征在于：出料管（9）伸入内罐（1）的底部，出料管（9）上设置有最低压力控制阀，保证内罐（1）内的压力为0.1MPa。

8.根据权利要求1所述的一种硅烷存储设备，其特征在于：冷却管（2）、三通管（51）、第二三通管（61）、进料管（8）和出料管（9）的管道端部均设置有压力传感器和温度传感器，管道的外部包裹有保温层。

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