CN210868187U - 一种电阻蒸发加热器结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种电阻蒸发加热器结构,包括上盖,所述上盖的下端前部和后部均固定焊接有外层套板,且两个外层套板的下端共同焊接有下盖,所述下盖的上端中部固定连接有坩埚,所述下盖的上端设置有加热机构,所述外层套板的内壁上设置有保温机构,所述上盖的上端中部开设有放置孔,所述外层套板与下盖的下端四个角上均固定焊接有贴片接触板。本实用新型所述的一种电阻蒸发加热器结构,通过加热器外增加高温金属材质保温盒,全部由高温金属(钽、钼)薄板焊接/铆接制成,从而达到对温度的保存,减少热量的流失,增加热量的利用率,而内部的加热片均以坩埚围绕,从而来实现对坩埚的均匀加热的效果,使整个镀膜过程中简单稳定。
Description
技术领域
本实用新型涉及加热器领域,特别涉及一种电阻蒸发加热器结构。
背景技术
电加热器是指利用电能达到加热效果的电器。它体积小,加热功率高,使用十分广泛,采用智能控制模式,控温精度高,可与计算机联网。应用范围广,寿命长,可靠性高。加热器原理的核心的是能量转换,最广泛的就是电能转换成热能。
而目前随着科技的发展,加热器的种类也分为很多种,目前常用的电阻蒸发加热器由加热器(钽片或钼片)和坩埚(氮化硼或石英)组成,而加热器与坩埚贴合不均匀,导致热量分布不均匀,热量损失很大,利用率较低,而设备在使用过程中经常出现镀料严重飞溅、爬锅和坩埚炸裂现象。
实用新型内容
本实用新型的主要目的在于提供一种电阻蒸发加热器结构,可以有效解决背景技术中的问题。
为实现上述目的,本实用新型采取的技术方案为:一种电阻蒸发加热器结构,包括上盖,所述上盖的下端前部和后部均固定焊接有外层套板,且两个外层套板的下端共同焊接有下盖,所述下盖的上端中部固定连接有坩埚,所述下盖的上端设置有加热机构,所述外层套板的内壁上设置有保温机构,所述上盖的上端中部开设有放置孔,所述外层套板与下盖的下端四个角上均固定焊接有贴片接触板。
优选的,所述坩埚的上端固定连接有护沿套,所述坩埚的中心与放置孔的中心重合,所述坩埚与护沿套的外形呈锥型机构。
优选的,所述保温机构主要结构有回形保温套,所述回形保温套前端内壁和后端内壁均焊接有陶瓷板,所述陶瓷板的中心均开设有固定孔,所述固定孔的内壁上固定连接有陶瓷固定片,所述回形套的外表面焊接在外层套板的内壁上。
优选的,所述保温机构设置有两组,所述保温机构以外层套板的中心上下对称设置,且两组保温机构之间留有穿插绝缘口。
优选的,所述加热机构主要结构有定位加热圆片,所述定位加热圆片的前后两端均固定外接加热片,所述外接加热片的表面焊接有圆筒片,所述圆筒片的内部固定连有陶瓷管,所述连接片的右端固定连接有外接加热片。
优选的,所述定位加热圆片呈锥形结构,且与坩埚的斜面斜率相同,所述定位加热圆片的中心与坩埚的中心重合,所述外接加热片位于穿插绝缘口之间,且不与保温机构接触。
与现有技术相比,本实用新型具有如下有益效果:
1、通过对加热器的加热,而整个加热器对坩埚内部进行传导加热,而在加热器外增加高温金属材质保温盒,全部由高温金属(钽、钼)薄板焊接/铆接制成,从而达到对温度的保存,减少热量的流失,增加热量的利用率,而内部的加热片均以坩埚围绕,从而来实现对坩埚的均匀加热的效果,同时因为外部均为焊接结构,提高的整个设备的稳定性,使整个镀膜过程中简单稳定。
2、通过坩埚上固定安装的护沿套,从而达到对整个保温箱内部的环境的一个保护作用,避免因为温度过高导致坩镀料在爬锅后溢出坩埚的情况,从而可以避免因镀料粘在加热器上引起加热器污染和损坏,增加设备的使用寿命,且进一步提高了内部的加热效果。
附图说明
图1为本实用新型一种电阻蒸发加热器结构的整体结构示意图;
图2为本实用新型一种电阻蒸发加热器结构的内部结构示意图;
图3为本实用新型一种电阻蒸发加热器结构的坩埚结构示意图;
图4为本实用新型一种电阻蒸发加热器结构保温机构的示意图;
图5为本实用新型一种电阻蒸发加热器结构加热机构的示意图。
图中:1、上盖;2、外层套板;3、坩埚;31、护沿套;4、保温机构; 41、回形保温套;42、陶瓷板;43、固定孔;44、陶瓷固定片;5、穿插绝缘口;6、放置孔;7、加热机构;71、连接片;72、定位加热圆片;73、陶瓷管;74、外接加热片;75、圆筒片;8、贴片接触板;9、下盖。
具体实施方式
为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本实用新型。
在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“设置有”、“连接”等,应做广义理解,例如“连接”,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
如图1-5所示,一种电阻蒸发加热器结构,包括上盖1,上盖1的下端前部和后部均固定焊接有外层套板2,且两个外层套板2的下端共同焊接有下盖 9,下盖9的上端中部固定连接有坩埚3,下盖9的上端设置有加热机构7,外层套板2的内壁上设置有保温机构4,上盖1的上端中部开设有放置孔6,外层套板2与下盖9的下端四个角上均固定焊接有贴片接触板8。
坩埚3的上端固定连接有护沿套31,坩埚3的中心与放置孔6的中心重合,坩埚3与护沿套31的外形呈锥型机构,通过坩埚3上端护沿套31的设计,而新的坩埚3形状可保证镀料在爬锅后不会溢出坩埚3,避免因镀料粘在加热器上引起加热器污染和损坏,来增加设备的使用寿命;保温机构4主要结构有回形保温套41,回形保温套前端内壁和后端内壁均焊接有陶瓷板42,陶瓷板42的中心均开设有固定孔43,固定孔43的内壁上固定连接有陶瓷固定片44,回形套41的外表面焊接在外层套板2的内壁上,而在加热器外增加高温金属材质保温盒,全部由高温金属钽、钼薄板焊接/铆接制成,来形成一个保温空间,来对内部的温度进行高效的利用,避免热量的流失,增加热量的利用率;保温机构4设置有两组,保温机构4以外层套板2的中心上下对称设置,且两组保温机构4之间留有穿插绝缘口5,来实现对热量的全方位的储存,减少热量的流失;加热机构7主要结构有定位加热圆片72,定位加热圆片72的前后两端均固定外接加热片74,外接加热片74的表面焊接有圆筒片75,圆筒片75的内部固定连有陶瓷管73,连接片71的右端固定连接有外接加热片74,通过圆筒片75均匀环绕在坩埚3的外部,来实现对坩埚3内部的均匀加热,避免热量加热不均的情况;定位加热圆片72呈锥形结构,且与坩埚3的斜面斜率相同,定位加热圆片72的中心与坩埚3的中心重合,外接加热片74位于穿插绝缘口5之间,且不与保温机构4接触。
需要说明的是,本实用新型为一种电阻蒸发加热器结构,通过对加热机构7的通电加热,使整个定位加热圆片72和圆筒片75进行加热升温,来将热量传递传导至坩埚3内,进行对加热体的加热,而在加热器外增加高温金属材质保温盒,全部由高温金属(钽、钼)薄板焊接/铆接制成,来实现对内温度的保存,减少热量的流失。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (6)
1.一种电阻蒸发加热器结构,包括上盖(1),其特征在于:所述上盖(1)的下端前部和后部均固定焊接有外层套板(2),且两个外层套板(2)的下端共同焊接有下盖(9),所述下盖(9)的上端中部固定连接有坩埚(3),所述下盖(9)的上端设置有加热机构(7),所述外层套板(2)的内壁上设置有保温机构(4),所述上盖(1)的上端中部开设有放置孔(6),所述外层套板(2)与下盖(9)的下端四个角上均固定焊接有贴片接触板(8)。
2.根据权利要求1所述的一种电阻蒸发加热器结构,其特征在于:所述坩埚(3)的上端固定连接有护沿套(31),所述坩埚(3)的中心与放置孔(6)的中心重合,所述坩埚(3)与护沿套(31)的外形呈锥型机构。
3.根据权利要求1所述的一种电阻蒸发加热器结构,其特征在于:所述保温机构(4)主要结构有回形保温套(41),所述回形保温套前端内壁和后端内壁均焊接有陶瓷板(42),所述陶瓷板(42)的中心均开设有固定孔(43),所述固定孔(43)的内壁上固定连接有陶瓷固定片(44),所述回形保温套(41)的外表面焊接在外层套板(2)的内壁上。
4.根据权利要求3所述的一种电阻蒸发加热器结构,其特征在于:所述保温机构(4)设置有两组,所述保温机构(4)以外层套板(2)的中心上下对称设置,且两组保温机构(4)之间留有穿插绝缘口(5)。
5.根据权利要求1所述的一种电阻蒸发加热器结构,其特征在于:所述加热机构(7)主要结构有定位加热圆片(72),所述定位加热圆片(72)的前后两端均固定连接片(71),所述连接片(71)的表面焊接有圆筒片(75),所述圆筒片(75)的内部固定连有陶瓷管(73),所述连接片(71)的右端固定连接有外接加热片(74)。
6.根据权利要求5所述的一种电阻蒸发加热器结构,其特征在于:所述定位加热圆片(72)呈锥形结构,且与坩埚(3)的斜面斜率相同,所述定位加热圆片(72)的中心与坩埚(3)的中心重合,所述外接加热片(74)位于穿插绝缘口(5)之间,且不与保温机构(4)接触。
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CN113637944A (zh) * | 2021-10-14 | 2021-11-12 | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 | 一种纽扣型高温加热器 |
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