CN210848791U - 一种双向可调电动狭缝装置 - Google Patents

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王福旺
张亚辉
林涛
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Beijing C&W Electronics Group Co Ltd
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Abstract

本实用新型涉及一种双向可调电动狭缝装置,包括底板和两组狭缝调节机构,狭缝调节机构包括安装板、驱动组件、两个刀架和两个刀片,安装板水平安装在底板上,两个刀架沿安装板的长度方向间隔设置在安装板上,两个刀片均沿安装板的宽度方向水平设置,并分别设置在两个刀架上,两个刀片的刀口相互靠近,两个刀架分别与驱动组件传动连接,驱动组件带动两个刀片相互靠近或远离,两组狭缝调节机构的刀片上下间隔设置,且其安装板在水平面上的投影相互垂直,四个刀片在水平面上的投影的刀口处围成狭缝。本实用新型可以用于激光光束整形,狭缝的大小可以在两个方向上进行调节,获得任意长宽比的矩形光斑,满足整形光束整形的要求。

Description

一种双向可调电动狭缝装置
技术领域
本实用新型涉及激光微加工技术领域,具体涉及一种双向可调电动狭缝装置。
背景技术
在激光微加工领域激光器输出的光束能量大多为高斯分布的,为了获得能量分布均匀的平顶分布光束要使光束通过特殊设计的非球面透镜,设计周期长,成本较高。
实用新型内容
本实用新型为解决上述技术问题提供了一种双向可调电动狭缝装置,可以在两个方向上调整狭缝的大小。
本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下:一种双向可调电动狭缝装置,包括底板和两组狭缝调节机构,所述狭缝调节机构包括方形的安装板、驱动组件、两个刀架和两个刀片,所述安装板水平安装在所述底板上,两个所述刀架沿所述安装板的长度方向间隔设置在所述安装板上,两个所述刀片均沿所述安装板的宽度方向水平设置,并分别设置在两个所述刀架上,两个所述刀片的刀口相互靠近,两个所述刀架分别与所述驱动组件传动连接,所述驱动组件带动两个所述刀片的刀口相互靠近或远离;
两组所述狭缝调节机构的所述刀片上下间隔设置,且其安装板在水平面上的投影相互垂直,四个所述刀片在水平面上的投影的刀口处围成所述狭缝。
本实用新型的有益效果是:通过调节两个狭缝调节机构可以在两个方向上调节狭缝的大小。本实用新型可以用于激光光束整形,扩束后的激光光束穿过狭缝可以截取光束中能量分布均匀的区域,更便捷的获得能量均匀分布的光斑,并且狭缝的大小可以在两个方向上进行调节,获得任意长宽比的矩形光斑,满足整形光束整形的要求。
在上述技术方案的基础上,本实用新型还可以做如下改进。
进一步,所述驱动组件包括丝杆、电机和两个螺母,所述丝杆沿所述安装板的长度方向可转动的设置在所述安装板上,所述电机与所述丝杆传动连接,两个所述螺母均螺纹安装在所述丝杆上,并分别与两个所述刀架固定连接,两个所述螺母的内螺纹方向相反,所述丝杆转动时,两个所述螺母可在所述丝杆上滑动并带动两个所述刀架相互靠近和远离。
采用上述进一步方案的有益效果是丝杆调节的精度高,可以精确控制狭缝的大小。
进一步,所述狭缝调节机构还包括与所述丝杆平行设置的直线导轨,所述直线导轨上滑动设有两个滑块,两个所述滑块分别与两个所述刀架连接。
采用上述进一步方案的有益效果是可以确保两个刀架运行的直线度。
进一步,所述电机为步进电机。
采用上述进一步方案的有益效果是步进电机控制更精准,调节精确度更高。
进一步,所述狭缝调节机构还包括拉簧,所述拉簧设置在两个所述刀片之间,且其两端分别与两个所述刀片连接。
采用上述进一步方案的有益效果是通过拉簧的拉力来消除螺母与丝杆的间隙以提高运动精度。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图;
图2为本实用新型的俯视图。
附图中,各标号所代表的部件列表如下:
1、底板,2、刀架,3、刀片,4、狭缝,5、丝杆,6、电机,7、滑块,8、拉簧,9、安装板,10、丝杆轴承座,11、电机支座,12、联轴器。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述,所举实例只用于解释本实用新型,并非用于限定本实用新型的范围。
如图1-2所示,本实用新型提供了一种双向可调电动狭缝装置,包括底板1和两组狭缝调节机构;所述狭缝调节机构包括安装板9、驱动组件、两个刀架2和两个刀片3,安装板9水平安装在底板1上,所述狭缝调节机构通过安装板9安装在所述底板1上,两个所述刀架2沿所述安装板9的长度方向间隔设置在所述安装板9上,两个所述刀片3均沿所述安装板9的宽度方向水平设置,并分别设置在两个所述刀架2上,两个所述刀片3的刀口相互靠近,两个所述刀架2分别与所述驱动组件传动连接,所述驱动组件带动两个所述刀片3的刀口相互靠近或远离,两组所述狭缝调节机构的所述刀片3上下间隔设置,且其安装板9在水平面上的投影相互垂直,四个所述刀片3在水平面上的投影的刀口处围成所述狭缝4。通过驱动组件使两个刀架2相互靠近或远离,以调节两个刀片3之间的距离,调节两个狭缝调节机构可以在两个方向上调节狭缝4的大小。本实用新型可以用于激光光束整形,扩束后的激光光束穿过狭缝4可以截取光束中能量分布均匀的区域,更便捷的获得能量均匀分布的光斑,并且狭缝4的大小可以在两个方向上进行调节,获得任意长宽比的矩形光斑,满足整形光束整形的要求。
优选地,所述驱动组件包括丝杆5、电机6和两个螺母,所述丝杆5沿所述安装板9的长度方向可转动的设置在所述安装板9上,其两端分别通过与其转动配合的丝杆轴承座10固定在安装板9上,电机6通过电机支座11安装在安装板9上,电机6的输出轴通过联轴器12与丝杆5传动连接,电机6可带动丝杆5转动,两个所述螺母均螺纹安装在所述丝杆5上,且其下端分别与两个所述刀架2固定连接,两个所述螺母的内螺纹方向相反,电机6带动所述丝杆5转动时,两个所述螺母可在所述丝杆5上滑动并带动两个所述刀架2相互靠近和远离,从而调节两个刀片3之间的开合,并且丝杆调节的精度高,可以精确控制狭缝4的大小,形成最小边长5微米最大边长2毫米任意长宽比的矩形孔,单轴重复定位精度优于±2微米,满足激光光束整形需要。
优选地,所述驱动组件还包括与所述丝杆5平行设置的直线导轨,直线导轨设置在安装板9上,所述直线导轨上滑动设有两个滑块7,两个滑块7可以沿直线导轨的长度方向滑动,两个所述滑块7的上端分别与两个所述刀架2连接,以确保两个刀架2可以沿直线导轨的长度方向运动,确保运行的直线度。
优选地,所述电机6为步进电机,优选为闭环步进电机,闭环步进电机的控制更精准,调节精确度更高。
优选地,所述狭缝调节机构还包括拉簧8,所述拉簧8设置在两个所述刀片3之间,且其两端分别通过螺钉固定在两个所述刀片3上,通过拉簧8的拉力来消除螺母与丝杆5的间隙以提高运动精度。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种双向可调电动狭缝装置,其特征在于,包括底板(1)和两组狭缝调节机构;
所述狭缝调节机构包括方形的安装板(9)、驱动组件、两个刀架(2)和两个刀片(3),所述安装板(9)水平安装在所述底板(1)上,两个所述刀架(2)沿所述安装板(9)的长度方向间隔设置在所述安装板(9)上,两个所述刀片(3)均沿所述安装板(9)的宽度方向水平设置,并分别设置在两个所述刀架(2)上,两个所述刀片(3)的刀口相互靠近,两个所述刀架(2)分别与所述驱动组件传动连接,所述驱动组件带动两个所述刀片(3)的刀口相互靠近或远离;
两组所述狭缝调节机构的所述刀片(3)上下间隔设置,且其安装板(9)在水平面上的投影相互垂直,四个所述刀片(3)在水平面上的投影的刀口处围成所述狭缝(4)。
2.根据权利要求1所述的一种双向可调电动狭缝装置,其特征在于,所述驱动组件包括丝杆(5)、电机(6)和两个螺母,所述丝杆(5)沿所述安装板(9)的长度方向可转动的设置在所述安装板(9)上,所述电机(6)与所述丝杆(5)传动连接,两个所述螺母均螺纹安装在所述丝杆(5)上,并分别与两个所述刀架(2)固定连接,两个所述螺母的内螺纹方向相反,所述丝杆(5)转动时,两个所述螺母可在所述丝杆(5)上滑动并带动两个所述刀架(2)相互靠近和远离。
3.根据权利要求2所述的一种双向可调电动狭缝装置,其特征在于,所述狭缝调节机构还包括与所述丝杆(5)平行设置的直线导轨,所述直线导轨上滑动设有两个滑块(7),两个所述滑块(7)分别与两个所述刀架(2)连接。
4.根据权利要求3所述的一种双向可调电动狭缝装置,其特征在于,所述电机(6)为步进电机。
5.根据权利要求1所述的一种双向可调电动狭缝装置,其特征在于,所述狭缝调节机构还包括拉簧(8),所述拉簧(8)设置在两个所述刀片(3)之间,且其两端分别与两个所述刀片(3)连接。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114346446A (zh) * 2022-01-07 2022-04-15 珠海东辉半导体装备有限公司 一种屏下阴极材料的去除系统及去除方法
CN114551305A (zh) * 2022-03-01 2022-05-27 珠海东辉半导体装备有限公司 一种用于Mini LED芯片去除修复的装置及方法

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