CN210847602U - 一种用于多晶硅生产硅粉接收防侧漏装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及多晶硅生产设备技术领域,具体公开了一种用于多晶硅生产硅粉接收防侧漏装置,包括外壳,外壳为箱式结构,且外壳的内部设置有处理仓,外壳的一侧侧壁的下部开设有集气口,集气口的中部固定连接有集气头,集气头的尾端螺纹连接有与处理仓内部相连通的进气管,进气管的尾端还螺纹连接有增压头,该用于多晶硅生产硅粉接收防侧漏装置,通过负压气泵和排气管的配合使用在处理仓中形成负压,再通过增压头的和集气头的配合使用对风压进行有效增强,能够对散落硅粉进行有效接收,避免侧漏现象的发生和资源浪费,通过储水罐和喷雾头的配合使用对所收集的硅粉进行喷淋收集,去除扬尘,避免因细小硅粉颗粒造成的机械设备故障现象。
Description
技术领域
本实用新型涉及多晶硅生产设备技术领域,具体公开了一种用于多晶硅生产硅粉接收防侧漏装置。
背景技术
多晶硅是硅单质的一种存在方式,熔融的单质硅在过冷条件下凝固时,硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核,如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则这些晶粒结合起来,就结晶成多晶硅,多晶硅具有半导体性质,是极为重要的优良半导体材料,但微量的杂质即可大大影响其导电性,在电子工业中具有广泛应用,由干燥硅粉与干燥氯化氢气体在一定条件下氯化,再经冷凝、精馏、还原而得。
目前在多晶硅生产过程中,缺乏稳定有效的硅粉吸收装置,在硅粉接收过程中,颗粒较小的硅粉颗粒容易发生扬尘现象,或因接收不充分发生侧漏现象,进而导致硅粉物料的资源浪费,且多晶硅具有一定的导电能力,细小的硅粉颗粒进入机械设备内部容易使机械设备发生故障。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种用于多晶硅生产硅粉接收防侧漏装置,以解决上述背景技术中提出的现有技术当中存在的粒较小的硅粉颗粒容易发生扬尘现象,或因接收不充分发生侧漏现象,进而导致硅粉物料的资源浪费,同时细小的硅粉颗粒进入机械设备内部容易使机械设备发生故障问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
一种用于多晶硅生产硅粉接收防侧漏装置,包括外壳,所述外壳为箱式结构,且外壳的内部设置有处理仓,所述外壳的一侧侧壁的下部开设有集气口,所述集气口的中部固定连接有集气头,所述集气头的尾端螺纹连接有与处理仓内部相连通的进气管,所述进气管的尾端还螺纹连接有增压头,所述外壳外壁的中部还固定安装有储水罐,所述处理仓内壁的顶部固定安装有与多个储水罐相连通的喷雾头,且外壳的外壁上位于处理仓的下部还开设有与处理仓相连通的收集口,所述外壳另一侧侧壁的上部固定安装有排气管,所述排气管与负压气泵相连通。
作为本实用新型再进一步的方案:所述集气头包括主管,所述主管为空心管体结构,且主管的侧壁上均匀开设有集气孔。
作为本实用新型再进一步的方案:所述增压头为实心管体结构,所述增压头内部开设有上下贯通的孔道,所述孔道为上宽下窄的渐变式通道。
作为本实用新型再进一步的方案:所述喷雾头的为三个,且三个喷雾头通过水管与储水罐相连通。
作为本实用新型再进一步的方案:所述外壳的外壁底部位于收集口开设处还通过螺栓固定安装有收集罐。
作为本实用新型再进一步的方案:所述处理仓的内壁上位于排气管的安装处还通过螺栓固定安装有防护罩,所述防护罩内通过卡槽卡接有三层致密的过滤网。
作为本实用新型再进一步的方案:所述负压气泵通过螺栓固定安装在外壳外部的机箱中。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
该用于多晶硅生产硅粉接收防侧漏装置,通过负压气泵和排气管的配合使用在处理仓中形成负压,再通过增压头的和集气头的配合使用对风压进行有效增强,能够对散落硅粉进行有效接收,避免侧漏现象的发生和资源浪费,通过储水罐和喷雾头的配合使用对所收集的硅粉进行喷淋收集,去除扬尘,避免因细小硅粉颗粒造成的机械设备故障现象。
附图说明
图1为本实用新型整体部分的剖视结构示意图;
图2为本实用新型集气头部分的结构示意图;
图3为本实用新型增压头部分的剖视结构示意图;
图4为本实用新型集气口部分的结构示意图。
图中:1、外壳;2、处理仓;2a、防护罩;2b、过滤网;3、集气口;4、集气头;4a、主管;4b、集气孔;5、进气管;6、增压头;6a、孔道;7、储水罐;8、喷雾头;9、收集口;9a、收集罐;10、排气管;11、负压气泵。
具体实施方式
请参阅图1~4,本实用新型实施例中,一种用于多晶硅生产硅粉接收防侧漏装置,包括外壳1,外壳1为箱式结构,且外壳1的内部设置有处理仓2,外壳1的一侧侧壁的下部开设有集气口3,集气口3的中部固定连接有集气头4,集气头4的尾端螺纹连接有与处理仓2内部相连通的进气管5,进气管5的尾端还螺纹连接有增压头6,外壳1外壁的中部还固定安装有储水罐7,处理仓2内壁的顶部固定安装有与多个储水罐7相连通的喷雾头8,且外壳1的外壁上位于处理仓2的下部还开设有与处理仓2相连通的收集口9,外壳1另一侧侧壁的上部固定安装有排气管10,排气管10与负压气泵11相连通。
在图2和图4中:集气头4包括主管4a,主管4a为空心管体结构,且主管4a的侧壁上均匀开设有集气孔4b,细小的集气孔4b能够有效提升气流速度从而产生更强的吸力将硅粉颗粒吸入,避免吸收不完全和侧漏现象的产生。
在图3中:增压头6为实心管体结构,增压头6内部开设有上下贯通的孔道6a,孔道6a为上宽下窄的渐变式通道,渐变式的孔道6a能够通过改变气流通过的横截面积,进而提升气流通过的流速达到增强风压的效果,更好的吸入硅粉颗粒。
在图1中:喷雾头8的为三个,且三个喷雾头8通过水管与储水罐7相连通,与储水罐7相连的喷雾头8能够向处理仓能喷淋水分将所吸入的硅粉小颗粒进行向下沉降输送至收集罐9a内进行收集,避免扬尘。
在图1中:外壳1的外壁底部位于收集口9开设处还通过螺栓固定安装有收集罐9a,通过收集罐9a来收集自处理仓2内经过喷淋沉降过后的硅粉小颗粒。
在图1中:处理仓2的内壁上位于排气管10的安装处还通过螺栓固定安装有防护罩2a,防护罩2a内通过卡槽卡接有三层致密的过滤网2b,通过防护罩2a对负压气泵11进行防护作用,防护罩2a内部卡接的三层致密过滤网2b能够有效过滤硅粉小颗粒,避免处理仓2中的硅粉颗粒通过排气管10逸出。
在图1中:负压气泵11通过螺栓固定安装在外壳1外部的机箱中,所用负压气泵11的型号为T0103226,负压气泵11的运作能够给处理仓2内部提供负压从而对硅粉颗粒进行吸取。
本实用新型的工作原理是:该用于多晶硅生产硅粉接收防侧漏装置,在使用时,启动负压气泵11,负压气泵11的运作配合排气管10能够给处理仓2内部提供负压从而对硅粉颗粒进行吸取,在负压作用下在处理仓2内部形成气流,集气头4和增压头6的配合使用对气流进行增强,集气头4上细小的集气孔4b能够有效提升气流速度从而产生更强的吸力将硅粉颗粒吸入,避免吸收不完全和侧漏现象的产生,增压头6内渐变式的孔道6a能够通过改变气流通过的横截面积,进而提升气流通过的流速达到增强风压的效果,更好的吸入硅粉颗粒,硅粉颗粒进入处理仓2中之后,与储水罐7相连的喷雾头8能够向处理仓能喷淋水分将所吸入的硅粉小颗粒进行向下沉降输送至收集罐9a内进行收集,水流能够粘附硅粉小颗粒向下坠落,避免扬尘,通过收集罐9a来回收收集自处理仓2内经过喷淋沉降过后的硅粉小颗粒,工作过程中,通过防护罩2a对负压气泵11进行防护作用,防护罩2a内部卡接的三层致密过滤网2b能够有效过滤硅粉小颗粒,避免处理仓2中的硅粉颗粒通过排气管10逸出,该用于多晶硅生产硅粉接收防侧漏装置,能够对硅粉颗粒进行有效的接收回收,避免侧漏和收集过程中硅粉颗粒出现的扬尘现象,接收效果好,实用性强。
以上所述的,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种用于多晶硅生产硅粉接收防侧漏装置,包括外壳(1),其特征在于,所述外壳(1)为箱式结构,且外壳(1)的内部设置有处理仓(2),所述外壳(1)的一侧侧壁的下部开设有集气口(3),所述集气口(3)的中部固定连接有集气头(4),所述集气头(4)的尾端螺纹连接有与处理仓(2)内部相连通的进气管(5),所述进气管(5)的尾端还螺纹连接有增压头(6),所述外壳(1)外壁的中部还固定安装有储水罐(7),所述处理仓(2)内壁的顶部固定安装有与多个储水罐(7)相连通的喷雾头(8),且外壳(1)的外壁上位于处理仓(2)的下部还开设有与处理仓(2)相连通的收集口(9),所述外壳(1)另一侧侧壁的上部固定安装有排气管(10),所述排气管(10)与负压气泵(11)相连通。
2.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅生产硅粉接收防侧漏装置,其特征在于,所述集气头(4)包括主管(4a),所述主管(4a)为空心管体结构,且主管(4a)的侧壁上均匀开设有集气孔(4b)。
3.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅生产硅粉接收防侧漏装置,其特征在于,所述增压头(6)为实心管体结构,所述增压头(6)内部开设有上下贯通的孔道(6a),所述孔道(6a)为上宽下窄的渐变式通道。
4.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅生产硅粉接收防侧漏装置,其特征在于,所述喷雾头(8)的为三个,且三个喷雾头(8)通过水管与储水罐(7)相连通。
5.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅生产硅粉接收防侧漏装置,其特征在于,所述外壳(1)的外壁底部位于收集口(9)开设处还通过螺栓固定安装有收集罐(9a)。
6.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅生产硅粉接收防侧漏装置,其特征在于,所述处理仓(2)的内壁上位于排气管(10)的安装处还通过螺栓固定安装有防护罩(2a),所述防护罩(2a)内通过卡槽卡接有三层致密的过滤网(2b)。
7.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅生产硅粉接收防侧漏装置,其特征在于,所述负压气泵(11)通过螺栓固定安装在外壳(1)外部的机箱中。
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