CN210807109U - 基于柔性铰链的二级微位移放大机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种基于柔性铰链的二级微位移放大机构，包括非对称放大单元，非对称放大单元用于将微位移放大；两个非对称放大单元通过柔性铰链相串接，两组串接后非对称放大单元的位置相反的并重叠布置；输入端、输出端分别通过柔性铰链连接非对称放大单元，输入端用于给非对称放大单元输入微位移，输出端用于输出放大后的位移；两个相接触的输入端固定连接，两个相接触的输出端固定连接。本实用新型能够实现更大的位移放大倍数，同时有效地避免了传统轴对称方式中对放大效果无效部分占用的空间。

Description

基于柔性铰链的二级微位移放大机构

技术领域

本实用新型涉及一种微纳米技术，具体是，涉及一种基于柔性铰链的二级微位移放大机构。

背景技术

微纳米技术(MEMS,nano technology)为微机电系统(MEMS)技术和纳米科学技术(nano science and technology，nano ST)的简称。

以磁致伸缩材料作为驱动器的精密平台可广泛应用于微纳领域，对于一些需要较低的输出范围，如100μm以下，或一些对驱动器体积没有限制的环境下，磁致伸缩驱动器可单独完成运动，不需要借助辅助设备，但在一些输出要求较大的领域和/或对驱动器体积有所限制的环境，单一的依靠磁致伸缩驱动器完成作业是不够的。此时就需要一种对驱动器输出位移进行放大的装置。

柔性铰链是1960年以后发展起来的一种机械传动和支撑机构，是一种铰杆一体化结构的新型弧形切口铰链，属于可逆弹性结构，在力矩作用下柔性铰链产生明显的弹性角变形，能在机械结构中起到铰链的作用，具有无摩擦、无间隙、运动分辨率高的特点，可用来作为微位移放大机构的传动结构，能同时保证工作精度和输出刚度，在精密机械、精密测量、微米技术和纳米技术等领域得到广泛应用。

柔性位移放大机构的工作原理是依靠柔性铰链的弹性变形进行运动，为了避免寄生运动和温载带来的误差，机构的构型大多采用轴对称式设计。但是，此种设计存在一些问题：在放大机构体积不变的情况下，为了保证对称结构，对放大倍数有效的横向结构只有二分之一，而在保证放大倍数的情况下，整体横向结构又会扩大一倍，这样在兼顾小的体积和大的放大倍数的工况条件下，柔性位移放大机构的应用将会受到限制。

中国专利CN104900573B公开了一种对称式差动杠杆微位移放大装置，包括底座、固定在底座上的基板和与基板位于同一平面上的压电块，压电块具有一个顶压部和两个分别位于顶压部两端且以顶压部的中垂线为中心对称放置的传动部，两个传动部分别连接有一组与基板位于同一平面上的杠杆组件，且两组杠杆组件以所述顶压部的中垂线为中心对称放置，两传动部之间放置有抵顶在顶压部上的压电陶瓷驱动器。通过设置杠杆组件，利用差动杠杆放大的原理，实现位移的放大。该放大机构为轴对称，体积较大，需要将驱动器放在放大机构的内部，不适用于对驱动器体积有所限制的环境。

中国专利CN108109671A公开了一种基于菱形柔性机构的二级位移放大机构，包括初级菱形柔性机构、固定框和次级菱形机构，初级菱形柔性机构固定设置在固定框内，且初级菱形柔性机构的两个初级刚性输入端均通过导向机构与固定框的两个相对内侧面连接，初级菱形柔性机构的初级刚性输出端均通过定中机构与固定框的另外两个内侧面连接，次级柔性机构的两个次级刚性输入端分别与初级菱形柔性机构的两个初级刚性输出端固定连接，次级柔性机构的次级刚性输出端为位移输出端口。该放大机构体积较大，需要将驱动器放在放大机构内部，不适用于对驱动器体积有所限制的环境，且初级菱形柔性机构与次级菱形柔性机构结合后，输出位移的方向变为原驱动器输出位移的垂直方向。

中国专利CN108297086A公开了一种非对称二级位移放大柔性微操作机构，包括基体、压电陶瓷驱动器、SR位移放大机构、平行四边形杠杆放大机构和预紧螺栓。压电陶瓷驱动器通过预紧螺栓安装在基体上，操作机构仅控制一个钳口的运动，另一个钳口与基体连接固定不动，压电陶瓷驱动器的输出端通过柔性铰链Ⅳ与SR位移放大机构的输入端相连。SR位移放大机构通过柔性铰链Ⅰ与基体相连，SR位移放大机构的输出端通过柔性铰链Ⅱ与平行四边形杠杆放大机构的输入端相连。平行四边形杠杆放大机构输出端通过柔性平行双板机构与钳口相连，柔性平行双板机构上粘贴有金属应变片。该放大机构为非对称位于输出端3一侧的非对称放大单元1，通过SR位移放大机构与平行四边形杠杆放大机构的组合，将垂直方向的输出位移改变为水平方向的位移。

随着现在各种精密器件的不断小型化，学术界和工程界一直在寻找具有大的位移放大比同时又具备小体积的位移放大机构，目前公知的位移放大机构使用的方法只是将二者进行折中，或者将位移放大机构做成非对称结构，通过牺牲精度的方式来实现。事实上，位移放大机构的位移放大比、体积小型化和输出精度之间的制约关系仍然是一个有待解决的问题。

实用新型内容

本实用新型所解决的技术问题是提供一种基于柔性铰链的二级微位移放大机构，能够实现更大的位移放大倍数，同时有效地避免了传统轴对称方式中对放大效果无效部分占用的空间。

技术方案如下：

一种基于柔性铰链的二级微位移放大机构，包括两组非对称放大单元，每组非对称放大单元包括两个通过柔性铰链相串接的非对称放大单元，非对称放大单元用于将微位移放大；两组非对称放大单元的位置相反并重叠布置；输入端、输出端分别通过柔性铰链连接非对称放大单元，输入端用于给非对称放大单元输入微位移，输出端用于输出放大后的位移；两个相接触的输入端固定连接，两个相接触的输出端固定连接。

进一步，非对称位于非对称放大单元的输出端一侧。

进一步，非对称放大单元包括：放大输出杆、放大固定杆、输入端铰链、放大固定端铰链；放大输出杆横向布置，放大固定杆通过放大固定端铰链连接在放大输出杆的下部，放大固定端铰链位于放大输出杆靠近端部的位置；输入端铰链设置在放大输出杆的下部，并位于放大固定端铰链的内侧；位于输出端一侧的非对称放大单元通过输入端铰链连接位于输入端一侧的非对称放大单元的放大输出杆的顶部；位于输入端一侧的非对称放大单元的输入端铰链连接输入端，两个放大固定杆分别位于输入端两侧，两个相接触的放大固定杆固定连接；位于输出端一侧的非对称放大单元的顶部通过放大输出铰链连接输出端，输出端横向布置；输入端铰链、放大固定端铰链、放大输出铰链采用柔性铰链。

进一步，输入端设置有输入杆。

进一步，通过调节输入端铰链在放大输出杆的位置来改变放大倍数。

进一步，通过调节位于输出端一侧的非对称放大单元或者输入端一侧的非对称放大单元的输入端铰链在放大输出杆的位置来调节放大倍数。

本实用新型技术效果包括：

原有的对称式二级微位移放大装置一般是以装置中心为对称轴，两面为对称结构。在位移放大过程中，由于装置是以杠杆的方式将位移进行放大，所以装置的输出端不可避免的会与水平面产生一定的角度，从而产生横向位移。因此，原有的对称式二级微位移放大装置的一半对放大效果有效，装置的另一半是通过拉的方式来消除横向位移。

本实用新型由于采用了将两个位于输出端3一侧的非对称放大单元1的位置相反并重叠布置的方式，两个位于输出端3一侧的非对称放大单元1的输出端可以通过挤压的方式来消除横向位移，由于没有采取轴向对称的方式，因此在达到原有的对称式二级微位移放大装置同样放大效果的情况下，大幅度减小了放大机构的体积。

本实用新型由于采用了将两个位于输出端3一侧的非对称放大单元1的位置相反并重叠布置的方式，在与原有的对称式二级微位移放大装置同样的体积情况下，本实用新型能够实现更大的位移放大倍数。

本实用新型由于采用了将两个位于输出端3一侧的非对称放大单元1的位置相反并重叠布置的方式，在达到原有的对称式二级微位移放大装置同样放大效果的情况下，大幅度缩小了放大机构的体积，因此可以将本放大机构可以放在磁致伸缩驱动器的内部，因此使得驱动器小型化。

附图说明

图1是本实用新型中非对称放大单元的结构示意图；

图2是本实用新型中两个相串接的非对称放大单元的结构示意图；

图3是本实用新型中基于柔性铰链的二级微位移放大机构的结构示意图；

图4是本实用新型中基于柔性铰链的二级微位移放大机构的立体结构示意图；

图5是本实用新型中优选实施例的结构示意图；

图6是本实用新型中第一非对称位于输出端3一侧的非对称放大单元1结构示意图；

图7是本实用新型中第二非对称位于输出端3一侧的非对称放大单元1结构示意图。

具体实施方式

以下描述充分地示出本实用新型的具体实施方案，以使本领域的技术人员能够实践和再现。

如图1所示，是本实用新型中非对称放大单元1的结构示意图。

非对称放大单元1包括：放大输出杆11、放大固定杆12、输入端铰链13、放大固定端铰链14；放大输出杆11横向布置，放大固定杆12通过放大固定端铰链14连接在放大输出杆11的下部，放大固定端铰链14位于放大输出杆11靠近端部的位置；输入端铰链13设置在放大输出杆11的下部，并位于放大固定端铰链14的内侧。输入端铰链13、放大固定端铰链14采用柔性铰链。

利用杠杆原理，放大固定端铰链14对放大输出杆11的端部起拉的作用，输入端铰链13起支撑作用，可以通过调节输入端铰链13在放大输出杆11的位置来改变放大倍数。

非对称放大单元1采用了非轴向对称结构，有效地避免了传统轴对称方式中对放大效果无效的部分占用的空间，减小了放大机构的体积。

如图2所示，是本实用新型中两个相串接的非对称放大单元1的结构示意图。

两个相串接的非对称放大单元1中，非对称位于输出端3一侧，位于输出端3一侧的非对称放大单元1通过输入端铰链13连接位于输入端2一侧的非对称放大单元1的放大输出杆11的顶部；位于输入端2一侧的非对称放大单元1的输入端铰链13连接输入端2，两个非对称放大单元1的放大固定杆12分别位于输入端2两侧；位于输出端3一侧的非对称放大单元1的顶部通过放大输出铰链4连接输出端3，输出端3横向布置。放大输出铰链4采用柔性铰链。

可以通过调节位于输入端2一侧的非对称放大单元1的输入端铰链13在放大输出杆11的位置来调节放大倍数，进一步，通过调节位于输出端3一侧的非对称放大单元1的输入端铰链13与位于输入端2一侧的非对称放大单元1的放大输出杆11的连接位置来改变放大倍数。

如图3所示，是本实用新型中基于柔性铰链的二级微位移放大机构的正面结构示意图；如图4所示，是本实用新型中基于柔性铰链的二级微位移放大机构的立体结构示意图。

基于柔性铰链的二级微位移放大机构包括：两组串接后的非对称放大单元1，每组串接后的非对称放大单元1包括两个相串接的非对称放大单元1，两组串接后的非对称放大单元1的位置相反并重叠布置，两组串接的非对称放大单元1重叠后，两个相接触的输入端2相连接，输入端2两侧，两个相接触的放大固定杆12相连接，两个相接触的输出端3相连接。基于柔性铰链的二级微位移放大机构其它非连接部分可自由活动。

两组相串接的非对称放大单元1位置相反，即一个相串接的非对称放大单元1水平翻转180°后的位置为另一个相串接的非对称放大单元1的位置。

基于柔性铰链的二级微位移放大机构的放大方法，具体步骤包括：

位于输入端2一侧的非对称放大单元1的输入端铰链13连接输入端2，输入端2连接磁致伸缩驱动器的位移输出端，两个放大固定杆12分别位于输入端2两侧并连接在磁致伸缩驱动器的内部；

磁致伸缩驱动器输入的微位移传递至输入端2，输入端2将位移传递至位于输入端2一侧的非对称放大单元1的输入端铰链13，输入端铰链13将位移传递至位于输入端2一侧的非对称放大单元1的放大输出杆11；两个位于输入端2一侧的非对称放大单元1的放大输出杆11同时发生偏转，端部向上移动；

位于输入端2一侧的非对称放大单元1的放大输出杆11将放大后位移传递给两个位于输出端3一侧的非对称放大单元1的输入端铰链13，位于输出端3一侧的非对称放大单元1的输入端铰链13将位移传递至位于输出端3一侧的非对称放大单元1的放大输出杆11，位于输出端3一侧的非对称放大单元1的放大输出杆11发生偏转，端部向上移动；

两个位于输出端3一侧的非对称放大单元1的放大输出杆11将放大后位移传递给放大输出铰链4，放大输出铰链4带动位于输出端3一侧的非对称放大单元1的输出端3向上移动，实现磁致伸缩驱动器的微位移的放大输出。

放大固定杆12固定不动，通过放大固定端铰链14对位于输入端2一侧的非对称放大单元1的放大输出杆11的端部起到拉的作用，输入端通过输入端铰链对位于输入端2一侧的非对称放大单元1的放大输出杆11顶起，位于输入端2一侧的非对称放大单元1的放大输出杆11发生偏转；位于输出端3一侧的非对称放大单元1的放大固定杆12固定不动，位于输出端3一侧的非对称放大单元1的放大固定杆12通过放大固定端铰链14对位于输出端3一侧的非对称放大单元1的放大输出杆11的端部起到拉的作用；位于输入端2一侧的非对称放大单元1的放大输出杆11通过放大输出铰链13对位于输出端3一侧的非对称放大单元1的放大输出杆11顶起，位于输出端3一侧的非对称放大单元1的放大输出杆11发生偏转，端部向上移动。

通过调节位于输入端2一侧的非对称放大单元1的输入端铰链13在放大输出杆11的位置来调节放大倍数，进一步通过调节位于输出端3一侧的非对称放大单元1的输入端铰链13在放大输出杆11的位置来改变放大倍数。

如图5所示，是本实用新型中优选实施例的结构示意图。

本实用新型优选实施例中，基于柔性铰链的二级微位移放大机构包括：第一非对称位于输出端3一侧的非对称放大单元100和第二非对称位于输出端3一侧的非对称放大单元200。

如图6所示，是本实用新型中第一非对称位于输出端3一侧的非对称放大单元100结构示意图。

第一非对称位于输出端3一侧的非对称放大单元100采用二级放大，其结构包括：第一输入杆101、第一输入端102、第一一级输入端铰链103、第一一级放大固定杆104、第一一级放大固定端铰链105、第一一级放大输出杆106；第一二级输入端铰链107、第一二级放大固定杆108、第一二级放大固定端铰链109、第一二级放大输出杆110、第一二级放大输出铰链111、第一输出端112。

第一一级输入端铰链103、第一一级放大固定端铰链105、第一二级输入端铰链107、第一二级放大固定端铰链109、第一二级放大输出铰链111采用柔性铰链。

为了便于连接磁致伸缩驱动器的位移输出端，第一非对称位于输出端3一侧的非对称放大单元11在第一输入端102的下部设置有第一输入杆101。

第一输入端102的顶部通过第一一级输入端铰链103连接在第一一级放大输出杆106的底部，第一一级放大固定杆104的顶部通过第一一级放大固定端铰链105连接第一一级放大输出杆106的底部；第一一级放大输出杆106横向布置，第一一级放大固定杆104位于第一输入端102的左侧；第一一级输入端铰链103、第一一级放大固定端铰链105位于第一一级放大输出杆106的左侧；第一二级放大固定杆108的顶部通过第一二级放大固定端铰链109连接在第一二级放大输出杆110的底部，第一一级放大输出杆106的顶部通过第一二级输入端铰链107连接在第一二级放大输出杆110的底部；第一二级放大输出杆110横向布置，第一二级放大固定端铰链109位于第一二级输入端铰链107的右侧，第一二级输入端铰链107位于第一一级放大输出杆106的右侧；第一输出端112的底部通过第一二级放大输出铰链111连接在第一二级放大输出杆110的顶部，第一二级放大输出铰链111位于第一二级放大输出杆110的左侧，第一输出端112横向布置。

如图7所示，是本实用新型中第二非对称位于输出端3一侧的非对称放大单元1200结构示意图。

第二非对称位于输出端3一侧的非对称放大单元1200采用二级放大，其结构包括：第二输入杆201、第二输入端202、第二一级输入端铰链203、第二一级放大固定杆204、第二一级放大固定端铰链205、第二一级放大输出杆206；第二一级放大输出铰链207、第二二级放大固定杆208、第二二级放大固定端铰链209、第二二级放大输出杆210、第二二级放大输出铰链211、第二输出端212。

第二一级输入端铰链203、第二一级放大固定端铰链205、第二一级放大输出铰链207、第二二级放大固定端铰链209、第二二级放大输出铰链211采用柔性铰链。

为了便于连接磁致伸缩驱动器的位移输出端，第二非对称位于输出端3一侧的非对称放大单元1200在第二输入端202的下部设置有第二输入杆201。

第二输入端202的顶部通过第二一级输入端铰链203连接在第二一级放大输出杆206的底部，第二一级放大固定杆204的顶部通过第二一级放大固定端铰链205连接第二一级放大输出杆206的底部；第二一级放大输出杆206横向布置，第二一级放大固定杆204位于第二输入端202的右侧；第二一级输入端铰链203、第二一级放大固定端铰链205位于第二一级放大输出杆206的右侧；第二二级放大固定杆208的顶部通过第二二级放大固定端铰链209连接在第二二级放大输出杆210的底部，第二一级放大输出杆206的顶部通过第二一级放大输出铰链207连接在第二二级放大输出杆210的底部；第二二级放大输出杆210横向布置，第二二级放大固定端铰链209位于第二一级放大输出铰链207的左侧，第二一级放大输出铰链207位于第二一级放大输出杆206的左侧；第二输出端212的底部通过第二二级放大输出铰链211连接在第二二级放大输出杆210的顶部，第二二级放大输出铰链211位于第二二级放大输出杆210的右侧，第二输出端212横向布置。

第一非对称位于输出端3一侧的非对称放大单元1100和第二非对称位于输出端3一侧的非对称放大单元1200中，第一输入杆101、第二输入杆201固定连接，第一输入端102和第二输入端202固定连接，第一输出端112和第二输出端212固定连接；第一非对称位于输出端3一侧的非对称放大单元1100的第一一级放大固定杆104和第二非对称位于输出端3一侧的非对称放大单元1200的第二二级放大固定杆208固定连接，第一非对称位于输出端3一侧的非对称放大单元11的第一二级放大固定杆108和第二非对称位于输出端3一侧的非对称放大单元12的第二一级放大固定杆204固定连接。

基于柔性铰链的二级微位移放大机构的放大方法，步骤包括：

步骤1：第一输入杆101、第二输入杆201连接磁致伸缩驱动器的位移输出端，第一一级放大固定杆104、第二二级放大固定杆208、第一二级放大固定杆108和第二一级放大固定杆204连接在磁致伸缩驱动器的内部；第一输入杆101将磁致伸缩驱动器输入的微位移传递至第一输入端102，同时，第二输入杆201将磁致伸缩驱动器输入的微位移传递至第二输入端202；

步骤2：第一输入端102将位移传递至第一一级输入端铰链103，第一一级输入端铰链103将位移传递至第一一级放大输出杆106；同时，第二输入端202将位移传递至第二一级输入端铰链203，第二一级输入端铰链203将位移传递至第二一级放大输出杆206；第一一级放大输出杆106发生偏转，右端向上移动，第二一级放大输出杆206发生偏转，左端向上移动；

第一一级放大固定杆104、第二一级放大固定杆204的位置固定，第一一级放大固定杆104和第二一级放大固定杆204固定不动，利用杠杆原理，第一一级放大固定杆104通过第一一级放大固定端铰链105对第一一级放大输出杆106的端部起到拉的作用，第一输入端102通过第一一级输入端铰链103对第一一级放大输出杆106顶起，第一一级放大输出杆106发生偏转，右端向上移动；第二一级放大固定杆204通过第二一级放大固定端铰链205对第二一级放大输出杆206的右端起到拉的作用，第二输入端202通过第二一级输入端铰链203对第二一级放大输出杆206的左端顶起，第二一级放大输出杆206发生偏转，左端向上移动。

第一一级放大固定端铰链105、第一一级输入端铰链103的左侧弧口变小，右侧弧口变大，第二一级放大固定端铰链205、第二一级输入端铰链203的左侧弧口变大、右侧弧口变小。

步骤3：第一一级放大输出杆106将位移传递给第一二级输入端铰链107，第一二级输入端铰链107将位移传递至第一二级放大输出杆110，第一二级放大输出杆110发生偏转，左端向上移动；第二一级放大输出杆206将位移传递给第二一级放大输出铰链207，第二一级放大输出铰链207将位移传递至第二二级放大输出杆210，第二二级放大输出杆210发生偏转，右端向上移动；

第一二级放大固定杆108固定不动，第一二级放大固定杆108通过第一二级放大固定端铰链109对第一二级放大输出杆110的端部起到拉的作用，第一一级放大输出杆106通过第一二级输入端铰链107对第一二级放大输出杆110顶起，第一二级放大输出杆110发生偏转，左端向上移动；第二二级放大固定杆208固定不动，第二二级放大固定杆208通过第二二级放大固定端铰链209对第二二级放大输出杆210的端部起到拉的作用，第二一级放大输出杆206通过第二一级放大输出铰链207对第二二级放大输出杆210顶起，第二二级放大输出杆210发生偏转，右端向上移动。

第一二级输入端铰链107、第一二级放大固定端铰链109左侧弧口变大、右侧弧口变小，从而使第一二级放大输出杆110的左端向上移动；第二一级放大输出铰链207、第二二级放大固定端铰链209左侧弧口变小、右侧弧口变大，第二二级放大输出杆210的右端向上移动。

步骤4：第一二级放大输出杆110将位移传递给第一二级放大输出铰链111，带动第一二级放大输出铰链111向上(不是直上直下的)移动，第一二级放大输出铰链111带动第一输出端112向上移动；第二二级放大输出杆210将位移传递给第二二级放大输出铰链211，带动第二二级放大输出铰链211向上移动，第二二级放大输出铰链211带动第二输出端212向上移动。

第一二级放大输出铰链111左侧弧口变小、右侧弧口变大，第二二级放大输出铰链211的左侧弧口变大、右侧弧口变小。

第一一级放大固定杆104、第二二级放大固定杆208，第一二级放大固定杆108和第二一级放大固定杆204固定连接，以及第一输出端112、第二输出端212固定连接，在力的作用下，连接后的第一输出端112、第二输出端212输出的位移方向为轴向向上，消除了第一一级放大输出杆106与第二一级放大输出杆206，及第一输出端112、第二输出端212的横向位移，避免产生剪切力，有效提高了轴向输出精度。

本实用新型所用的术语是说明和示例性、而非限制性的术语。由于本实用新型能够以多种形式具体实施而不脱离实用新型的精神或实质，所以应当理解，上述实施例不限于任何前述的细节，而应在随附权利要求所限定的精神和范围内广泛地解释，因此落入权利要求或其等效范围内的全部变化和改型都应为随附权利要求所涵盖。

Claims (6)

1.一种基于柔性铰链的二级微位移放大机构，其特征在于，包括两组非对称放大单元，每组非对称放大单元包括两个通过柔性铰链相串接的非对称放大单元，非对称放大单元用于将微位移放大；两组非对称放大单元的位置相反并重叠布置；输入端、输出端分别通过柔性铰链连接非对称放大单元，输入端用于给非对称放大单元输入微位移，输出端用于输出放大后的位移；两个相接触的输入端固定连接，两个相接触的输出端固定连接。

2.如权利要求1所述基于柔性铰链的二级微位移放大机构，其特征在于，非对称位于非对称放大单元的输出端一侧。

3.如权利要求1所述基于柔性铰链的二级微位移放大机构，其特征在于，非对称放大单元包括：放大输出杆、放大固定杆、输入端铰链、放大固定端铰链；放大输出杆横向布置，放大固定杆通过放大固定端铰链连接在放大输出杆的下部，放大固定端铰链位于放大输出杆靠近端部的位置；输入端铰链设置在放大输出杆的下部，并位于放大固定端铰链的内侧；位于输出端一侧的非对称放大单元通过输入端铰链连接位于输入端一侧的非对称放大单元的放大输出杆的顶部；位于输入端一侧的非对称放大单元的输入端铰链连接输入端，两个放大固定杆分别位于输入端两侧，两个相接触的放大固定杆固定连接；位于输出端一侧的非对称放大单元的顶部通过放大输出铰链连接输出端，输出端横向布置；输入端铰链、放大固定端铰链、放大输出铰链采用柔性铰链。

4.如权利要求1至3任一项所述基于柔性铰链的二级微位移放大机构，其特征在于，输入端设置有输入杆。

5.如权利要求1至3任一项所述基于柔性铰链的二级微位移放大机构，其特征在于，通过调节输入端铰链在放大输出杆的位置来改变放大倍数。

6.如权利要求3所述基于柔性铰链的二级微位移放大机构，其特征在于，通过调节位于输出端一侧的非对称放大单元或者输入端一侧的非对称放大单元的输入端铰链在放大输出杆的位置来调节放大倍数。

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