CN210770211U - 一种密封组件及碳化硅炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种密封组件及碳化硅炉，该密封组件用于密封双层石英管，双层石英管包括外石英管以及套装在外石英管内的内石英管。通过在底层法兰上设置容纳内石英管端口的第一止口，在第一止口的侧壁上设置第一斜坡面，以使第一密封圈位于底层法兰及内石英管的外壁之间，第一密封圈密封连接内石英管的外壁及第一斜坡面，从而减小内石英管的轴向压力。通过在中间法兰组件上设置容纳外石英管端口的第二止口，在第二止口的侧壁上设置第二斜坡面，使第二密封圈位于中间法兰组件及外石英管的外壁之间，第二密封圈密封连接第二斜坡面及外石英管的外壁，从而减小外石英管的轴向压力。从而减小石英管因轴向压力过大而损坏的概率。

Description

一种密封组件及碳化硅炉

技术领域

本实用新型涉及单晶生长技术领域，尤其涉及一种密封组件及碳化硅炉。

背景技术

SiC(碳化硅)作为宽禁带半导体材料，具有禁带宽度大、击穿场强高、热导率大、电子饱和漂移速度高、抗辐射能力强、化学稳定性良好等独特的特性，使其在光电器件、高频大功率器件、高温电子器件等方面备受青睐，被誉为前景十分广阔的第三代半导体材料。目前SiC晶体生长方法通用的主流方法是：籽晶升华法，即PVT法。它是在密闭的反应室里SiC源被加热到2000℃以上时，SiC源分解成含Si(硅)和C(碳)的气体分子,这些气体分子通过源和晶种之间温度梯度再凝聚到较冷的晶种表面，生长出SiC单晶。SiC炉的炉体材质为石英，如果采用传统的端面密封，在密封时，需要的横截面较大，会造成成本大幅度提高。且端面密封时，由于对密封圈只有在轴向的挤压，从而使石英管在轴向具有较大的压力，容易造成石英管损坏。

实用新型内容

本实用新型提供一种密封组件，用以密封双层石英管，以提高密封组件密封双层石英管的密封性，减小石英管在轴向的压力。

第一方面，本实用新型提供了一种密封组件，该密封组件用于密封双层石英管，其中，双层石英管包括外石英管以及套装在外石英管内的内石英管。该密封组件包括盖合在内石英管的端口上的底层法兰，底层法兰具有容纳内石英管端口的第一止口。且第一止口的侧壁具有第一斜坡面，以在底层法兰及内石英管的外壁之间形成容纳第一密封圈的空间。其中，第一密封圈密封连接内石英管的外壁及第一斜坡面。该密封组件还包括套装在内石英管外且将第一密封圈压紧在所述第一斜坡面及所述内石英管的外壁之间的中间法兰组件。中间法兰组件具有容纳外石英管端口的第二止口，第二止口的侧壁具有第二斜坡面，以在法兰组件及外石英管的外壁之间形成容纳第二密封圈的空间；其中，第二密封圈用于密封连接外石英管的外壁及第二斜坡面。该密封组件还包括套装在外石英管外且将第二密封圈压紧在第二斜坡面及外石英管的外壁之间的压紧件。

在上述的方案中，通过在底层法兰上设置容纳内石英管端口的第一止口，在第一止口的侧壁上设置第一斜坡面，以使第一密封圈位于底层法兰及内石英管的外壁之间，在中间法兰组件将第一密封圈压紧在第一斜坡面及内石英管的外壁之间时，第一密封圈密封连接内石英管的外壁及第一斜坡面。由于第一斜坡面及第一密封圈之间的相互挤压力相对内石英管的轴向倾斜，从而减小内石英管的轴向压力。且由于第一密封圈位于第一斜坡面及内石英管的外壁之间，从而无需设置较大的密封面。通过在中间法兰组件上设置容纳外石英管端口的第二止口，在第二止口的侧壁上设置第二斜坡面，以使第二密封圈位于中间法兰组件及外石英管的外壁之间，在压紧件将第二密封圈压紧在第二斜坡面及外石英管的外壁之间时，第二密封圈密封连接第二斜坡面及外石英管的外壁。由于第二斜坡面及第二密封圈之间的相互挤压力相对外石英管的轴向倾斜，从而减小外石英管的轴向压力。且由于第二密封圈位于第二斜坡面及外石英管的外壁之间，从而无需设置较大的密封面。通过减小内石英管及外石英管轴向的压力，减小石英管因轴向压力过大而损坏的概率。

在一个具体的实施方式中，底层法兰上朝向中间法兰组件的一面还设置有环绕内石英管的环形槽，环形槽内设置有第三密封圈，中间法兰组件还用于将第三密封圈压紧在环形槽内。通过设置的第三密封圈，使内石英管的端口处采用双层密封，提高内石英管的端口处的密封效果。

在一个具体的实施方式中，中间法兰组件包括套装在内石英管外且用于将第一密封圈压紧在第一斜坡面及内石英管的外壁之间的第一法兰、以及套装在内石英管外且与第一法兰密封连接的第二法兰，其中，第二止口位于第二法兰上背离第一法兰的一面。通过采用第一法兰以及与第一法兰密封连接的第二法兰作为中间法兰组件，简化中间法兰组件的结构。

在一个具体的实施方式中，第一法兰上朝向第二法兰一面具有第三斜坡面，以在第一法兰及内石英管的外壁之间形成容纳第四密封圈的空间。其中，第四密封圈密封连接内石英管的外壁及第三斜坡面。通过在第一法兰设置第三斜坡面，设置第四密封圈密封连接内石英管的外壁及第三斜坡面，以提高内石英管及外石英管之间的密封性。且通过设置第三斜坡面，使第四密封圈与第三斜坡面之间的相互挤压力相对内石英管的轴向倾斜，从而减小内石英管的轴向压力，减少内石英管因轴向压力过大而损坏的概率。

在一个具体的实施方式中，第二法兰上朝向第一法兰一面具有将第四密封圈压紧在第三斜坡面及内石英管的外壁之间的第二凸缘，以便于将第四密封圈压紧在第三斜坡面及内石英管的外壁之间。

在一个具体的实施方式中，第一法兰上朝向底层法兰的一面具有将第一密封圈压紧在第一斜坡面及内石英管的外壁之间的第一凸缘，以便于第一法兰将第一密封圈压紧在第一斜坡面及内石英管的外壁之间。

在一个具体的实施方式中，第一法兰、第二法兰及底层法兰之间通过螺纹连接件固定连接，以简化结构，且便于调节第一法兰、第二法兰以及底层法兰之间的压力。

在一个具体的实施方式中，压紧件为第三法兰，第三法兰上朝向中间法兰组件一面具有将第二密封圈压紧在第二斜坡面及外石英管外壁之间的第三凸缘，以便于第三法兰将第二密封圈压紧在第二斜坡面及外石英管的外壁之间。

在一个具体的实施方式中，上述第一密封圈、第二密封圈、第三密封圈、第四密封圈为O型密封圈，以便于设置。

在一个具体的实施方式中，第一斜坡面、第二斜坡面、第三斜坡面中的至少一个斜坡面为磨砂面，以提高密封效果。

第二方面，本实用新型实施例还提供了一种碳化硅炉，该碳化硅炉包括双层石英管、以及密封上述双层石英管的端口的上述任意一种密封组件，以提高双层石英管端口的密封效果，减小内石英管及外石英管的轴向压力，减少石英管因轴向压力过大而损坏的概率。

在一个具体的实施方式中，密封组件的个数为两个，且两个密封组件分别为双层石英管的相对的两个端口密封连接。

在一个具体的实施方式中，内石英管的外壁上与第一密封圈连接的部分为磨砂面，以提高第一密封圈密封连接第一斜坡面及内石英管的外壁之间的密封效果。

在一个具体的实施方式中，外石英管的外壁上与第二密封圈连接的部分为磨砂面，以提高第二密封圈密封连接第二斜坡面及外石英管的外壁之间的密封效果。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的一种碳化硅炉的剖视图。

附图标记：

11-内石英管 12-外石英管 20-底层法兰

201-环形槽 21-第一法兰 211-第一凸缘

22-第二法兰 221-第二凸缘 23-第三法兰

231-第三凸缘 31-第一斜坡面 32-第二斜坡面

33-第三斜坡面 41-第一止口 42-第二止口

51-第一密封圈 52-第二密封圈 53-第三密封圈

54-第四密封圈

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型作进一步地详细描述。

为了方便理解本实用新型实施例提供的密封组件，首先说明一下其应用场景。该密封组件用于密封双层石英管，其中，双层石英管具有外石英管、以及套装在外石英管内的内石英管。下面结合附图对本实用新型实施例提供的密封组件进行详细的描述。

参考图1，本实用新型实施例提供的密封组件包括盖合在内石英管11的端口上的底层法兰20。在设置底层法兰20时，参考图1，底层法兰20具有容纳内石英管11端口的第一止口41。且第一止口41的侧壁具有第一斜坡面31，以在底层法兰20及内石英管11的外壁之间形成容纳第一密封圈51的空间。在设置第一止口41时，第一止口41为底层法兰20上朝向内石英管11一面的内凹结构，内石英管11的端口位于该第一止口41内。且在第一止口41的侧壁上具有第一斜坡面31，第一斜坡面31相对内石英管11的轴向倾斜一定角度。具体设置时，第一斜坡面31与内石英管11的轴向之间的夹角可以为20°、30°、40°、45°、50°、60°、70°等介于20°～70°之间的任意角度。第一密封圈51压紧在第一斜坡面31及内石英管11的外壁之间，且密封连接内石英管11的外壁及第一斜坡面31。在设置第一密封圈51时，第一密封圈51可为诸如但不限于O型密封圈，以便于设置。另外，第一斜坡面31上与第一密封圈51连接的部分可以为光面；还可以为磨砂面，以提高第一密封圈51密封连接第一斜坡面31及内石英管11的外壁之间的密封效果。还可以在内石英管11的外壁上与第一密封圈51连接的部分设置磨砂面，以提高第一密封圈51密封连接第一斜坡面31及内石英管11的外壁之间的密封效果。

在具体将第一密封圈51压紧在第一斜坡面31及内石英管11的外壁之间时，参考图1，该密封组件还包括套装在内石英管11外且将第一密封圈51压紧在所述第一斜坡面31及所述内石英管11的外壁之间的中间法兰组件。通过中间法兰组件将第一密封圈51压紧在第一斜坡面31及内石英管11的外壁之间，使第一密封圈51密封连接内石英管11的外壁及第一斜坡面31。由于第一斜坡面31及第一密封圈51之间的相互挤压力相对内石英管11的轴向倾斜，从而减小内石英管11的轴向压力，从而减小内石英管11因轴向压力过大而损坏的概率。且由于第一密封圈51位于第一斜坡面31及内石英管11的外壁之间，从而无需设置较大的密封面。

在具体设置中间法兰组件时，参考图1，中间法兰组件包括套装在内石英管11外且用于将第一密封圈51压紧在第一斜坡面31及内石英管11的外壁之间的第一法兰21。第一法兰21可以通过螺纹连接件与底层法兰20密封连接。其中，螺纹连接件具体可以为螺栓、螺钉等。具体设置时，第一法兰21上具有一个用于套装在内石英管11外的通孔，使第一法兰21套装在内石英管11的外壁上。在第一法兰21及底层法兰20之间具有通孔或螺纹孔，通过紧固螺纹连接件将第一法兰21及底层法兰20进行紧固。且通过将第一法兰21压紧在底层法兰20上，使第一密封圈51受到挤压，从而使第一密封圈51密封连接第一斜坡面31及内石英管11的外壁。另外，可以通过调节螺纹连接件，以调节内底层法兰20及第一法兰21之间的挤压力。

参考图1，第一法兰21上朝向底层法兰20的一面具有将第一密封圈51压紧在第一斜坡面31及内石英管11的外壁之间的第一凸缘211。在第一法兰21压紧在底层法兰20上时，第一凸缘211位于第一斜坡面31及内石英管11的外壁之间，从而便于第一法兰21将第一密封圈51压紧在第一斜坡面31及内石英管11的外壁之间。应当理解的是，第一法兰21将第一密封圈51压紧在第一斜坡面31及内石英管11的外壁之间的方式并不限于上述示出的通过第一凸缘211，除此之外，还可以采用其他的方式。例如可以通过增大第一密封圈51的体积或减小第一斜坡面31及内石英管11的外壁之间的空间，使第一密封圈51部分外露于第一斜坡面31外，第一法兰21上朝向底层法兰20的一面为平齐的端面，在第一法兰21压紧在底层法兰20上时，第一密封圈51被挤压，从而使第一密封圈51密封连接内石英管11的外壁及第一斜坡面31。

参考图1，底层法兰20上朝向中间法兰组件的一面还设置有环绕内石英管11的环形槽201，环形槽201内设置有第三密封圈53，中间法兰组件还用于将第三密封圈53压紧在环形槽201内。其中，第三密封圈53可以为诸如但不限于O型密封圈。在第一法兰21压紧在底层法兰20上时，第三密封圈53被压紧在环形槽201内，从而使第三密封圈53在外围再次密封连接第一法兰21及底层法兰20。通过设置的第三密封圈53，使内石英管11的端口处采用双层密封，提高内石英管11的端口处的密封效果。

参考图1，中间法兰组件具有容纳外石英管12端口的第二止口42，设置时，第二止口42为中间法兰组件上的内凹结构，外石英管12的端口位于第二止口42内。具体的，参考图1，中间法兰组件还包括套装在内石英管11外且与第一法兰21密封连接的第二法兰22，第二止口42位于第二法兰22上背离第一法兰21的一面。通过采用第一法兰21以及与第一法兰21密封连接的第二法兰22作为中间法兰组件，简化中间法兰组件的结构。应当理解的是，第二止口42并不限于设置在第二法兰22上的设置方式，除此之外，还可以采用其他的设置方式。例如，第二止口42可以设置在第一法兰21上背离底层法兰20的一面，此时，中间法兰组件只有一个第一法兰21，无需设置第二法兰22。

参考图1，第二止口42的侧壁上具有第二斜坡面32，以在法兰组件及外石英管12的外壁之间形成容纳第二密封圈52的空间。第二密封圈52压紧在第二斜坡面32及外石英管12的外壁之间，以密封连接外石英管12的外壁及第二斜坡面32。在设置第二斜坡面32时，第二斜坡面32相对外石英管12的轴向倾斜一定角度。具体设置时，第二斜坡面32与外石英管12的轴向之间的夹角可以为20°、30°、40°、45°、50°、60°、70°等介于20°～70°之间的任意角度。在设置第二密封圈52时，第二密封圈52可为诸如但不限于O型密封圈，以便于设置。另外，第二斜坡面32上与第二密封圈52连接的部分可以为光面；还可以为磨砂面，以提高第二密封圈52密封连接第二斜坡面32及外石英管12的外壁之间的密封效果。还可以在外石英管12的外壁上与第二密封圈52连接的部分设置为磨砂面，以提高第二密封圈52密封连接第二斜坡面32及外石英管12的外壁之间的密封效果。

在具体将第二密封圈52压紧在第二斜坡面32及外石英管12的外壁之间时，该密封组件还包括套装在外石英管12外且将第二密封圈52压紧在第二斜坡面32及外石英管12的外壁之间的压紧件。通过在中间法兰组件上设置容纳外石英管12端口的第二止口42，在第二止口42的侧壁上设置第二斜坡面32，以使第二密封圈52位于中间法兰组件及外石英管12的外壁之间，在压紧件将第二密封圈52压紧在第二斜坡面32及外石英管12的外壁之间时，第二密封圈52密封连接第二斜坡面32及外石英管12的外壁。由于第二斜坡面32及第二密封圈52之间的相互挤压力相对外石英管12的轴向倾斜，从而减小外石英管12的轴向压力。且由于第二密封圈52位于第二斜坡面32及外石英管12的外壁之间，从而无需设置较大的密封面。第三法兰23可以通过螺纹连接件与第二法兰22密封连接。其中，螺纹连接件具体可以为螺栓、螺钉等，以便于调节第三法兰23及第二法兰22之间的挤压力。

在设置压紧件时，参考图1，该压紧件为第三法兰23，具体的，第三法兰23具有套装在外石英管12的外壁上的通孔，第三法兰23套装在外石英管12的外壁上。如图1示出的第三法兰23，其上朝向中间法兰组件一面具有将第二密封圈52压紧在第二斜坡面32及外石英管12外壁之间的第三凸缘231，在第三法兰23压紧在中间法兰组件上时，第三凸缘231位于第二斜坡面32及外石英管12的外壁之间，以便于第三法兰23将第二密封圈52压紧在第二斜坡面32及外石英管12的外壁之间。应当理解的是，第三法兰23将第二密封圈52压紧在第二斜坡面32及外石英管12的外壁之间的方式并不限于上述示出的通过第三凸缘231，除此之外，还可以采用其他的方式。例如可以通过增大第二密封圈52的体积或减小第二斜坡面32及外石英管12的外壁之间的空间，使第二密封圈52部分外露于第二斜坡面32外，第三法兰23上朝向中间法兰组件的一面为平齐的端面，在第三法兰23压紧在中间法兰组件上时，第二密封圈52被挤压，从而使第二密封圈52密封连接外石英管12的外壁及第二斜坡面32。应当注意的是，压紧件的设置方式并不限于上述示出的方式，除此之外，还可以采用其他能够将第二密封圈52压紧在第二斜坡面32及外石英管12的外壁之间的任意结构。

参考图1，第一法兰21上朝向第二法兰22一面具有第三斜坡面33，以在第一法兰21及内石英管11的外壁之间形成容纳第四密封圈51的空间。其中，第四密封圈51密封连接内石英管11的外壁及第三斜坡面33。具体设置时，第三斜坡面33相对内石英管11的轴向倾斜一定角度。具体设置时，第三斜坡面33与内石英管11的轴向之间的夹角可以为20°、30°、40°、45°、50°、60°、70°等介于20°～70°之间的任意角度。在设置第四密封圈51时，第四密封圈51可为诸如但不限于O型密封圈，以便于设置。另外，第三斜坡面33上与第四密封圈51连接的部分可以为光面；还可以为磨砂面，以提高第四密封圈51密封连接第三斜坡面33及内石英管11的外壁之间的密封效果。还可以在内石英管11的外壁上与第四密封圈51连接的部分设置为磨砂面，以提高第四密封圈51密封连接第三斜坡面33及内石英管11的外壁之间的密封效果。第二法兰22可以通过螺纹连接件与第一法兰21密封连接。其中，螺纹连接件具体可以为螺栓、螺钉等，以便于调节第一法兰21及第二法兰22之间的挤压力。通过在第一法兰21设置第三斜坡面33，设置第四密封圈51密封连接内石英管11的外壁及第三斜坡面33，以提高内石英管11及外石英管12之间的密封性。且通过设置第三斜坡面33，使第四密封圈51与第三斜坡面33之间的相互挤压力相对内石英管11的轴向倾斜，从而减小内石英管11的轴向压力，减少内石英管11因轴向压力过大而损坏的概率。

参考图1，第二法兰22上朝向第一法兰21一面具有将第四密封圈51压紧在第三斜坡面33及内石英管11的外壁之间的第二凸缘221，以便于将第四密封圈51压紧在第三斜坡面33及内石英管11的外壁之间。在第二法兰22压紧在第一法兰21上时，第二凸缘221位于第三斜坡面33及内石英管11的外壁之间，以便于第二法兰22将第四密封圈51压紧在第三斜坡面33及内石英管11的外壁之间。应当理解的是，第二法兰22将第四密封圈51压紧在第三斜坡面33及内石英管11的外壁之间的方式并不限于上述示出的通过第二凸缘221，除此之外，还可以采用其他的方式。例如可以通过增大第四密封圈51的体积或减小第三斜坡面33及内石英管11的外壁之间的空间，使第四密封圈51部分外露于第三斜坡面33外，第二法兰22上朝向第一法兰21的一面为平齐的端面，在第二法兰22压紧在第一法兰21上时，第四密封圈51被挤压，从而使第四密封圈51密封连接内石英管11的外壁及第三斜坡面33。

通过在底层法兰20上设置容纳内石英管11端口的第一止口41，在第一止口41的侧壁上设置第一斜坡面31，以使第一密封圈51位于底层法兰20及内石英管11的外壁之间，在中间法兰组件将第一密封圈51压紧在第一斜坡面31及内石英管11的外壁之间时，第一密封圈51密封连接内石英管11的外壁及第一斜坡面31。由于第一斜坡面31及第一密封圈51之间的相互挤压力相对内石英管11的轴向倾斜，从而减小内石英管11的轴向压力。且由于第一密封圈51位于第一斜坡面31及内石英管11的外壁之间，从而无需设置较大的密封面。通过在中间法兰组件上设置容纳外石英管12端口的第二止口42，在第二止口42的侧壁上设置第二斜坡面32，以使第二密封圈52位于中间法兰组件及外石英管12的外壁之间，在压紧件将第二密封圈52压紧在第二斜坡面32及外石英管12的外壁之间时，第二密封圈52密封连接第二斜坡面32及外石英管12的外壁。由于第二斜坡面32及第二密封圈52之间的相互挤压力相对外石英管12的轴向倾斜，从而减小外石英管12的轴向压力。且由于第二密封圈52位于第二斜坡面32及外石英管12的外壁之间，从而无需设置较大的密封面。通过减小内石英管11及外石英管12轴向的压力，减小石英管因轴向压力过大而损坏的概率。

另外，本实用新型实施例还提供了一种碳化硅炉，参考图1，该碳化硅炉包括双层石英管、以及密封上述双层石英管的端口的上述任意一种密封组件，具体的密封方式参考上述的描述，在此不再赘述。通过采用上述任意一种密封组件密封双层石英管的管口，以提高双层石英管端口的密封效果，减小内石英管11及外石英管12的轴向压力，减少石英管因轴向压力过大而损坏的概率。

参考图1，密封组件的个数为两个，且两个密封组件分别为双层石英管的相对的两个端口密封连接，从而使双层石英管中的内石英管11的内部保持真空密封，使内石英管11及外石英管12之间的空间保持密封，从而使位于两层石英管之间的冷却水不泄露。

以上，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种密封组件，用于密封双层石英管，所述双层石英管包括外石英管以及套装在所述外石英管内的内石英管，其特征在于，所述密封组件包括：

盖合在所述内石英管的端口上的底层法兰，所述底层法兰具有容纳所述内石英管端口的第一止口；且所述第一止口的侧壁具有第一斜坡面，以在所述底层法兰及所述内石英管的外壁之间形成容纳第一密封圈的空间；其中，所述第一密封圈密封连接所述内石英管的外壁及所述第一斜坡面；

套装在所述内石英管外且将所述第一密封圈压紧在所述第一斜坡面及所述内石英管的外壁之间的中间法兰组件；所述中间法兰组件具有容纳所述外石英管端口的第二止口，所述第二止口的侧壁具有第二斜坡面，以在所述法兰组件及所述外石英管的外壁之间形成容纳第二密封圈的空间；其中，所述第二密封圈密封连接所述外石英管的外壁及所述第二斜坡面；

套装在所述外石英管外且将所述第二密封圈压紧在所述第二斜坡面及所述外石英管的外壁之间的压紧件。

2.如权利要求1所述的密封组件，其特征在于，所述底层法兰上朝向所述中间法兰组件的一面还设置有环绕所述内石英管的环形槽，所述环形槽内设置有第三密封圈，所述中间法兰组件还用于将所述第三密封圈压紧在所述环形槽内。

3.如权利要求1或2所述的密封组件，其特征在于，所述中间法兰组件包括：

套装在所述内石英管外且用于将所述第一密封圈压紧在所述第一斜坡面及所述内石英管的外壁之间的第一法兰；

套装在所述内石英管外且与所述第一法兰密封连接的第二法兰，所述第二止口位于所述第二法兰上背离所述第一法兰的一面。

4.如权利要求3所述的密封组件，其特征在于，所述第一法兰上朝向所述第二法兰一面具有第三斜坡面，以在所述第一法兰及所述内石英管的外壁之间形成容纳第四密封圈的空间，其中，所述第四密封圈密封连接所述内石英管的外壁及所述第三斜坡面。

5.如权利要求3所述的密封组件，其特征在于，所述第一法兰上朝向所述底层法兰的一面具有将所述第一密封圈压紧在所述第一斜坡面及所述内石英管外壁之间的第一凸缘。

6.如权利要求3所述的密封组件，其特征在于，所述第一法兰、所述第二法兰以及所述底层法兰之间通过螺纹连接件固定连接。

7.如权利要求1所述的密封组件，其特征在于，所述压紧件为第三法兰，所述第三法兰上朝向所述中间法兰组件一面具有将所述第二密封圈压紧在所述第二斜坡面及所述外石英管外壁之间的第三凸缘。

8.一种碳化硅炉，其特征在于，包括：

双层石英管，所述双层石英管包括外石英管、以及套装在所述外石英管内的内石英管；

密封所述双层石英管的端口的如权利要求1-6任一项所述的密封组件。

9.如权利要求8所述的碳化硅炉，其特征在于，所述密封组件的个数为两个，所述两个密封组件分别与所述双层石英管的相对的两个端口密封连接。

10.如权利要求8所述的碳化硅炉，其特征在于，所述内石英管的外壁上与所述第一密封圈连接的部分为磨砂面。

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