CN210743924U - 一种多晶硅铸锭硅片清洗设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种多晶硅铸锭硅片清洗设备，包括箱体，所述箱体底部的两侧均固定连接有底座，所述箱体顶部的左侧通过固定座固定连接有转动电机，所述转动电机的输出端固定连接有转动盘，所述转动盘的右侧固定来连接有短杆，所述短杆的外表面活动连接有摆动杆，所述摆动杆的一侧开设有通槽，本实用新型涉及片清洗设备技术领域。该多晶硅铸锭硅片清洗设备，通过在箱体的顶部设置转动电机，配合转盘上的短杆和摆动杆，再利用分叉杆和清理海绵，从而带动清理海绵进行摆动，能够使得喷头对硅片进行冲洗时，与水流方向相垂直的硅片被其清理海绵推平，同时对硅片上的赃物进行擦洗，通过此结构对硅片进行清洗效果较为明显。

Description

一种多晶硅铸锭硅片清洗设备

技术领域

本实用新型涉及片清洗设备技术领域，具体为一种多晶硅铸锭硅片清洗设备。

背景技术

半导体器件生产中硅片须经严格清洗。微量污染也会导致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面。会导致各种缺陷。清除污染的方法有物理清洗和化学清洗两种，多晶硅铸锭硅片在作为电池材料的源头，随着光伏产业的发展，多晶硅铸锭硅片使用的数量也越来越多。

现有的多晶硅铸锭硅片清理设备，通常是采用物理清洗的方式对硅片进行清洗，即采用高压喷头对硅片进行清洗，在对其进行清洗时，若硅片与喷头的水处于垂直状态，则硅片的两侧无法被清洗，且只用水冲洗难以清理干净，且清洗过后的水资源并没有回收利用或回收利用率较低，因此导致水资源的浪费。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种多晶硅铸锭硅片清洗设备，解决了若硅片与喷头的水处于垂直状态，则硅片的两侧无法被清洗，且清洗过后的水资源被浪费的问题。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种多晶硅铸锭硅片清洗设备，包括箱体，所述箱体底部的两侧均固定连接有底座，所述箱体顶部的左侧通过固定座固定连接有转动电机，所述转动电机的输出端固定连接有转动盘，所述转动盘的右侧固定来连接有短杆，所述短杆的外表面活动连接有摆动杆，所述摆动杆的一侧开设有通槽，所述短杆的外表面与通槽的内表面滑动连接，所述摆动杆的底端贯穿箱体并延伸至箱体的内部，所述摆动杆的底端固定连接有分叉杆，所述分叉杆的外表面套设有清理海绵。

优选的，所述箱体内壁的两侧之间固定连接有过滤板，所述箱体的左侧固定连接有固定座，所述固定座的顶部固定连接有抽水泵，所述抽水泵的抽水端固定连接有管道，所述管道的右端贯穿箱体并延伸至箱体的内部。

优选的，所述箱体内壁的两侧均固定连接有固定块，所述固定块的内表面固定连接有喷水管，所述喷水管的一端贯穿箱体并延伸至箱体的外部，所述喷水管的外表面连通有喷头。

优选的，所述过滤板顶部的两侧与箱体内腔顶部的两侧均固定连接有滑块，所述滑块的一侧开设有滑槽，所述滑槽的内表面滑动连接有滑条，所述滑条的一侧固定连接有置物板，所述置物板的一侧开设有通孔，所述通孔内表面的两侧均固定连接有限位框。

优选的，所述限位框的内表面固定连接有弹簧，所述弹簧的顶端固定连接有滑动块，所述滑动块的一端转动连接有弹性块。

优选的，所述通孔的数量设置有多个，且通孔均匀的分布在置物板的一侧。

有益效果

本实用新型提供了一种多晶硅铸锭硅片清洗设备。与现有技术相比具备以下有益效果：

(1)、该多晶硅铸锭硅片清洗设备，通过在箱体顶部的左侧通过固定座固定连接有转动电机，转动电机的输出端固定连接有转动盘，转动盘的右侧固定来连接有短杆，短杆的外表面活动连接有摆动杆，摆动杆的一侧开设有通槽，短杆的外表面与通槽的内表面滑动连接，摆动杆的底端贯穿箱体并延伸至箱体的内部，摆动杆的底端固定连接有分叉杆，分叉杆的外表面套设有清理海绵，通过在箱体的顶部设置转动电机，配合转盘上的短杆和摆动杆，再利用分叉杆和清理海绵，从而带动清理海绵进行摆动，能够使得喷头对硅片进行冲洗时，与水流方向相垂直的硅片被其清理海绵推平，同时对硅片上的赃物进行擦洗，通过此结构对硅片进行清洗效果较为明显。

(2)、该多晶硅铸锭硅片清洗设备，通过在箱体内壁的两侧之间固定连接有过滤板，箱体的左侧固定连接有固定座，固定座的顶部固定连接有抽水泵，抽水泵的抽水端固定连接有管道，管道的右端贯穿箱体并延伸至箱体的内部，箱体内壁的两侧均固定连接有固定块，固定块的内表面固定连接有喷水管，喷水管的一端贯穿箱体并延伸至箱体的外部，喷水管的外表面连通有喷头，通过在箱体的两侧内壁之间固定连接过滤板，能够对清洗下来的赃物及进行隔离，而水流通过过滤板能够再次被抽水泵抽走，利用喷水管和喷头对硅片进行冲洗，从而能够一定程度的节约水资源，降低清洗的成本。

附图说明

图1为本实用新型箱体的内部结构主视图；

图2为本实用新型转盘的外部结构立体图；

图3为本实用新型置物板的外部结构侧视图；

图4为本实用新型限位框的内部结构侧视图。

图中：1-箱体、2-底座、3-转动电机、4-转动盘、5-短杆、6-摆动杆、 7-通槽、8-分叉杆、9-清理海绵、10-过滤板、11-固定座、12-抽水泵、13- 管道、14-固定块、15-喷水管、16-喷头、17-滑块、18-滑槽、19-滑条、20- 置物板、21-通孔、22-限位框、23-弹簧、24-滑动块、25-弹性块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种多晶硅铸锭硅片清洗设备，包括箱体1，箱体1内壁的两侧均固定连接有固定块14，为了防止喷水管15的晃动可设置多个固定块14，固定块14的内表面固定连接有喷水管 15，喷水管15沿着箱体1内腔的顶部和两侧附着，喷水管15的一端贯穿箱体1并延伸至箱体1的外部，喷水管15的外表面连通有喷头16，箱体1内壁的两侧之间固定连接有过滤板10，过滤板10的内部为活性炭能够更好的吸附硅片上的杂志，过滤板10顶部的两侧与箱体1内腔顶部的两侧均固定连接有滑块17，滑块17的一侧开设有滑槽18，通过滑条19能够取出置物板20，滑槽18的内表面滑动连接有滑条19，滑条19的一侧固定连接有置物板20，置物板20的一侧开设有通孔21，通孔21为硅片预留空间，通孔21的数量设置有多个，且通孔21均匀的分布在置物板20的一侧，通孔21内表面的两侧均固定连接有限位框22，限位框22的内表面固定连接有弹簧23，弹簧23的顶端固定连接有滑动块24，滑动块24的一端贯穿限位框22并延伸至限位框22 的内部，滑动块24的一端转动连接有弹性块25，弹性块25为橡胶材质具有一定的弹性，将硅片放入弹性块25的内部时，可掰开弹性块25，箱体1的左侧固定连接有固定座11，固定座11的顶部固定连接有抽水泵12，抽水泵12 与外部电源电性连接，抽水泵12的抽水端固定连接有管道13，管道13的右端贯穿箱体1并延伸至箱体1的内部。箱体1底部的两侧均固定连接有底座2，箱体1顶部的左侧通过固定座固定连接有转动电机3，转动电机3与外部电性连接，转动电机3的输出端固定连接有转动盘4，转动盘4的右侧固定来连接有短杆5，短杆5的外表面活动连接有摆动杆6，摆动杆6的一侧开设有通槽7，短杆5的外表面与通槽7的内表面滑动连接，摆动杆6的底端贯穿箱体1并延伸至箱体1的内部，摆动杆6的底端固定连接有分叉杆8，分叉杆8分为两跟杆，且两根杆的外表面均套设有清理海绵9，分叉杆8的外表面套设有清理海绵9。

工作时，首先取出置物板20，掰开弹性块25并向下按压弹性块25，从而带动滑动块24压缩弹簧23，再将硅片放置在两个弹性块25的中间，在弹簧23的推动下将硅片卡紧，待所有的通孔21内全部放满硅片后，将滑条19 推入滑块17内的滑槽18内，然后同时启动抽水泵12和转动电机3，抽水泵 12通过管道13将箱体1底部的水抽至喷水管15内，通过喷头16对硅片进行冲洗，利用滑动块24与弹性块25之间的转动关系，从而使得硅片进行转动，转动电机3带动转动盘4进行转动，进而带动短杆5在摆动杆6的通槽7内滑动，从而使得摆动杆6进行摆动，进一步带动分叉杆8进行摆动，使得清理海绵9将处于垂直状态的硅片推平，同时能够对硅片的表面进行清理。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种多晶硅铸锭硅片清洗设备，包括箱体(1)，所述箱体(1)底部的两侧均固定连接有底座(2)，其特征在于：所述箱体(1)顶部的左侧通过固定座固定连接有转动电机(3)，所述转动电机(3)的输出端固定连接有转动盘(4)，所述转动盘(4)的右侧固定来连接有短杆(5)，所述短杆(5)的外表面活动连接有摆动杆(6)，所述摆动杆(6)的一侧开设有通槽(7)，所述短杆(5)的外表面与通槽(7)的内表面滑动连接，所述摆动杆(6)的底端贯穿箱体(1)并延伸至箱体(1)的内部，所述摆动杆(6)的底端固定连接有分叉杆(8)，所述分叉杆(8)的外表面套设有清理海绵(9)。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭硅片清洗设备，其特征在于：所述箱体(1)内壁的两侧之间固定连接有过滤板(10)，所述箱体(1)的左侧固定连接有固定座(11)，所述固定座(11)的顶部固定连接有抽水泵(12)，所述抽水泵(12)的抽水端固定连接有管道(13)，所述管道(13)的右端贯穿箱体(1)并延伸至箱体(1)的内部。

3.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭硅片清洗设备，其特征在于：所述箱体(1)内壁的两侧均固定连接有固定块(14)，所述固定块(14)的内表面固定连接有喷水管(15)，所述喷水管(15)的一端贯穿箱体(1)并延伸至箱体(1)的外部，所述喷水管(15)的外表面连通有喷头(16)。

4.根据权利要求2所述的一种多晶硅铸锭硅片清洗设备，其特征在于：所述过滤板(10)顶部的两侧与箱体(1)内腔顶部的两侧均固定连接有滑块(17)，所述滑块(17)的一侧开设有滑槽(18)，所述滑槽(18)的内表面滑动连接有滑条(19)，所述滑条(19)的一侧固定连接有置物板(20)，所述置物板(20)的一侧开设有通孔(21)，所述通孔(21)内表面的两侧均固定连接有限位框(22)。

5.根据权利要求4所述的一种多晶硅铸锭硅片清洗设备，其特征在于：所述限位框(22)的内表面固定连接有弹簧(23)，所述弹簧(23)的顶端固定连接有滑动块(24)，所述滑动块(24)的一端转动连接有弹性块(25)。

6.根据权利要求4所述的一种多晶硅铸锭硅片清洗设备，其特征在于：所述通孔(21)的数量设置有多个，且通孔(21)均匀的分布在置物板(20)的一侧。

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