CN210639241U - 一种便于测试硅单晶参数的工装设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种便于测试硅单晶参数的工装设备，包括基座、承托板、底板和至少一组限位组件，底板设于基座上，底板与承托板转动连接，限位组件设于承托板上，且限位组件与承托板可相对转动，承托板与底板平行设置。本实用新型的有益效果是结构简单，加工成本低，具有可以相对转动的承托板和底板，使得硅单晶能够沿着竖直轴转动，具有至少两个限位件，对硅单晶进行支撑，同时使得硅单晶能够沿着水平轴线自由转动，减轻现场工人劳动力度，操作简单，减少工时浪费，提高了员工工作效率。

Description

一种便于测试硅单晶参数的工装设备

技术领域

本实用新型属于单晶生产设备技术领域，尤其是涉及一种便于测试硅单晶参数的工装设备。

背景技术

圆棒检验会对每一段单晶进行电阻率、导电型号、寿命测试，由于每段圆棒单晶重量不一，标棒大约60kg，测试电参数时，会将单晶圆棒两端交替检测，因此，需要人员不断的搬动单晶硅棒进行检测，每天过检段数约151424段，单晶检验数量庞大，由于车间推行少人化、高效化工作标准，导致每个单晶检验人员工作量大，承受负荷大，员工极易产生疲劳及身体危害。

目前圆棒检验是通过人员搬运，将待测物放至平整的桌面上，之后进行测量单晶圆棒的电学参数时，每段单晶会测两个端面，需要员工测完一边后，再搬起单晶测另一端，测试每项参数重复动作两次。浪费人力成本及增加劳动量。

发明内容

鉴于上述问题，本实用新型要解决的问题是提供一种便于测试硅单晶参数的工装设备，尤其适合硅单晶参数测量，具有相对转动设置的底板和承托板，便于在测量硅单晶参数时硅单晶沿着竖直轴转动，具有限位件，便于在测量硅单晶参数时硅单晶沿着水平轴转动。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种便于测试硅单晶参数的工装设备，包括基座、承托板、底板和至少一组限位组件，底板设于基座上，底板与承托板转动连接，限位组件设于承托板上，且限位组件与承托板可相对转动，承托板与底板平行设置。

进一步的，每组限位组件包括至少两个限位件，两个限位件均设于承托板上，两个限位件均与承托板转动连接，且两个限位件平行设置。

进一步的，两个限位件之间的间距最大值与硅单晶的直径相适应。

进一步的，限位件包括固定件和转动件，固定件与承托板固定连接，转动件与固定件转动连接，固定件设于转动件的两端。

进一步的，承托板一侧面设有第一转动件，底板一侧面设有第二转动件，第一转动件与第二转动件通过转动连接件转动连接。

进一步的，转动连接件为轴承。

进一步的，转动连接件为轴套。

进一步的，承托板一侧面设有第一转动件，底板一侧面设有第二转动件，第一转动件与第二转动件套和转动连接。

进一步的，转动件为托辊。

进一步的，托辊外表面设有耐磨层。

本实用新型具有的优点和积极效果是：由于采用上述技术方案，使得便于测试硅单晶参数的工装设备结构简单，加工成本低，具有可以相对转动的承托板和底板，使得硅单晶能够沿着竖直轴转动，具有至少两个限位件，对硅单晶进行支撑，同时使得硅单晶能够沿着水平轴线自由转动，进行硅单晶表面不同位置的参数的测试，减轻现场工人劳动力度，达到高效工作，同时可以避免不必要的人员伤害，减少产品浪费及人员伤亡，极大降低人力成本，提高了产品检验效率，操作简单，减少工时浪费，提高了员工工作效率。

附图说明

图1是本实用新型的一实施例的主视结构示意图；

图2是本实用新型的一实施例的俯视结构示意图；

图3是本实用新型的一实施例的侧视结构示意图；

图4是本实用新型的一实施例的承托板与底板转动连接结构示意图。

图中：

1、转动件 2、固定件 3、承托板

4、第一转动件 5、底板 6、硅单晶

7、转动连接件 8、第二转动件 9、基座

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的说明。

图1示出了本实用新型一实施例的结构示意图，具体示出了本实施例的结构，本实施例涉及一种便于测试硅单晶参数的工装设备，该工装设备用于硅单晶参数的测量，应用该工装设备，在硅单晶参数测量时，硅单晶能够沿着竖直轴转动和水平轴转动，便于操作人员进行参数测量，操作人员不需来回移动，只需将硅单晶放置于工装设备上，即可进行硅单晶参数的测量，降低劳动强度，提高员工工作效率，减少工时浪费，提高产品检验效率。

上述的便于测试硅单晶参数的工装设备，如图1-3所示，包括基座9、承托板4、底板5和至少一组限位组件，底板5设于基座9上，底板5固定安装在基座9上，基座9的设置，便于底板5的安装，底板5的设置，便于承托板3的安装；底板5与承托板3转动连接，承托板3与底板5平行设置，便于承托板3相对底板5转动，限位组件设于承托板3上，且限位组件与承托板3可相对转动，限位组件用于对硅单晶6进行限位，便于将硅单晶6放置于承托板3上，不会在承托板3上自由移动，不会从承托板3上滑下来，且能够自由转动，便于对硅单晶6进行参数测量。在进行硅单晶参数测量时，将需测量的硅单晶6放置于限位组件上，进行硅单晶6的电学参数测量，在测量硅单晶6参数时，转动承托板3，承托板3相对底板5转动，硅单晶6转动，进行硅单晶6端面参数测量，使用方便，在进行硅单晶参数测量时，不需移动硅单晶6，只需转动承托板3和限位组件，即可完成对硅单晶参数的测量，降低了劳动强度，提高工作效率。

具体的，上述的承托板3为板状结构，在承托板3的一侧面固定安装有限位组件，在承托板3的另一侧面固定暗转有第一转动件4，在本实施例中，不对承托板3的大小、形状和材质进行限定，根据实际需求进行选择，例如，承托板3的材质为不锈钢，且具有一定厚度，以便对硅单晶6进行承托，不会产生变形；承托板3的形状可以是长方形，便于与硅单晶6相配合，便于硅单晶6放置在承托板3上的限位组件上。

上述的底板5为板状结构，底板5固定安装在基座9上，且底板5远离基座8的一侧面固定安装有第二转动件8，第一转动件4与第二转动件8可以直接相套合，且第一转动件4相对于第二转动件8可以相互转动，将承托板3与底板5转动连接；或者是，第一转动件4与第二转动件8可以通过转动连接件7转动连接，使得承托板3相对于底板5可以相互转动，将承托板3与底板5转动连接；或者是其他转动连接方式，根据实际需求进行选择，这里不做具体要求。

上述的基座9起到承托的作用，在本实施例中，不对基座9的形状和尺寸进行限定，只要能够满足底板5的安装需求即可。例如，基座9的形状可以是长方体，材质可以是泡沫、木质、橡胶、钢制或者其他的材质。

底板5固定安装在基座9上，可以通过螺栓等连接件固定连接，或者是，通过胶水与基座9固定连接，或者是卡接，或者是其他的固定连接方式，根据实际需求进行选择，这里不做具体要求。第二转动件8固定安装在底板5的上表面，该第二转动件8为圆柱形的凹槽，一端开口，内部具有空间，在空间内固定安装有转动连接件7，该转动连接件7可以是轴承，或者是轴套，或者是其他能够实现第一转动件4与第二转动件8相对转动的连接件，根据实际需求进行选择，这里不做具体要求。第二转动件8可以通过焊接与底板5固定连接，或者是，通过螺栓等连接件进行固定连接，或者是一体成型，或者是其他固定连接方式，根据实际需求进行选择，这里不做具体要求。

如同4所示，在承托板3的一侧面固定安装有第一转动件4，第一转动件4可以通过焊接与承托板3固定连接，或者是，通过螺栓等连接件进行固定连接，或者是一体成型，或者是其他固定连接方式，根据实际需求进行选择，这里不做具体要求。第一转动件4与第二转动件8形状相适应，便于第一转动件4与第二转动件8转动连接，两者相互转动。第一转动件4为圆柱结构，第一转动件4与转动连接件7固定连接，第一转动件4插入轴承或轴套的内圈内，通过轴承或轴套，使得第一转动件4可以相对第二转动件8转动；或者是，第一转动件4为圆柱形凹槽结构，第二转动件8为圆柱形结构，轴承或轴套安装在第一转动件4的凹槽内，第二转动件8插入轴承或轴套的内圈内，实现第一转动件4与第二转动件8相互转动；或者是，第一转动件4与第二转动件8直接相互套和，第一转动件4直接插入第二转动件8内，或者第二转动件8插入第一转动件4内，两者相互转动，且两者之间具有间隙，为了使得两者转动平稳，减少磨损，在该间隙内加入润滑油，实现承托板3相对底板5相互转动。

在本实施例中，不对底板5与承托板3之间的转动关系做限定，只要实现两者相互转动的连接方式均可以。

上述的每组限位组件包括至少两个限位件，限位件的数量根据硅单晶6的直径尺寸进行选择，硅单晶6的直径越大，限位件的数量越多，限位件对硅单晶进行限位，将硅单晶6放置在承托板3上，对硅单晶进行电学参数测量，同时，限位件对硅单晶6进行支撑，且限位件能够相对承托板3转动，硅单晶6能够沿着水平轴转动，即硅单晶6能够沿着自身的中心轴线转动，且由于承托板3与底板5相互转动，使得硅单晶6能够沿着竖直轴转动，测量人员只需转动承托板3，就可以进行硅单晶6端面的变换，实现对硅单晶6两个端面进行参数测量，不需进行硅单晶的搬动，降低了劳动强度。在本实施例中，针对两个限位件进行说明。

具体的，两个限位件均设于承托板3上，两个限位件均与承托板3转动连接，且两个限位件平行设置，两个限位件之间的间距最大值与硅单晶6的直径相适应，便于硅单晶6放置在两个限位件上，并且分别与两个限位件接触，通过两个限位件的转动，实现硅单晶6的转动，便于对硅单晶6不同表面位置进行参数测量。该限位件包括固定件2和转动件1，固定件2与承托板3固定连接，转动件1与固定件2转动连接，固定件2设于转动件1的两端，固定件2为具有安装孔的板状结构，固定件2通过螺栓等连接件固定安装在承托板3上，转动件1为托辊，托辊的两端通过轴孔配合，安装在两个固定件2上，且使得托辊相对固定件2可以相对转动。两个托辊平行设置，便于硅单晶6放置在两个托辊上时，硅单晶6的表面分别于两个托辊接触，两个托辊对硅单晶6进行支撑，使得硅单晶6与承托板3之间具有间隙，由于两个托辊能够自由转动，同时，由于两个托辊与硅单晶6之间的摩擦力，使得托辊在转动时，带动硅单晶6转动，便于对硅单晶6进行参数测量，或者转动硅单晶6，两个托辊同时转动，使得在进行硅单晶6参数测量时，测量人员只需施加较小的力，即可使得硅单晶6转动，即可对硅单晶表面不同位置进行参数测量，简单方便，降低了劳动强度，提高了工作效率。为了延长托辊的使用寿命，在托辊外表面设有耐磨层，该耐磨层优选为橡胶。

进一步优化方案，该便于测试硅单晶参数的工装设备还可以包括驱动装置，降低劳动强度，实现自动化，该驱动装置与两个限位件中的至少一个连接，驱动装置为限位件的转动提供动力，便于硅单晶转动，该驱动装置优选为电机，电机通过联轴器与托辊连接，通过电机带动托辊转动，利用硅单晶6与托辊之间的摩擦力，带动硅单晶转动，进行硅单晶参数测试。

本实施例的工作过程：将底板5固定安装在基座9上，将底板5与承托板3通过轴承转动连接，并将两个托辊通过固定件2安装在承托板3上，且两个托辊平行设置，两个托辊之间的距离根据所需参数测试的硅单晶6的直径进行选择；托辊安装后，将硅单晶6放置在两个托辊之间，托辊对硅单晶6进行支撑，在进行硅单晶6表面的不同位置的参数测试时，转动硅单晶6或者转动托辊或者通过电机转动托辊，使得硅单晶6转动，对硅单晶6表面的参数进行测试；在进行硅单晶6端面的参数测试时，沿着竖直轴转动承托板3，使得硅单晶6的一个端面位于测试人员，进行参数测试，操作人员不需离开原地；该端面测试完后，转动承托板3，将硅单晶6沿竖直轴转动180°，进行另一端面的参数的测量。操作方便，结构简单，测试人员只需在原地就可以进行硅单晶的所有参数测试，降低了劳动强度，提高了测试的效率。

本实用新型具有的优点和积极效果是：由于采用上述技术方案，使得便于测试硅单晶参数的工装设备结构简单，加工成本低，具有可以相对转动的承托板和底板，使得硅单晶能够沿着竖直轴转动，具有至少两个限位件，对硅单晶进行支撑，同时使得硅单晶能够沿着水平轴线自由转动，进行硅单晶表面不同位置的参数的测试，减轻现场工人劳动力度，达到高效工作，同时可以避免不必要的人员伤害，减少产品浪费及人员伤亡，极大降低人力成本，提高了产品检验效率，操作简单，减少工时浪费，提高了员工工作效率。

以上对本实用新型的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。

Claims (10)

1.一种便于测试硅单晶参数的工装设备，其特征在于：包括基座、承托板、底板和至少一组限位组件，所述底板设于所述基座上，所述底板与所述承托板转动连接，所述限位组件设于所述承托板上，且所述限位组件与所述承托板可相对转动，所述承托板与所述底板平行设置。

2.根据权利要求1所述的便于测试硅单晶参数的工装设备，其特征在于：所述每组限位组件包括至少两个限位件，所述两个限位件均设于所述承托板上，所述两个限位件均与所述承托板转动连接，且所述两个限位件平行设置。

3.根据权利要求2所述的便于测试硅单晶参数的工装设备，其特征在于：所述两个限位件之间的间距最大值与硅单晶的直径相适应。

4.根据权利要求2或3所述的便于测试硅单晶参数的工装设备，其特征在于：所述限位件包括固定件和转动件，所述固定件与所述承托板固定连接，所述转动件与所述固定件转动连接，所述固定件设于所述转动件的两端。

5.根据权利要求4所述的便于测试硅单晶参数的工装设备，其特征在于：所述承托板一侧面设有第一转动件，所述底板一侧面设有第二转动件，所述第一转动件与所述第二转动件通过转动连接件转动连接。

6.根据权利要求5所述的便于测试硅单晶参数的工装设备，其特征在于：所述转动连接件为轴承。

7.根据权利要求5所述的便于测试硅单晶参数的工装设备，其特征在于：所述转动连接件为轴套。

8.根据权利要求4所述的便于测试硅单晶参数的工装设备，其特征在于：所述承托板一侧面设有第一转动件，所述底板一侧面设有第二转动件，所述第一转动件与所述第二转动件套和转动连接。

9.根据权利要求5-8任一项所述的便于测试硅单晶参数的工装设备，其特征在于：所述转动件为托辊。

10.根据权利要求9所述的便于测试硅单晶参数的工装设备，其特征在于：所述托辊外表面设有耐磨层。

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