CN210609707U - 一种封装结构 - Google Patents

一种封装结构 Download PDF

Info

Publication number
CN210609707U
CN210609707U CN201922095339.5U CN201922095339U CN210609707U CN 210609707 U CN210609707 U CN 210609707U CN 201922095339 U CN201922095339 U CN 201922095339U CN 210609707 U CN210609707 U CN 210609707U
Authority
CN
China
Prior art keywords
cavity
mems microphone
sound absorbing
package
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201922095339.5U
Other languages
English (en)
Inventor
刘端
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Anhui Aofei Acoustics Technology Co ltd
Original Assignee
Anhui Aofei Acoustics Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Anhui Aofei Acoustics Technology Co ltd filed Critical Anhui Aofei Acoustics Technology Co ltd
Priority to CN201922095339.5U priority Critical patent/CN210609707U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN210609707U publication Critical patent/CN210609707U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Details Of Audible-Bandwidth Transducers (AREA)

Abstract

本申请公开了一种封装结构,包括:封装基板;壳体,固定于所述封装基板上并且与所述封装基板构成空腔;芯片,位于所述空腔内并且固定于所述封装基板或所述壳体上;吸声结构,附接在所述空腔的内壁。该具有吸声结构的封装结构能够减小声波在空腔内的混响,从而减小了失真。

Description

一种封装结构
技术领域
本申请涉及声电转换技术领域,具体来说,涉及一种封装结构。
背景技术
随着手机、笔记本、可穿戴设备等电子设备的小型化发展,微机电系统制造的芯片,例如MEMS(即Micro-Electro-Mechanical System,即微机电系统)麦克风、MEMS加速度计、MEMS陀螺仪等,由于其轻、薄等特点,被广泛应用在这类电子设备中。MEMS麦克风在封装之后,反射声波容易在封装件的空腔内产生混响,从而易引起失真。
实用新型内容
针对相关技术中封装件内的混响问题,本申请提出一种封装结构,能够减小或避免产生混响。
本申请的技术方案是这样实现的:
根据本申请的一个方面,提供了一种封装结构,包括:
封装基板;
壳体,固定于所述封装基板上并且与所述封装基板构成空腔;
芯片,位于所述空腔内并且固定于所述封装基板或所述壳体上;
吸声结构,附接在所述空腔的内壁。
其中,所述吸声结构包括吸音薄膜层或微孔吸声板。
其中,所述吸音薄膜层包括聚酰亚胺材料、吸声棉、吸声橡胶。
其中,所述芯片包括MEMS麦克风芯片和ASIC芯片,所述ASIC芯片与所述MEMS麦克风芯片电连接。
其中,所述MEMS麦克风芯片包括压电MEMS麦克风芯片。
其中,所述封装基板具有贯穿通孔,所述贯穿通孔与所述压电MEMS麦克风芯片的背腔相连通。
其中,所述封装基板包括印刷电路板。
其中,所述壳体包括金属材料、塑料材料、或金属和塑料的复合材料。
以上具有吸声结构的封装结构能够减小声波在空腔内的混响,从而减小了失真。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1示出了根据一些实施例提供的封装件的示意图。
具体实施方式
下面将结合本申请实施例中的附图,对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例,本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例,都属于本申请保护的范围。
参见图1,根据本申请的实施例,提供了一种封装结构,包括封装基板1、壳体2、芯片和吸声结构4。其中,壳体2固定于封装基板1上并且与封装基板1构成空腔5。芯片位于空腔5内并且固定于封装基板1或壳体2上。吸声结构4附接在空腔5的内壁。
该具有吸声结构4的封装结构能够减小声波在空腔5内的混响,从而减小了失真。
在一些实施例中,封装基板1包括印刷电路板。壳体2包括金属材料、塑料材料、或金属和塑料的复合材料。封装基板1和壳体2构成空腔5。
在一些实施例中,芯片包括MEMS麦克风芯片31和ASIC(Application SpecificIntegrated Circuit,即专用集成电路)芯片32,ASIC芯片32与MEMS麦克风芯片31电连接。在一些实施例中,MEMS麦克风芯片31包括压电MEMS麦克风芯片。MEMS麦克风芯片31是将声音信号转化为电信号的换能器件。压电MEMS麦克风芯片包括具有背腔的衬底、形成在衬底上方并且覆盖背腔的压电复合振动层。该压电复合振动层包括底电极层、压电层和顶电极层。压电复合振动层在声压作用下发生形变,利用压电效应产生电压,以此来实现传感器的功能。在一些实施例中,MEMS麦克风芯片31包括电容式MEMS麦克风芯片,利用电容变化来产生电压。一般电容式MEMS麦克风芯片需要在ASIC芯片的电路中设置用于给电容式MEMS麦克风芯片的电容供电的电源。但是压电式MEMS麦克风芯片无需设置该电源。而且,压电式MEMS麦克风还具有防水等级高、防尘的优点。
在一些实施例中,封装基板1具有贯穿通孔11,贯穿通孔11与压电MEMS麦克风芯片的背腔相连通。声波经该贯穿通孔11进入到压电MEMS麦克风芯片内并且作用于压电复合振动层,使得压电复合振动层上下振动,以此来实现对声音的感测。
在一些实施例中,ASIC芯片32对压电MEMS麦克风芯片输出的电信号进行处理,主要是将该电信号进行放大,以便后续应用。在优选的实施例中,MEMS麦克风芯片31和ASIC芯片32都可以设置在封装基板1上。或者,MEMS麦克风芯片31和ASIC芯片32可以都设置在壳体2上。或者MEMS麦克风芯片31和ASIC芯片32中的一个设置在封装基板1上,另一个设置在壳体2上。
在一些实施例中,吸声结构4包括吸音薄膜层或微孔吸声板。在一些实施例中,吸音薄膜层包括聚酰亚胺材料、吸声棉、吸声橡胶。在一些实施例中,微孔吸声板可以包括形成在空腔5内壁上的凹凸不平结构,从而可以实现反射声波的多次反射和吸收。
综上,借助于本申请的上述技术方案,本申请所提供的封装结构在封装基板1和壳体2所构成的空腔5内设置吸声结构4,从而能够减小声波在空腔5内的混响,达到减小失真的效果,提高封装件的性能。
以上所述仅为本申请的较佳实施例而已,并不用以限制本申请,凡在本申请的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种封装结构,其特征在于,包括:
封装基板;
壳体,固定于所述封装基板上并且与所述封装基板构成空腔;
芯片,位于所述空腔内并且固定于所述封装基板或所述壳体上;
吸声结构,附接在所述空腔的内壁。
2.根据权利要求1所述的封装结构,其特征在于,所述吸声结构包括吸音薄膜层或微孔吸声板。
3.根据权利要求2所述的封装结构,其特征在于,所述吸音薄膜层包括聚酰亚胺材料、吸声棉、吸声橡胶。
4.根据权利要求1所述的封装结构,其特征在于,所述芯片包括MEMS麦克风芯片和ASIC芯片,所述ASIC芯片与所述MEMS麦克风芯片电连接。
5.根据权利要求4所述的封装结构,其特征在于,所述MEMS麦克风芯片包括压电MEMS麦克风芯片。
6.根据权利要求5所述的封装结构,其特征在于,所述封装基板具有贯穿通孔,所述贯穿通孔与所述压电MEMS麦克风芯片的背腔相连通。
7.根据权利要求1所述的封装结构,其特征在于,所述封装基板包括印刷电路板。
8.根据权利要求1所述的封装结构,其特征在于,所述壳体包括金属材料、塑料材料、或金属和塑料的复合材料。
CN201922095339.5U 2019-11-29 2019-11-29 一种封装结构 Active CN210609707U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201922095339.5U CN210609707U (zh) 2019-11-29 2019-11-29 一种封装结构

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201922095339.5U CN210609707U (zh) 2019-11-29 2019-11-29 一种封装结构

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN210609707U true CN210609707U (zh) 2020-05-22

Family

ID=70694066

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201922095339.5U Active CN210609707U (zh) 2019-11-29 2019-11-29 一种封装结构

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN210609707U (zh)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9521499B2 (en) Electronic device with large back volume for electromechanical transducer
US7763972B2 (en) Stacked package structure for reducing package volume of an acoustic micro-sensor
CN107343249B (zh) 多设备模块、包括该模块的装置和制造该模块的方法
US9264815B2 (en) Silicon condenser microphone
US20080219482A1 (en) Condenser microphone
CN111479179A (zh) 微机电系统
CN109348389B (zh) 组合传感器和电子设备
US20200336841A1 (en) Microelectromechanical System (MEMS) Comprising Microphone and Low Power Circuitry with Detection of Audio Signal
CN104080034A (zh) 具有增大后腔的mems装置
CN205566635U (zh) 一种mems麦克风
JP2010034991A (ja) マイクロホンユニット
CN110856090A (zh) 一种新型的抗射频干扰的微机电系统麦克风结构
CN210579221U (zh) 硅麦克风
CN202799144U (zh) Mems麦克风
CN107548001B (zh) 传感器组及电子设备
CN210629859U (zh) 一种新型的抗射频干扰的微机电系统麦克风结构
CN210609707U (zh) 一种封装结构
CN211090109U (zh) 一种pcb以及应用该pcb的mems传感器
CN112291691A (zh) Mems压电微扬声器、微扬声器单元及电子设备
CN211240080U (zh) 一种mems振动传感器
WO2023160719A1 (zh) 振动传感器、电子设备和振动检测方法
JP2008136195A (ja) コンデンサマイクロホン
CN102932721A (zh) Mems传声器
CN109348385A (zh) 一种具有回声消声系统的麦克风及电子设备
CN209845304U (zh) 一种pcb基板硅麦芯片封装结构

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant