CN210560869U - 熔融机密封式电极开闭机构 - Google Patents
熔融机密封式电极开闭机构 Download PDFInfo
- Publication number
- CN210560869U CN210560869U CN201921235120.4U CN201921235120U CN210560869U CN 210560869 U CN210560869 U CN 210560869U CN 201921235120 U CN201921235120 U CN 201921235120U CN 210560869 U CN210560869 U CN 210560869U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- copper
- electrode
- furnace cover
- copper electrode
- ball screw
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Furnace Details (AREA)
Abstract
本实用新型公开了熔融机密封式电极开闭机构，通过安装在炉盖上的伺服电机转动滚珠丝杠螺杆，从而带动滚珠丝杠螺母的升降运动，滚珠丝杠螺母升降即带动其上的移动板随之升降，移动板升降进而带动与移动板连接的连接板运动，通过连杆机构带动第二铜电极以铜电极夹紧套底部固定点为中心旋转，第二铜电极旋转则带动石墨电极旋转组成石墨电极开闭系统；电极开闭稳定可靠，电极升降稳定。
Description
技术领域
本实用新型属于半导体设备制造行业，具体涉及一种熔融机密封式电极开闭机构。
背景技术
熔融机电极开闭机构因要同时带动6个电极同时开闭，且还要满足电极升降的平稳可靠。经常需要设置6套升降系统，结构复杂。
原有熔融机开闭机构为非密封结构，熔融机电极起弧环境空气中存在金属颗粒，粉尘等杂质，影响坩埚品质，损坏电极。
实用新型内容
针对现有技术存在的问题，本实用新型提供一种熔融机密封式电极开闭机构，通过安装在炉盖上的伺服电机转动滚珠丝杠螺杆，从而带动滚珠丝杠螺母的升降运动，进而驱动连杆机构带动铜电极和石墨电极旋转组成石墨电极开闭系统。电极开闭稳定可靠，电极升降稳定。
本实用新型的技术方案是：熔融机密封式电极开闭机构，包括炉盖和炉筒；
所述炉盖上方水平设置有第一支撑座，所述第一支撑座上方水平设置有电缆支架；伺服电机竖直安装于电缆支架上，伺服电机的输出端连接滚珠丝杠螺杆一端，滚珠丝杠螺杆穿过第一支撑座和炉盖，另一端通过轴承连接第二支撑座，滚珠丝杠螺母位于炉筒内；
所述滚珠丝杠螺母固定连接于水平设置的移动板中心部位，所述移动板边缘沿周向开设有若干个孔，每个孔内设置有一个直线轴承，直线轴承内套有竖直放置的导向轴；所述导向轴顶端固定连接导向盘，底端固定连接第二支撑座；所述第二支撑座固定于底部的支撑板上；
还包括6根竖直放置的水冷导向轴，所述水冷导向轴一端固定于第一支撑座上，一端固定于支撑板；
还包括6个第一接线铜排，所述第一接线铜排固定设置于电缆支架上；
还包括6个第二接线铜排，每个第二接线铜排连接一个第一铜电极，第一铜电极穿过炉盖且固定于炉盖上，第一铜电极与炉盖之间设置有绝缘板；
还包括6个与第二接线铜排和第一铜电极一一配套的第三接线铜排，所述第三接线铜排设置于炉盖内部，且与配套的第一铜电极固定连接；
还包括6个第二铜电极，每个第二铜电极上设置一个第四接线铜排，每个第二铜电极顶部外侧固定连接一个铜电极夹紧套，所述第二铜电极和铜电极夹紧套之间设置有绝缘套，所述铜电极夹紧套底部可旋转式固定连接第二支撑座，铜电极夹紧套上方通过连接板与移动板连接，所述连接板两端与铜电极夹紧套和移动板之间均采用可旋转式固定连接方式，形成连杆机构；使得第二铜电极能够在连杆机构的驱动下以铜电极夹紧套底部固定点为中心旋转；
每个第二铜电极底部均连接一根石墨电极，6根石墨电极底部能够在连杆机构的驱动下旋转汇聚于一点，也能够在连杆机构的驱动下分开。
进一步的，所述第二铜电极底部与石墨套螺纹连接，所述石墨套与石墨电极顶部螺纹连接。固定连接可靠。
进一步的，所述连接板两端与铜电极夹紧套和移动板之间均采用销轴和轴承配合的连接方式实现可旋转式固定。使得连接板转动灵活。
进一步的，所述炉盖通过螺栓连接炉筒，炉盖与炉筒间安装O型密封圈。
进一步的，所述滚珠丝杆螺杆通过波纹管密封。
进一步的，所述水冷导向轴外侧套装波纹管，波纹管两端分别固定安装于电缆支架和炉盖相应接口处。
本实用新型的有益效果是：
该熔融机密封式电极开闭机构通过安装在炉盖上的伺服电机转动滚珠丝杠螺杆，从而带动滚珠丝杠螺母的升降运动，滚珠丝杠螺母升降即带动其上的移动板随之升降，移动板升降进而通过与移动板连接的连接板运动，通过连杆机构带动第二铜电极以铜电极夹紧套底部固定点为中心旋转，第二铜电极旋转则带动石墨电极旋转组成石墨电极开闭系统。电极开闭稳定可靠，电极升降稳定。使用时，先将第一接线铜排、第二接线铜排、第三接线铜排和第四接线铜排通过连接电缆进行连接，用于铜电极通电。6根铜电极分别加载U1、V1、W1、U2、V2、W2电流和电压，当铜电极下端安装的石墨电极底部旋转至一点时，接触开始发生弧光，从而引弧成功，通过弧光发出热量对旋转中模具的砂子进行加热。
该熔融机密封式电极开闭机构通过炉盖加密封圈的形式，与炉筒螺栓连接即可密封，解决电极起弧环境空气中存在金属，粉尘多的问题，优化设备工作环境。
该熔融机密封式电极开闭机构采用伺服电机搭配丝杆驱动，电极开闭角度精确，移动平稳。
该熔融机密封式电极开闭机构结构简单，动作整洁。
附图说明
图1为熔融机密封式电极开闭机构整体结构示意图；
图2为熔融机密封式电极开闭机构剖视图；
图3为图2中A的放大图；
图4为图2中B的放大图。
图中：1为炉盖，2为炉筒，3为伺服电机，4为电缆支架，5为第一支撑座，6为第一接线铜排，7为水冷导向轴，8为滚珠丝杠螺杆，9为第二接线铜排，10为绝缘板，11为第一铜电极，12为第三接线铜排，13为导向盘，14为移动板，15为直线轴承，16为导向轴，17为第二支撑座，18为支撑板，19为第四接线铜排，20为铜电极夹紧套，21为连接板，22为第二铜电极，23为石墨套，24为石墨电极，25为滚珠丝杠螺母，26为绝缘套，27为底部固定点。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步的说明。
如图1所示，熔融机密封式电极开闭机构，包括炉盖1和炉筒2。炉盖1通过螺栓连接炉筒2，炉盖1与炉筒2间安装O型密封圈。
水冷导向轴与丝杆外侧均套装有波纹管，波纹管两端分别固定于炉盖和电缆支架相应位置，并在连接处装有O型圈密封。
如图2-4所示，炉盖1上方水平设置有第一支撑座5，第一支撑座5上方水平设置有电缆支架4。伺服电机3竖直安装于电缆支架4上，伺服电机3的输出端连接滚珠丝杠螺杆8一端，滚珠丝杠螺杆8穿过第一支撑座5和炉盖1，另一端通过轴承连接第二支撑座17，滚珠丝杠螺母25位于炉筒2内。
滚珠丝杠螺母25固定连接于水平设置的移动板14中心部位，移动板14边缘沿周向开设有若干个孔，每个孔内设置有一个直线轴承15，直线轴承15内套有竖直放置的导向轴16。导向轴16顶端固定连接导向盘13，底端固定连接第二支撑座17。第二支撑座17固定于底部的支撑板18上。
熔融机密封式电极开闭机构还包括6根竖直放置的水冷导向轴7，水冷导向轴7一端固定于第一支撑座5上，一端固定于支撑板18。
熔融机密封式电极开闭机构还包括6个第一接线铜排6，第一接线铜排6固定设置于电缆支架4上。
熔融机密封式电极开闭机构还包括6个第二接线铜排9，每个第二接线铜排9连接一个第一铜电极11，第一铜电极11穿过炉盖1且固定于炉盖1上，第一铜电极11与炉盖1之间设置有绝缘板10。
熔融机密封式电极开闭机构还包括6个与第二接线铜排9和第一铜电极11一一配套的第三接线铜排12，第三接线铜排12设置于炉盖1内部，且与配套的第一铜电极11固定连接。
熔融机密封式电极开闭机构还包括6个第二铜电极22，每个第二铜电极22上设置一个第四接线铜排12，每个第二铜电极22顶部外侧固定连接一个铜电极夹紧套20，第二铜电极22和铜电极夹紧套20之间设置有绝缘套26，铜电极夹紧套20底部可旋转式固定连接第二支撑座17，铜电极夹紧套20上方通过连接板21与移动板14连接，连接板21两端与铜电极夹紧套20和移动板14之间均采用销轴和轴承配合的连接方式实现可旋转式固定，形成连杆机构。使得第二铜电极22能够在连杆机构的驱动下以铜电极夹紧套20底部固定点27为中心旋转。
每个第二铜电极22底部与一个石墨套23螺纹连接，石墨套23与石墨电极24顶部螺纹连接。6根石墨电极底部能够在连杆机构的驱动下旋转汇聚于一点，也能够在连杆机构的驱动下分开。固定连接可靠。
该熔融机密封式电极开闭机构通过安装在炉盖上的伺服电机转动滚珠丝杠螺杆，从而带动滚珠丝杠螺母的升降运动，滚珠丝杠螺母升降即带动其上的移动板随之升降，移动板升降进而通过与移动板连接的连接板运动，通过连杆机构带动第二铜电极以铜电极夹紧套底部固定点为中心旋转，第二铜电极旋转则带动石墨电极旋转组成石墨电极开闭系统。电极开闭稳定可靠，电极升降稳定。使用时，先将第一接线铜排、第二接线铜排、第三接线铜排和第四接线铜排通过连接电缆进行连接，用于铜电极通电。6根铜电极分别加载U1、V1、W1、U2、V2、W2电流和电压，当铜电极下端安装的石墨电极底部旋转至一点时，接触开始发生弧光，从而引弧成功，通过弧光发出热量对旋转中模具的砂子进行加热。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (6)
1.熔融机密封式电极开闭机构，其特征在于：包括炉盖(1)和炉筒(2)；
所述炉盖(1)上方水平设置有第一支撑座(5)，所述第一支撑座(5)上方水平设置有电缆支架(4)；伺服电机(3)竖直安装于电缆支架(4)上，伺服电机(3)的输出端连接滚珠丝杠螺杆(8)一端，滚珠丝杠螺杆(8)穿过第一支撑座(5)和炉盖(1)，另一端通过轴承连接第二支撑座(17)，滚珠丝杠螺母(25)位于炉筒(2)内；
所述滚珠丝杠螺母(25)固定连接于水平设置的移动板(14)中心部位，所述移动板(14)边缘沿周向开设有若干个孔，每个孔内设置有一个直线轴承(15)，直线轴承(15)内套有竖直放置的导向轴(16)；所述导向轴(16)顶端固定连接导向盘(13)，底端固定连接第二支撑座(17)；所述第二支撑座(17)固定于底部的支撑板(18)上；
还包括6根竖直放置的水冷导向轴(7)，所述水冷导向轴(7)一端固定于第一支撑座(5)上，一端固定于支撑板(18)；
还包括6个第一接线铜排(6)，所述第一接线铜排(6)固定设置于电缆支架(4)上；
还包括6个第二接线铜排(9)，每个第二接线铜排(9)连接一个第一铜电极(11)，第一铜电极(11)穿过炉盖(1)且固定于炉盖(1)上，第一铜电极(11)与炉盖(1)之间设置有绝缘板(10)；
还包括6个与第二接线铜排(9)和第一铜电极(11)一一配套的第三接线铜排(12)，所述第三接线铜排(12)设置于炉盖(1)内部，且与配套的第一铜电极(11)固定连接；
还包括6个第二铜电极(22)，每个第二铜电极(22)上设置一个第四接线铜排(12)，每个第二铜电极(22)顶部外侧固定连接一个铜电极夹紧套(20)，所述第二铜电极(22)和铜电极夹紧套(20)之间设置有绝缘套(26)，所述铜电极夹紧套(20)底部可旋转式固定连接第二支撑座(17)，铜电极夹紧套(20)上方通过连接板(21)与移动板(14)连接，所述连接板(21)两端与铜电极夹紧套(20)和移动板(14)之间均采用可旋转式固定连接方式，形成连杆机构；使得第二铜电极(22)能够在连杆机构的驱动下以铜电极夹紧套(20)底部固定点为中心旋转；
每个第二铜电极(22)底部均连接一根石墨电极(24)，6根石墨电极底部能够在连杆机构的驱动下旋转汇聚于一点，也能够在连杆机构的驱动下分开。
2.根据权利要求1所述的熔融机密封式电极开闭机构，其特征在于：所述第二铜电极(22)底部与石墨套(23)螺纹连接，所述石墨套(23)与石墨电极(24)顶部螺纹连接。
3.根据权利要求1所述的熔融机密封式电极开闭机构，其特征在于：所述连接板(21)两端与铜电极夹紧套(20)和移动板(14)之间均采用销轴和轴承配合的连接方式实现可旋转式固定。
4.根据权利要求1所述的熔融机密封式电极开闭机构，其特征在于：所述炉盖(1)通过螺栓连接炉筒(2)，炉盖(1)与炉筒(2)间安装O型密封圈。
5.根据权利要求1所述的熔融机密封式电极开闭机构，其特征在于：所述滚珠丝杆螺杆(8)通过波纹管密封。
6.根据权利要求1所述的熔融机密封式电极开闭机构，其特征在于：所述水冷导向轴(7)外侧套装波纹管，波纹管两端分别固定安装于电缆支架和炉盖相应接口处。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921235120.4U CN210560869U (zh) | 2019-08-01 | 2019-08-01 | 熔融机密封式电极开闭机构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921235120.4U CN210560869U (zh) | 2019-08-01 | 2019-08-01 | 熔融机密封式电极开闭机构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN210560869U true CN210560869U (zh) | 2020-05-19 |
Family
ID=70628814
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201921235120.4U Active CN210560869U (zh) | 2019-08-01 | 2019-08-01 | 熔融机密封式电极开闭机构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN210560869U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113739582A (zh) * | 2021-08-30 | 2021-12-03 | 上海汉虹精密机械有限公司 | 一种应用于石英坩埚熔融炉的可将丝杆外置的升降结构 |
-
2019
- 2019-08-01 CN CN201921235120.4U patent/CN210560869U/zh active Active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113739582A (zh) * | 2021-08-30 | 2021-12-03 | 上海汉虹精密机械有限公司 | 一种应用于石英坩埚熔融炉的可将丝杆外置的升降结构 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US11694880B2 (en) | Lift thimble system, reaction chamber, and semiconductor processing equipment | |
| KR101780946B1 (ko) | 직접구동 영구자석 풍력발전기 세트 축 조립 시스템 | |
| CN1031020C (zh) | 一种在户内或户外使用的中压断路器 | |
| KR101943088B1 (ko) | 전기 유도 용해 어셈블리 | |
| CN210560869U (zh) | 熔融机密封式电极开闭机构 | |
| CN104801906A (zh) | 一种基于激光定位的全角度工业点焊机器人 | |
| KR101644840B1 (ko) | 금속용해로 덮개장치 | |
| CN211908024U (zh) | 一种起重机用配电控制柜 | |
| JP5215237B2 (ja) | 開閉装置 | |
| CN110315182B (zh) | 全自动定子点焊机 | |
| CN1280859C (zh) | 开关设备 | |
| KR101276408B1 (ko) | 초음파 융착 방식을 적용한 모터의 ｐｃｂ 조립 장치 | |
| CN217775867U (zh) | 一种接线端子与壳体焊接设备 | |
| CN213067035U (zh) | 一种废钢预热型电弧炉 | |
| CN112117705B (zh) | 输电带电作业方式自动识别装置 | |
| CN114871549A (zh) | 一种壳体与接线端子、保护盒焊接设备 | |
| CN208417582U (zh) | 一种真空隔离阀机构 | |
| US4417345A (en) | Holder for an electrode | |
| CN208417702U (zh) | 一种用于真空隔离阀的阀板旋转机构 | |
| CN201742016U (zh) | 一种高压计量手车 | |
| CN221127145U (zh) | 一种三电逆变器模块 | |
| CN112271883B (zh) | 一种大功率电机滑环更换装置 | |
| CN217306435U (zh) | 一种熔断器结构 | |
| CN218799743U (zh) | 一种设置有陶瓷保护罩的钢结构厂房加工用氩弧焊机 | |
| CN209766967U (zh) | 一种可快速散热降温的交流负载柜 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |