硅片高压测试夹具
技术领域
本实用新型涉及硅片测试附属装置的技术领域,特别是涉及一种硅片高压测试夹具。
背景技术
众所周知,硅片高压测试夹具是一种用于硅片检测测试过程中,方便固定硅片的位置,以方便对硅片进行检测的附属装置,其在硅片测试的领域中得到了广泛的使用;现有的硅片高压测试夹具包括固定板、连接板、定位板、多组定位弹簧、压板和移动杆,连接板顶端和底端分别与定位板右端和固定板右端连接,多组定位弹簧顶端和底端分别与定位板底部和压板顶部连接,移动杆左端与连接杆右侧壁中央区域连接;现有的硅片高压测试夹具使用时,将所需要进行测定的硅片夹装于压板和固定板之间,通过多组定位弹簧的弹力方便固定硅片的位置,并且可以通过调整移动杆的位置以便调整硅片的位置,方便对硅片进行检测;现有的硅片高压测试夹具使用中发现,其对硅片的位置调整准确性较差,实用性较差。
实用新型内容
为解决上述技术问题,本实用新型提供一种可以提高对硅片位置的调整准确度,提高实用性的硅片高压测试夹具。
本实用新型的硅片高压测试夹具,包括固定板、连接板、定位板、多组定位弹簧、压板和移动杆,连接板顶端和底端分别与定位板右端和固定板右端连接,多组定位弹簧顶端和底端分别与定位板底部和压板顶部连接,移动杆左端与连接杆右侧壁中央区域连接;还包括底座、定位轴、定位环、第一锥形齿轮、第二锥形齿轮、支撑板、旋转轴和旋转把手,所述底座顶部设置有第一固定槽,所述第一固定槽内设置有第一滚珠轴承,所述定位轴底端插入并固定至第一滚珠轴承中,并且定位轴顶端与定位环连接,所述移动杆右端穿过定位环,并在移动杆与定位环内壁之间设置有第二滚珠轴承,所述移动杆右端与第一锥形齿轮连接,所述支撑板左端与定位轴连接,并在支撑板顶部右半区域设置有第二固定槽,所述第二固定槽内设置有第三滚珠轴承,所述旋转轴底端插入并固定至第三滚珠轴承中,所述第二锥形齿轮中央区域设置有固定孔,并且第二锥形齿轮套装固定至旋转轴上,第二锥形齿轮与第一锥形齿轮啮合,所述旋转轴顶端与旋转把手连接。
本实用新型的硅片高压测试夹具,还包括两组支撑杆和两组滑轮,所述两组支撑杆顶端和底端分别与支撑板底部和两组滑轮连接,所述两组滑轮均与底座顶部接触。
本实用新型的硅片高压测试夹具,还包括定位螺纹杆和定位螺纹管,所述定位板中央区域设置有通孔,所述定位螺纹管固定安装在通孔处,所述定位螺纹杆底端螺装通过定位螺纹管,并在定位螺纹杆顶端和底端分别设置有旋转块和限位球。
本实用新型的硅片高压测试夹具,还包括多组加强杆,所述多组加强杆两端分别与定位螺纹管外壁顶端和定位板顶部连接。
本实用新型的硅片高压测试夹具,还包括上防滑垫和下防滑垫,所述上防滑垫和下防滑垫,所述上防滑垫和下防滑垫分别安装在压板底部和固定板顶部连接。
本实用新型的硅片高压测试夹具,还包括两组定位杆和两组支撑环,所述两组定位杆两端分别与两组支撑环和定位轴连接,所述移动杆穿过两组支撑环。
本实用新型的硅片高压测试夹具,还包括两组缓冲垫,所述两组缓冲垫分别安装在两组支撑环内壁上,并且两组缓冲垫均与移动杆外壁接触。
本实用新型的硅片高压测试夹具,还包括防滑把套,所述防滑把套套装至旋转把手上。
与现有技术相比本实用新型的有益效果为:将所需要进行测定的硅片夹装于压板和固定板之间,通过多组定位弹簧的弹力方便固定硅片的位置,并且可以转动旋转把手,使旋转轴带动第二锥形齿轮转动,由于第二锥形齿轮与第一锥形齿轮啮合,因此第一锥形齿轮随第一锥形齿轮一同转动,从而通过移动杆带动连接板以及固定的硅片进行转动,以调整硅片的方向,并且可以同时转动整体,使整体通过定位轴沿底座转动,从而可以方便通过调整移动杆的位置以便调整硅片的位置,进而可以提高对硅片位置的调整准确度,方便对硅片进行检测,提高实用性。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图;
图2是图1中A部的局部放大图;
图3是本实用新型的结构示意图;
图4是本实用新型的结构示意图;
附图中标记:1、固定板;2、连接板;3、定位板;4、定位弹簧;5、压板;6、移动杆;7、底座;8、定位轴;9、定位环;10、第一锥形齿轮;11、第二锥形齿轮;12、支撑板;13、旋转轴;14、旋转把手;15、第一滚珠轴承;16、第二滚珠轴承;17、第三滚珠轴承;18、支撑杆;19、滑轮;20、定位螺纹杆;21、定位螺纹管;22、旋转块;23、限位球;24、加强杆;25、上防滑垫;26、下防滑垫;27、定位杆;28、支撑环;29、缓冲垫;30、防滑把套。
具体实施方式
下面结合附图和实施例,对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型,但不用来限制本实用新型的范围。
如图1至图4所示,本实用新型的硅片高压测试夹具,包括固定板1、连接板2、定位板3、多组定位弹簧4、压板5和移动杆6,连接板2顶端和底端分别与定位板3右端和固定板1右端连接,多组定位弹簧4顶端和底端分别与定位板3底部和压板5顶部连接,移动杆6左端与连接杆右侧壁中央区域连接;还包括底座7、定位轴8、定位环9、第一锥形齿轮10、第二锥形齿轮11、支撑板12、旋转轴13和旋转把手14,底座7顶部设置有第一固定槽,第一固定槽内设置有第一滚珠轴承15,定位轴8底端插入并固定至第一滚珠轴承15中,并且定位轴8顶端与定位环9连接,移动杆6右端穿过定位环9,并在移动杆6与定位环9内壁之间设置有第二滚珠轴承16,移动杆6右端与第一锥形齿轮10连接,支撑板12左端与定位轴8连接,并在支撑板12顶部右半区域设置有第二固定槽,第二固定槽内设置有第三滚珠轴承17,旋转轴13底端插入并固定至第三滚珠轴承17中,第二锥形齿轮11中央区域设置有固定孔,并且第二锥形齿轮11套装固定至旋转轴13上,第二锥形齿轮11与第一锥形齿轮10啮合,旋转轴13顶端与旋转把手14连接;将所需要进行测定的硅片夹装于压板和固定板之间,通过多组定位弹簧的弹力方便固定硅片的位置,并且可以转动旋转把手,使旋转轴带动第二锥形齿轮转动,由于第二锥形齿轮与第一锥形齿轮啮合,因此第一锥形齿轮随第一锥形齿轮一同转动,从而通过移动杆带动连接板以及固定的硅片进行转动,以调整硅片的方向,并且可以同时转动整体,使整体通过定位轴沿底座转动,从而可以方便通过调整移动杆的位置以便调整硅片的位置,进而可以提高对硅片位置的调整准确度,方便对硅片进行检测,提高实用性。
本实用新型的硅片高压测试夹具,还包括两组支撑杆18和两组滑轮19,两组支撑杆18顶端和底端分别与支撑板12底部和两组滑轮19连接,两组滑轮19均与底座7顶部接触;可以通过两组支撑杆固定两组滑轮的位置,当整体转动时,两组滑轮均沿底座顶部转动,从而可以方便对支撑板起到一定的支撑作用。
本实用新型的硅片高压测试夹具,还包括定位螺纹杆20和定位螺纹管21,定位板3中央区域设置有通孔,定位螺纹管21固定安装在通孔处,定位螺纹杆20底端螺装通过定位螺纹管21,并在定位螺纹杆20顶端和底端分别设置有旋转块22和限位球23;当通过压板和定位板夹装硅片时,可以转动旋转块,使定位螺纹杆沿定位螺纹管向下移动,并使限位球与压板顶部接触,从而可以方便限定压板的位置。
本实用新型的硅片高压测试夹具,还包括多组加强杆24,多组加强杆24两端分别与定位螺纹管21外壁顶端和定位板3顶部连接;可以通过多组加强杆提高定位螺纹管与定位板之间的连接稳定性。
本实用新型的硅片高压测试夹具,还包括上防滑垫25和下防滑垫26,上防滑垫25和下防滑垫26,上防滑垫25和下防滑垫26分别安装在压板底部和固定板1顶部连接;当通过压板和固定板对硅片进行夹装固定时,可以通过上防滑垫和下防滑垫增强压板和固定板与硅片之间的摩擦力,从而可以提高对硅片的固定能力。
本实用新型的硅片高压测试夹具,还包括两组定位杆27和两组支撑环28,两组定位杆27两端分别与两组支撑环28和定位轴8连接,移动杆6穿过两组支撑环28;可以通过两组定位杆固定两组支撑环的位置,从而可以通过两组支撑环对移动杆的位置起到一定的支撑和限定作用。
本实用新型的硅片高压测试夹具,还包括两组缓冲垫29,两组缓冲垫29分别安装在两组支撑环28内壁上,并且两组缓冲垫29均与移动杆6外壁接触;可以通过两组缓冲垫提高连接杆与两组支撑环之间的摩擦力,从而可以方便提高移动杆的转动稳定性。
本实用新型的硅片高压测试夹具,还包括防滑把套30,防滑把套30套装至旋转把手14上;当转动旋转把手时,可以通过防滑把套增强操作者手与旋转把手之间的摩擦力。
本实用新型的硅片高压测试夹具,其在工作时,将所需要进行测定的硅片夹装于压板和固定板之间,通过多组定位弹簧的弹力方便固定硅片的位置,并且可以转动旋转把手,使旋转轴带动第二锥形齿轮转动,由于第二锥形齿轮与第一锥形齿轮啮合,因此第一锥形齿轮随第一锥形齿轮一同转动,从而通过移动杆带动连接板以及固定的硅片进行转动,以调整硅片的方向,并且可以同时转动整体,使整体通过定位轴沿底座转动,从而可以方便通过调整移动杆的位置以便调整硅片的位置,进而可以提高对硅片位置的调整准确度,方便对硅片进行检测,提高实用性,可以通过两组支撑杆固定两组滑轮的位置,当整体转动时,两组滑轮均沿底座顶部转动,从而可以方便对支撑板起到一定的支撑作用,当通过压板和定位板夹装硅片时,可以转动旋转块,使定位螺纹杆沿定位螺纹管向下移动,并使限位球与压板顶部接触,从而可以方便限定压板的位置,可以通过多组加强杆提高定位螺纹管与定位板之间的连接稳定性,当通过压板和固定板对硅片进行夹装固定时,可以通过上防滑垫和下防滑垫增强压板和固定板与硅片之间的摩擦力,从而可以提高对硅片的固定能力,可以通过两组定位杆固定两组支撑环的位置,从而可以通过两组支撑环对移动杆的位置起到一定的支撑和限定作用,可以通过两组缓冲垫提高连接杆与两组支撑环之间的摩擦力,从而可以方便提高移动杆的转动稳定性,当转动旋转把手时,可以通过防滑把套增强操作者手与旋转把手之间的摩擦力。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型技术原理的前提下,还可以做出若干改进和变型,这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。