CN210529040U - 一种带裂解的硒束源炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种带裂解的硒束源炉，炉体内侧壁固定连接有低温炉，低温炉内置有低温炉坩埚，低温炉炉丝安装筒的内侧壁与低温炉的外侧壁之间设有间隙，低温炉的下侧壁通过螺栓固定安装在低温炉盘的上侧壁，对低温炉起到稳定的支撑作用，保证低温炉稳定进行工作，低温炉的上侧壁通过连接杆固定连接有高温炉，高温炉内置有高温难熔金属筒，高温难熔金属筒的外侧壁固定安装有高温加热器，高温加热器连接外部电源，在进行硒化实验的时候，硒在气化的过程通过高温加热器将高温炉内的温度提升至1000℃左右，在硒扩散的管道上加温1000℃，让大分子团的硒，都裂解成小分子状态，形成均匀的硒蒸汽，从而改善镀膜质量和稳定性能。
Description
技术领域
本实用新型涉及束源炉技术领域，具体为一种带裂解的硒束源炉。
背景技术
硒在周期表中位于第四周期VIA族，可用于做光敏材料或者催化剂等，现在大多硒化采用在真空状态下加热到300℃直接出现硒蒸汽，然后用蒸汽做硒化实验，硒在气化的时候是很快的，温度一旦达到很快气化，蒸汽中，大分子团和小分子团是混合在一起的，气氛不均匀，在这不均匀的气氛下，做出的实验结果也不均匀，同时也没有可靠的稳定性，为了更好的进行实验过程，对此我们提出了一种带裂解的硒束源炉。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种带裂解的硒束源炉，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种带裂解的硒束源炉，包括炉体，所述炉体内侧壁固定连接有低温炉，所述低温炉内置有低温炉坩埚，所述低温炉坩埚的外侧壁套接有低温炉加热丝，所述低温炉的外侧壁套接有低温炉炉丝安装筒，所述低温炉炉丝安装筒的内侧壁与低温炉的外侧壁之间设有间隙，所述间隙之间设置有低温炉内屏蔽和低温炉外屏蔽，所述低温炉电加热丝的两端分别与低温电极柱固定连接，所述低温电极柱通过凸台陶瓷固定安装在电极固定板的内侧壁，所述低温电极柱通过接电板连接外部电源，所述电极固定板通过支撑杆固定连接有低温炉盘，所述低温炉的下侧壁通过螺栓固定安装在低温炉盘的上侧壁，对低温炉起到稳定的支撑作用，保证低温炉稳定进行工作，所述低温炉的上侧壁通过连接杆固定连接有高温炉，所述高温炉内置有筒，所述高温难熔金属筒的外侧壁固定安装有高温加热器，所述高温加热器连接外部电源。
优选的，所述高温加热器的外侧壁套接有高温内屏蔽筒，所述高温加热器的外侧壁和高温内屏蔽筒的内侧壁之间设有间隙，所述间隙的内腔设置有高温内保温层和高温外保温层，所述高温内保温层的内侧壁与高温加热器的外侧壁固定连接，所述高温内保温层的外侧壁与高温外保温层的内侧壁固定连接，所述高温外保温层的外侧壁与高温内屏蔽筒的内侧壁固定连接，所述高温内屏蔽筒的外侧壁套接有高温外屏蔽筒。
优选的，所述高温炉的下侧壁左右对称的通过螺栓固定连接有高温托盘。
优选的，所述炉体的下侧壁固定安装有底座。
优选的，所述低温炉的外侧壁固定安装有冷却管。
优选的，高温难熔金属筒的内径小于低温炉的内径，行成井喷现象。
优选的，每次填料由高温难熔金属筒向内自动或者手动填料。
优选的，高温与低温部分之间有隔热效果。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：一种带裂解的硒束源炉，在进行硒化实验的时候，硒在气化的过程通过高温加热器将高温炉内的温度提升至1000℃左右，在硒扩散的管道上加温1000℃，让大分子团的硒，都裂解成小分子状态，形成均匀的硒蒸汽，从而改善镀膜质量和稳定性能，高温炉内置有筒，具有极好的导热性能，可以提高加工效率，高温内保温层的内侧壁与高温加热器的外侧壁固定连接，高温内保温层的外侧壁与高温外保温层的内侧壁固定连接，高温外保温层的外侧壁与高温内屏蔽筒的内侧壁固定连接，高温内屏蔽筒的外侧壁套接有高温外屏蔽筒，对高温炉起到隔热作用，防止热量散失，保证炉内的温度，提高整个加工过程的效率。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图。
图2为本实用新型低温炉结构示意图。
图3为本实用新型高温炉结构示意图。
附图标记说明：1、炉体，2、低温炉，3、低温炉外屏蔽，4、底座，5、冷却管，6、高温难熔金属筒，7、高温炉，8、低温炉炉丝安装筒，9、低温炉内屏蔽，10、低温炉盘，11、支撑杆，12、电极固定板，13、低温炉坩埚，14、凸台陶瓷，15、接电板，16、连接杆，17、低温电极柱，18、高温外屏蔽筒，19、高温加热器，20、高温内保温层，21、高温外保温层，22、高温内屏蔽筒，23、螺栓，24、低温炉加热丝。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1、图2和图3，本实用新型提供一种技术方案：一种带裂解的硒束源炉，包括炉体1，炉体1内侧壁固定连接有低温炉2，低温炉2内置有低温炉坩埚13，低温炉坩埚13的外侧壁套接有低温炉加热丝26，低温炉2的外侧壁套接有低温炉炉丝安装筒8，低温炉炉丝安装筒8的内侧壁与低温炉2的外侧壁之间设有间隙，间隙之间设置有低温炉内屏蔽9和低温炉外屏蔽3，低温炉外屏蔽3的内侧壁与低温炉内屏蔽9的外侧壁固定连接，低温炉内屏蔽9的内侧壁与低温炉2的外侧壁固定连接，低温炉电加热丝26的两端分别与低温电极柱17固定连接，低温电极柱17通过凸台陶瓷14固定安装在电极固定板12的内侧壁，凸台陶瓷14在起到固定的同时能够有效的减少陶瓷层的堆叠并且提高导电性能，低温电极柱17通过接电板15连接外部电源，电极固定板12通过支撑杆11固定连接有低温炉盘10，低温炉2的下侧壁通过螺栓23固定安装在低温炉盘10的上侧壁，对低温炉10起到稳定的支撑作用，保证低温炉2稳定进行工作，低温炉2的上侧壁通过连接杆16固定连接有高温炉7，高温炉7内置有高温难熔金属筒6，钼具有极好的导热性能，可以提高加工效率，高温难熔金属筒6的外侧壁固定安装有高温加热器19，高温加热器19连接外部电源，在进行硒化实验的时候，硒在气化的过程通过高温加热器19将高温炉7内的温度提升至1000℃左右，在硒扩散的管道上加温1000℃，让大分子团的硒，都裂解成小分子状态，形成均匀的硒蒸汽，从而改善镀膜质量和稳定性能。
具体而言，高温加热器19的外侧壁套接有高温内屏蔽筒22，高温加热器19的外侧壁和高温内屏蔽筒22的内侧壁之间设有间隙，间隙的内腔设置有高温内保温层20和高温外保温层21，高温内保温层20的内侧壁与高温加热器19的外侧壁固定连接，高温内保温层20的外侧壁与高温外保温层21的内侧壁固定连接，高温外保温层21的外侧壁与高温内屏蔽筒22的内侧壁固定连接，高温内屏蔽筒22的外侧壁套接有高温外屏蔽筒18，对高温炉7起到隔热作用，防止热量散失，保证炉内的温度，提高整个加工过程的效率。
具体而言，高温炉7的下侧壁左右对称的通过螺栓23固定连接有高温托盘24，使得高温炉7更稳定的固定在低温炉2的上端，使得气化过程更加稳定。
具体而言，炉体1的下侧壁固定安装有底座4，底座4对炉体1起到支撑的作用，提高整个过程的稳定性。
具体而言，低温炉2的外侧壁固定安装有冷却管5，冷却管5通过接入冷水对炉体1进行冷却，对炉体1起到降温的作用，给实验过程带来便利。
工作原理：在进行硒化实验的时候，低温炉2内置有低温炉坩埚13，低温炉坩埚13的外侧壁套接有低温炉加热丝26，低温炉电加热丝26的两端分别与低温电极柱17固定连接，低温电极柱17通过凸台陶瓷14固定安装在电极固定板12的内侧壁，低温炉2的上侧壁通过连接杆16固定连接有高温炉7，高温难熔金属筒6的外侧壁固定安装有高温加热器19，高温加热器19连接外部电源，硒在气化的过程通过高温加热器19将高温炉7内的温度提升至1000℃左右，在硒扩散的管道上加温1000℃，让大分子团的硒，都裂解成小分子状态，形成均匀的硒蒸汽。
对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (5)
1.一种带裂解的硒束源炉，包括炉体(1)，其特征在于：所述炉体(1)内侧壁固定连接有低温炉(2)，所述低温炉(2)内置有低温炉坩埚(13)，所述低温炉坩埚(13)的外侧壁套接有低温炉加热丝(26)，所述低温炉(2)的外侧壁套接有低温炉炉丝安装筒(8)，所述低温炉炉丝安装筒(8)的内侧壁与低温炉(2)的外侧壁之间设有间隙，所述间隙之间设置有低温炉内屏蔽(9)和低温炉外屏蔽(3)，所述低温炉电加热丝26的两端分别与低温电极柱(17)固定连接，所述低温电极柱(17)通过凸台陶瓷(14)固定安装在电极固定板(12)的内侧壁，所述低温电极柱(17)通过接电板(15)连接外部电源，所述电极固定板(12)通过支撑杆(11)固定连接有低温炉盘(10)，所述低温炉(2)的下侧壁通过螺栓(23)固定安装在低温炉盘(10)的上侧壁，对低温炉10起到稳定的支撑作用，保证低温炉(2)稳定进行工作，所述低温炉(2)的上侧壁通过连接杆(16)固定连接有高温炉(7)，所述高温炉(7)内置有高温难熔金属筒(6)，所述高温难熔金属筒(6)的外侧壁固定安装有高温加热器(19)，所述高温加热器(19)连接外部电源。
2.根据权利要求1所述的一种带裂解的硒束源炉，其特征在于：所述高温加热器(19)的外侧壁套接有高温内屏蔽筒(22)，所述高温加热器(19)的外侧壁和高温内屏蔽筒(22)的内侧壁之间设有间隙，所述间隙的内腔设置有高温内保温层(20)和高温外保温层(21)，所述高温内保温层(20)的内侧壁与高温加热器(19)的外侧壁固定连接，所述高温内保温层(20)的外侧壁与高温外保温层(21)的内侧壁固定连接，所述高温外保温层(21)的外侧壁与高温内屏蔽筒(22)的内侧壁固定连接，所述高温内屏蔽筒(22)的外侧壁套接有高温外屏蔽筒(18)。
3.根据权利要求1所述的一种带裂解的硒束源炉，其特征在于：所述高温炉(7)的下侧壁左右对称的通过螺栓(23)固定连接有高温托盘(24)。
4.根据权利要求1所述的一种带裂解的硒束源炉，其特征在于：所述炉体(1)的下侧壁固定安装有底座(4)。
5.根据权利要求1所述的一种带裂解的硒束源炉，其特征在于：所述低温炉(2)的外侧壁固定安装有冷却管(5)。
Priority Applications (1)
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| CN201921520038.6U CN210529040U (zh) | 2019-09-12 | 2019-09-12 | 一种带裂解的硒束源炉 |
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| CN201921520038.6U CN210529040U (zh) | 2019-09-12 | 2019-09-12 | 一种带裂解的硒束源炉 |
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| CN210529040U true CN210529040U (zh) | 2020-05-15 |
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ID=70605090
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| CN201921520038.6U Active CN210529040U (zh) | 2019-09-12 | 2019-09-12 | 一种带裂解的硒束源炉 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN210529040U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2022104966A1 (zh) * | 2020-11-20 | 2022-05-27 | 湖南烁科晶磊半导体科技有限公司 | 一种坩埚可移动的分子束外延用束源炉 |
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2019
- 2019-09-12 CN CN201921520038.6U patent/CN210529040U/zh active Active
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| WO2022104966A1 (zh) * | 2020-11-20 | 2022-05-27 | 湖南烁科晶磊半导体科技有限公司 | 一种坩埚可移动的分子束外延用束源炉 |
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