CN210528804U

CN210528804U - 一种光学陶瓷材料的热处理装置

Info

Publication number: CN210528804U
Application number: CN201921496700.9U
Authority: CN
Inventors: 汪婷; 其他发明人请求不公开姓名
Original assignee: Shanghai Hengmai Ceramic Technology Co ltd
Current assignee: Shanghai Hengmai Ceramic Technology Co ltd
Priority date: 2019-09-10
Filing date: 2019-09-10
Publication date: 2020-05-15
Anticipated expiration: 2029-09-10

Abstract

本实用新型公开了一种光学陶瓷材料的热处理装置，包括装置主体，装置主体的底部固定有脚垫，装置主体的内部一侧设置有电机，电机的输出端转动连接有丝杆，装置主体的顶部一侧分别竖向固定有固定管和冷媒进管，且丝杆延伸至固定管的内部上方位置处，该种光学陶瓷材料的热处理装置，设置有支撑杆、底座，且冷媒容器固定在支撑杆和底座的顶部，使冷媒容器能够稳定的固定，提高了其中冷媒液的稳定性，防止其晃动对光学陶瓷材料造成冲击，设置有滑动板、材料放置架，使用时打开密封盖，将滑动板抽出，并将光学陶瓷材料放在材料放置架上，然后滑动进入冷媒容器的内部，并将密封盖放下，使冷媒容器密封，提高了光学陶瓷材料的稳定性。

Description

一种光学陶瓷材料的热处理装置

技术领域

本实用新型涉及光学陶瓷热处理技术领域，具体为一种光学陶瓷材料的热处理装置。

背景技术

光学陶瓷又称透明陶瓷(transparent ceramics)，能透过可见光的陶瓷材料的总称，构成曝光装置的光学系统所使用的合成石英玻璃或氟化钙、氟化钡等光学陶瓷材料随着曝光装置的光源的短波长化不断发展，而要求非常高的透光率，这种需要高透光率的光学陶瓷材料是使用经化学合成的高纯度的原料而制造，但是，因为在所制造的光学陶瓷材料的内部，残留着来源于制造时的热历程的各种应力，所以，为了降低该应力，而进行称为退火处理的热处理，从而使残留应力下降，使折射率的均匀性提升，并且使双折射降低。

现有的光学陶瓷热处理装置，结构简单，大多是通过吊杆调动冷媒容器，该种方式会使冷媒容器中的冷媒晃动，造成对光学陶瓷材料的冲击，影响对光学陶瓷材料的处理效率，且现有的光学陶瓷材料在冷媒容器中的状态不够稳定，同时冷媒与光学陶瓷材料之间自然热传导的速率过慢，影响处理效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种光学陶瓷材料的热处理装置，以解决上述背景技术中提出吊杆调动冷媒容器，其内部的冷媒晃动会对光学陶瓷材料造成冲击、光学陶瓷材料不够稳定和冷媒与光学陶瓷材料之间自然热传导的速率过慢，影响处理效率的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种光学陶瓷材料的热处理装置，包括装置主体，所述装置主体的底部固定有脚垫，所述装置主体的内部一侧设置有电机，所述电机的输出端转动连接有丝杆，所述装置主体的顶部一侧分别竖向固定有固定管和冷媒进管，且所述丝杆延伸至固定管的内部上方位置处，所述丝杆的外表面套接有丝扣，所述丝扣的一侧固定有横杆，所述横杆的底部通过吊杆连接有固定架，所述固定架的顶部连接有密封盖，所述密封盖的底部中间位置处设置有加热器，所述装置主体的内部另一侧固定有底座，所述底座的两侧固定有支撑杆，所述底座和支撑杆的顶部固定有冷媒容器，且所述冷媒容器与冷媒进管相连通，所述冷媒容器的一侧连接有冷媒出管，且所述冷媒出管贯穿装置主体的一侧，所述冷媒容器的内部设置有导热板，所述装置主体的顶部滑动设置有滑动板。

优选地，所述滑动板的顶部一侧设置有材料放置架，且所述材料放置架的底部通过导热杆与导热板相连接。

优选地，所述密封盖的底部固定有密封垫，且所述密封垫采用橡胶材料制造而成。

优选地，所述导热板的外表面凹凸不平，且所述导热板的剖面图呈“三角形”。

优选地，所述固定架与吊杆拆卸连接，且所述固定架与密封盖焊接固定。

优选地，所述冷媒出管沿远离冷媒容器的方向向下倾斜，且所述冷媒出管的内表面光滑。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该种光学陶瓷材料的热处理装置，设置有支撑杆、底座，且冷媒容器固定在支撑杆和底座的顶部，使冷媒容器能够稳定的固定，提高了其中冷媒液的稳定性，防止其晃动对光学陶瓷材料造成冲击，设置有滑动板、材料放置架，使用时打开密封盖，将滑动板抽出，并将光学陶瓷材料放在材料放置架上，然后滑动进入冷媒容器的内部，并将密封盖放下，使冷媒容器密封，提高了光学陶瓷材料的稳定性，设置有导热板和导热杆，当滑动板滑动进入冷媒容器后，导热板的顶部与导热杆相连接，导热板的外表面凹凸不平，可以增加其与冷媒接触的表面积，提高热传导的效率，解决了吊杆调动冷媒容器，其内部的冷媒晃动会对光学陶瓷材料造成冲击、光学陶瓷材料不够稳定和冷媒与光学陶瓷材料之间自然热传导的速率过慢，影响处理效率的问题。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型冷媒容器局部结构示意图；

图3为本实用新型滑动板局部结构示意图。

图中：1、装置主体；2、电机；3、脚垫；4、丝杆；5、冷媒进管；6、固定管；7、丝扣；8、横杆；9、吊杆；10、固定架；11、密封盖；12、密封垫；13、滑动板；14、材料放置架；15、导热杆；16、冷媒出管；17、支撑杆；18、底座；19、冷媒容器；20、导热板；21、加热器。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型中：加热器的型号为SZQ-3000。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种光学陶瓷材料的热处理装置，包括装置主体1、电机2、脚垫3、丝杆4、冷媒进管5、固定管6、丝扣7、横杆8、吊杆9、固定架10、密封盖11、密封垫12、滑动板13、材料放置架14、导热杆15、冷媒出管16、支撑杆17、底座18、冷媒容器19、导热板20和加热器21，所述装置主体1的底部固定有脚垫3，所述装置主体1的内部一侧设置有电机2，所述电机2的输出端转动连接有丝杆4，所述装置主体1的顶部一侧分别竖向固定有固定管6和冷媒进管5，且所述丝杆4延伸至固定管6的内部上方位置处，所述丝杆4的外表面套接有丝扣7，所述丝扣7的一侧固定有横杆8，所述横杆8的底部通过吊杆9连接有固定架10，所述固定架10的顶部连接有密封盖11，所述密封盖11的底部中间位置处设置有加热器21，所述装置主体1的内部另一侧固定有底座18，所述底座18的两侧固定有支撑杆17，所述底座18和支撑杆17的顶部固定有冷媒容器19，且所述冷媒容器19与冷媒进管5相连通，所述冷媒容器19的一侧连接有冷媒出管16，且所述冷媒出管16贯穿装置主体1的一侧，所述冷媒容器19的内部设置有导热板20，所述装置主体1的顶部滑动设置有滑动板13，可以提高该处理装置的稳定性，提高对光学陶瓷材料的处理效率。

请参阅图1，所述滑动板13的顶部一侧设置有材料放置架14，且所述材料放置架14的底部通过导热杆15与导热板20相连接，可以将导热板20吸收的热量通过导热杆15传导给材料放置架14，提高热传导的效率，所述密封盖11的底部固定有密封垫12，且所述密封垫12采用橡胶材料制造而成，可以提高冷媒容器19内部密封性。

请参阅图1-2，所述导热板20的外表面凹凸不平，且所述导热板20的剖面图呈“三角形”，可以提高导热板20与冷媒接触的表面积，提高热传导的效率。

请参阅图1，所述固定架10与吊杆9拆卸连接，且所述固定架10与密封盖11焊接固定，提高了密封盖11的稳定性，降低了工作人员的劳动强度，方便工人操作，所述冷媒出管16沿远离冷媒容器19的方向向下倾斜，且所述冷媒出管16的内表面光滑，方便将冷媒导出。

工作原理：首先将装置主体1安装在陶瓷厂内，并接通电源，然后工作人员打开电机2，电机2驱动丝杆4旋转，在固定管6的限位作用下，丝扣7可以上下移动，使横杆8向上移动，横杆8通过吊杆9带动固定架10向上移动，从而打开密封盖11，工作人员拉出滑动板13，并将光学陶瓷材料放在材料放置架14上，然后将其滑动进入冷媒容器19内，然后关闭密封盖11，接着工作人员通过冷媒进管5向冷媒容器19内注入冷媒，导热板20对冷媒和光学陶瓷材料进行热传导，从而使其内部残留的应力下降，当对光学陶瓷材料进行热处理时，打开加热器21，使光学陶瓷材料能够均匀受热。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims

1.一种光学陶瓷材料的热处理装置，包括装置主体（1），其特征在于：所述装置主体（1）的底部固定有脚垫（3），所述装置主体（1）的内部一侧设置有电机（2），所述电机（2）的输出端转动连接有丝杆（4），所述装置主体（1）的顶部一侧分别竖向固定有固定管（6）和冷媒进管（5），且所述丝杆（4）延伸至固定管（6）的内部上方位置处，所述丝杆（4）的外表面套接有丝扣（7），所述丝扣（7）的一侧固定有横杆（8），所述横杆（8）的底部通过吊杆（9）连接有固定架（10），所述固定架（10）的顶部连接有密封盖（11），所述密封盖（11）的底部中间位置处设置有加热器（21），所述装置主体（1）的内部另一侧固定有底座（18），所述底座（18）的两侧固定有支撑杆（17），所述底座（18）和支撑杆（17）的顶部固定有冷媒容器（19），且所述冷媒容器（19）与冷媒进管（5）相连通，所述冷媒容器（19）的一侧连接有冷媒出管（16），且所述冷媒出管（16）贯穿装置主体（1）的一侧，所述冷媒容器（19）的内部设置有导热板（20），所述装置主体（1）的顶部滑动设置有滑动板（13）。

2.根据权利要求1所述的一种光学陶瓷材料的热处理装置，其特征在于：所述滑动板（13）的顶部一侧设置有材料放置架（14），且所述材料放置架（14）的底部通过导热杆（15）与导热板（20）相连接。

3.根据权利要求1所述的一种光学陶瓷材料的热处理装置，其特征在于：所述密封盖（11）的底部固定有密封垫（12），且所述密封垫（12）采用橡胶材料制造而成。

4.根据权利要求1所述的一种光学陶瓷材料的热处理装置，其特征在于：所述导热板（20）的外表面凹凸不平，且所述导热板（20）的剖面图呈“三角形”。

5.根据权利要求1所述的一种光学陶瓷材料的热处理装置，其特征在于：所述固定架（10）与吊杆（9）拆卸连接，且所述固定架（10）与密封盖（11）焊接固定。

6.根据权利要求1所述的一种光学陶瓷材料的热处理装置，其特征在于：所述冷媒出管（16）沿远离冷媒容器（19）的方向向下倾斜，且所述冷媒出管（16）的内表面光滑。