CN210523235U - 一种具有循环清理功能的芯片加工清洗装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种具有循环清理功能的芯片加工清洗装置，通过滑槽和滑块的配合，使得清洗笼能够上下滑动，通过弹簧与滑块的连接，使得弹簧对滑块施加拉力，从而使清洗笼能够悬置在清洗槽上方，通过拉绳、驱动电机、传动杆、转轮和凹槽的配合，使得拉绳拉动滑块，控制清洗笼的位置，通过将清洗笼浸入清洗槽中对芯片进行清洗，通过抽液泵和进水管的配合将储液箱中的清洗液抽入喷头中，通过喷头对清洗笼内的芯片进行冲洗，同时向清洗槽内加注清洗液，通过出水管和过滤装置的配合，将使用过后的清洗液进行回收和过滤，从而使得清洗液能够循环使用，从而降低清洗液的用量，降低成本，提高清洗效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及芯片清洗技术领域，具体领域为一种具有循环清理功能的芯片加工清洗装置。
背景技术
在半导体芯片制作过程中，芯片清洗的好坏直接决定芯片的质量。芯片清洗所用的水必须为高级纯水，高级纯水的造价很高，为保证清洗质量，冲泡用高纯水的消耗量很大，导致水源浪费和后续废水的处理成本较高。目前GPP芯片生产过程中清洗环节冲水所采用的是浸泡冲水置换装置，就是芯片泡完化学试剂后放入冲水槽中冲水，置换掉残留化学试剂和杂质离子等。这样的清洗装置消耗的高级纯水量很大且冲水时间较长，浪费水资源，成本较高，清洗效果较差。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种具有循环清理功能的芯片加工清洗装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有循环清理功能的芯片加工清洗装置，包括固定架，所述固定架的内壁底部固定连接有清洗槽，所述固定架右侧壁开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有滑块，所述滑块的一端固定连接有支杆，所述支杆的一端固定连接有清洗笼，所述滑块的顶端固定连接有弹簧，所述弹簧的顶端与固定架的内壁固定连接，所述滑块的底端固定连接有拉绳的一端，所述固定架的外壁右侧固定连接有安装板，所述安装板的上表面固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出端固定连接有传动杆，所述传动杆贯穿固定架的右侧壁且延伸至固定架内部，所述传动杆位于固定架内部的侧壁固定套接有转轮，所述转轮的侧壁设有凹槽，所述拉绳的另一端与转轮固定连接，所述拉绳缠绕在凹槽内部，所述固定架的内壁底部固定连接有储液箱，所述储液箱的内部设有抽液泵，所述抽液泵的出水端固定连接有进水管，所述进水管贯穿储液箱的侧壁且延伸至储液箱外部，所述进水管位于储液箱外部的一端固定连接有喷头，所述喷头固定在固定架的内壁顶部上，所述清洗槽的侧壁固定插接有出水管，所述出水管的一端固定贯穿储液箱的顶部，所述储液箱的内部设有过滤装置。
优选的，所述储液箱包括桶体和上盖，所述桶体与固定架内壁底部固定连接，所述桶体的顶部铰接有上盖，所述桶体与上盖之间设有密封垫，所述桶体的前侧壁设有水位观察窗，所述水位观察窗上设有刻度线，所述出水管固定插接在上盖上，所述上盖的内壁设有凸棱，所述过滤装置位于凸棱的上部，所述过滤装置与凸棱卡接连接。
优选的，所述喷头具有雾化模式和高压水柱模式两种工作模式。
优选的，所述喷头与清洗槽的轴心位于同一竖直轴线上。
优选的，所述拉绳为钢丝绳，所述拉绳的直径为10mm-15mm。
优选的，所述支杆的一端固定连接有振动机，所述振动机的振动端固定连接有清洗笼。
优选的，所述清洗笼的内部设有毛刷。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：一种具有循环清理功能的芯片加工清洗装置，通过清洗槽盛装清洗液，通过滑槽和滑块的配合，使得支杆能够上下滑动，从而使得清洗笼能够上下滑动，通过清洗笼盛装芯片，通过清洗笼浸入清洗槽中对芯片进行清洗，通过弹簧与滑块的连接，使得弹簧对滑块施加拉力，从而使清洗笼能够悬置在清洗槽上方，通过拉绳、驱动电机、传动杆、转轮和凹槽的配合，当驱动电机转动，从而带动传动杆和转轮转动，从而控制拉绳缠绕在凹槽内或从凹槽内放出，从而通过拉绳拉动滑块，控制清洗笼的位置，通过抽液泵和进水管的配合将储液箱中的清洗液抽入喷头中，通过喷头对清洗笼内的芯片进行冲洗，同时向清洗槽内加注清洗液，通过出水管和过滤装置的配合，将使用过后的清洗液进行回收和过滤，从而使得清洗液能够循环使用，从而降低清洗液的用量，降低成本，提高清洗效果。
附图说明
图1为本实用新型实施例一的主剖视结构示意图；
图2为本实用新型实施例一的主视结构示意图；
图3为图1中A处结构放大示意图；
图4为图1中B处结构放大示意图；
图5为本实用新型实施例二的主剖视结构示意图。
图中：1-固定架、2-清洗槽、3-滑槽、4-滑块、5-支杆、6-清洗笼、7-弹簧、8-拉绳、9-安装板、10-驱动电机、11-传动杆、12-转轮、13-凹槽、14-储液箱、141-桶体、142-上盖、143-密封垫、144-水位观察窗、145-刻度线、146-凸棱、15-抽液泵、16-进水管、17-喷头、18-出水管、19-过滤装置、20-振动机、21-毛刷。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
实施例一
请参阅图1、图2、图3和图4，本实用新型提供一种技术方案：一种具有循环清理功能的芯片加工清洗装置，包括固定架1，固定架1由底板、右侧板和顶板三部分组成，所述固定架1的内壁底部固定连接有清洗槽2，所述固定架1右侧壁开设有滑槽3，所述滑槽3的内部滑动连接有滑块4，所述滑块4的一端固定连接有支杆5，所述支杆5的一端固定连接有清洗笼6，所述滑块4的顶端固定连接有弹簧7，所述弹簧7的顶端与固定架1的内壁固定连接，所述滑块4的底端固定连接有拉绳8的一端，所述固定架1的外壁右侧固定连接有安装板9，所述安装板9的上表面固定连接有驱动电机10，驱动电机10外接开关，通过开关控制驱动电机10是否转动以及转动方向，所述驱动电机10的输出端固定连接有传动杆11，所述传动杆11贯穿固定架1的右侧壁且延伸至固定架1内部，所述传动杆11位于固定架1内部的侧壁固定套接有转轮12，所述转轮12的侧壁设有凹槽13，所述拉绳8的另一端与转轮12固定连接，所述拉绳8缠绕在凹槽13内部，所述固定架1的内壁底部固定连接有储液箱14，所述储液箱14的内部设有抽液泵15，抽液泵15外接电源，所述抽液泵15的出水端固定连接有进水管16，所述进水管16贯穿储液箱14的侧壁且延伸至储液箱14外部，所述进水管16位于储液箱14外部的一端固定连接有喷头17，所述喷头17固定在固定架1的内壁顶部上，所述清洗槽2的侧壁固定插接有出水管18，出水管18上设有阀门，控制清洗槽2内清洗液是否放出，所述出水管18的一端固定贯穿储液箱14的项部，所述储液箱14的内部设有过滤装置19。
通过清洗槽2盛装清洗液，通过滑槽3和滑块4的配合，使得支杆5能够上下滑动，从而使得清洗笼6能够上下滑动，通过清洗笼6盛装芯片，通过清洗笼6浸入清洗槽2中对芯片进行清洗，通过弹簧7与滑块4的连接，使得弹簧7对滑块4施加拉力，从而使清洗笼6能够悬置在清洗槽2上方，通过拉绳8、驱动电机10、传动杆11、转轮12和凹槽13的配合，当驱动电机10转动，从而带动传动杆11和转轮12转动，从而控制拉绳8缠绕在凹槽13内或从凹槽13内放出，从而通过拉绳8拉动滑块4，控制清洗笼6的位置，通过抽液泵15和进水管16的配合将储液箱14中的清洗液抽入喷头17中，通过喷头17对清洗笼6内的芯片进行冲洗，同时向清洗槽2内加注清洗液，通过出水管18和过滤装置19的配合，将使用过后的清洗液进行回收和过滤，从而使得清洗液能够循环使用。
具体而言，所述储液箱14包括桶体141和上盖142，所述桶体141与固定架1内壁底部固定连接，所述桶体141的顶部铰接有上盖142，桶体141和上盖142之间通过卡接件实现连接和分离，所述桶体141与上盖142之间设有密封垫143，所述桶体141的前侧壁设有水位观察窗144，所述水位观察窗144上设有刻度线145，所述出水管18固定插接在上盖142上，所述上盖142的内壁设有凸棱146，所述过滤装置19位于凸棱146的上部，所述过滤装置19与凸棱146卡接连接。
通过桶体141和上盖142的配合，便于向桶体141内部加注清洗液，通过上盖142和凸棱146的配合，使得过滤装置19能够固定在上盖142上，通过上盖142与出水管18的连接，使得清洗槽2内部的使用过的清洗液能够得到过滤装置19的过滤再次回到桶体141便于二次利用，同时便于更换过滤装置19，内部通过密封垫143增加桶体141和上盖142之间的密封性，防止漏液，通过水位观察窗144和刻度线145观察桶体141内部清洗液的余量，便于及时加注。
具体而言，所述喷头17具有雾化模式和高压水柱模式两种工作模式。
通过喷头17的雾化模式可以在清洗笼6未放入清洗槽2之前对清洗笼6内的芯片进行覆盖冲洗，覆盖面广，初步清洗效果好，通过喷头17的高压水柱模式可以在清洗笼6放入清洗槽2后向清洗槽2内喷射高压水柱，能够搅动清洗槽2内的清洗液，同时经过清洗液缓冲后的水柱对芯片具有一定冲击力，能够增加芯片的清洗效果。
具体而言，所述喷头17与清洗槽2的轴心位于同一竖直轴线上。
具体而言，所述拉绳8为钢丝绳，所述拉绳8的直径为10mm-15mm。
工作原理：将芯片放入清洗笼6中，此时清洗笼6只受到弹簧7的拉力，悬置在清洗槽2的上方，启动抽液泵15，通过抽液泵15和进水管16的配合将储液箱14中的清洗液抽入喷头17中，通过喷头17对清洗笼6内的芯片进行初步冲洗，同时向清洗槽2内加注清洗液，当清洗槽2内部的清洗液能够没过芯片时，启动驱动电机10，当驱动电机10转动，从而带动传动杆11和转轮12转动，从而控制拉绳8缠绕在凹槽13内，从而通过拉绳8拉动滑块4，使得滑块4在滑槽3的范围内向下运动，直至芯片完全浸没在清洗液中，通过清洗槽2内的清洗液对芯片进行浸泡清洗，清洗过后，方向启动驱动电机10，使得拉绳8从凹槽13中放出，通过弹簧7将清洗笼6拉出清洗槽2即可使用过的清洗液通过出水管18放回储液箱14中，通过过滤装置19，将使用过后的清洗液进行过滤，从而使得清洗液能够循环使用。
实施例二
请参阅图5，本实用新型提供一种技术方案与实施例一中技术方案的区别之处在于：所述支杆5的一端固定连接有振动机20，所述振动机20的振动端固定连接有清洗笼6。
通过在支杆5与清洗笼6之间增加振动机20，能够通过振动机20带动清洗笼6震动，从而使得芯片与清洗液之间发生充分的接触，从而使得芯片的清洗效果更好。
所述清洗笼6的内部设有毛刷21。
通过毛刷21能够在清洗笼6震动时对清洗笼6内部的芯片进行刷洗，从而使芯片的清洗效果更好。
对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (7)
1.一种具有循环清理功能的芯片加工清洗装置，包括固定架(1)，其特征在于：所述固定架(1)的内壁底部固定连接有清洗槽(2)，所述固定架(1)右侧壁开设有滑槽(3)，所述滑槽(3)的内部滑动连接有滑块(4)，所述滑块(4)的一端固定连接有支杆(5)，所述支杆(5)的一端固定连接有清洗笼(6)，所述滑块(4)的顶端固定连接有弹簧(7)，所述弹簧(7)的顶端与固定架(1)的内壁固定连接，所述滑块(4)的底端固定连接有拉绳(8)的一端，所述固定架(1)的外壁右侧固定连接有安装板(9)，所述安装板(9)的上表面固定连接有驱动电机(10)，所述驱动电机(10)的输出端固定连接有传动杆(11)，所述传动杆(11)贯穿固定架(1)的右侧壁且延伸至固定架(1)内部，所述传动杆(11)位于固定架(1)内部的侧壁固定套接有转轮(12)，所述转轮(12)的侧壁设有凹槽(13)，所述拉绳(8)的另一端与转轮(12)固定连接，所述拉绳(8)缠绕在凹槽(13)内部，所述固定架(1)的内壁底部固定连接有储液箱(14)，所述储液箱(14)的内部设有抽液泵(15)，所述抽液泵(15)的出水端固定连接有进水管(16)，所述进水管(16)贯穿储液箱(14)的侧壁且延伸至储液箱(14)外部，所述进水管(16)位于储液箱(14)外部的一端固定连接有喷头(17)，所述喷头(17)固定在固定架(1)的内壁顶部上，所述清洗槽(2)的侧壁固定插接有出水管(18)，所述出水管(18)的一端固定贯穿储液箱(14)的顶部，所述储液箱(14)的内部设有过滤装置(19)。
2.根据权利要求1所述的一种具有循环清理功能的芯片加工清洗装置，其特征在于：所述储液箱(14)包括桶体(141)和上盖(142)，所述桶体(141)与固定架(1)内壁底部固定连接，所述桶体(141)的顶部铰接有上盖(142)，所述桶体(141)与上盖(142)之间设有密封垫(143)，所述桶体(141)的前侧壁设有水位观察窗(144)，所述水位观察窗(144)上设有刻度线(145)，所述出水管(18)固定插接在上盖(142)上，所述上盖(142)的内壁设有凸棱(146)，所述过滤装置(19)位于凸棱(146)的上部，所述过滤装置(19)与凸棱(146)卡接连接。
3.根据权利要求1所述的一种具有循环清理功能的芯片加工清洗装置，其特征在于：所述喷头(17)具有雾化模式和高压水柱模式两种工作模式。
4.根据权利要求1所述的一种具有循环清理功能的芯片加工清洗装置，其特征在于：所述喷头(17)与清洗槽(2)的轴心位于同一竖直轴线上。
5.根据权利要求1所述的一种具有循环清理功能的芯片加工清洗装置，其特征在于：所述拉绳(8)为钢丝绳，所述拉绳(8)的直径为10mm-15mm。
6.根据权利要求1所述的一种具有循环清理功能的芯片加工清洗装置，其特征在于：所述支杆(5)的一端固定连接有振动机(20)，所述振动机(20)的振动端固定连接有清洗笼(6)。
7.根据权利要求1所述的一种具有循环清理功能的芯片加工清洗装置，其特征在于：所述清洗笼(6)的内部设有毛刷(21)。
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| CN201921378369.0U CN210523235U (zh) | 2019-08-23 | 2019-08-23 | 一种具有循环清理功能的芯片加工清洗装置 |
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| CN210523235U true CN210523235U (zh) | 2020-05-15 |
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112547603A (zh) * | 2020-11-13 | 2021-03-26 | 马鞍山锲恒精密组件科技有限公司 | 一种半导体晶圆表面清洗装置 |
| CN113118119A (zh) * | 2021-05-19 | 2021-07-16 | 湖北蓝华铝业有限公司 | 一种铝型材表面镜面化预处理装置 |
| CN113770113A (zh) * | 2021-09-10 | 2021-12-10 | 安徽富乐德科技发展股份有限公司 | 一种半导体清洗装置 |
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