CN210500884U - 一种硅片多线切割机的加厚切割辅助装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅片多线切割机的加厚切割辅助装置，多线切割机包括位于切割室内的工件台、对称布置在工件台两旁的槽轮以及安装槽轮的安装架，两个所述槽轮之间设置有用于调节布置在槽轮上的金刚线之间距离的加厚切割辅助装置，所述加厚切割辅助装置设置在两个所述槽轮及金刚线网的下方。本实用新型的加厚切割辅助装置结构简单，通过调线组件的过线轮对两金刚线之间距离调节，实现对硅块或硅棒加厚切割形成加厚硅片，提高多线切割的利用率，增加经济效益。

Description

一种硅片多线切割机的加厚切割辅助装置

技术领域

本实用新型涉及一种硅片多线切割机的加厚切割辅助装置，属于硅片加工技术领域。

背景技术

现有的硅片切割技术是采用金刚丝对硅块或硅棒进行切割，从而形成硅片。现有的多线切割机使用金刚线切割时，多线切割机的槽轮上均匀布置有许多线槽，使得落在线槽内的相邻的两金刚线之间等距，切割的硅片厚度均匀。然而，因切割的硅片薄，有时不能满足需求，而且一般的多线切割机不能加工生产加厚的硅片，这样就需要购置新的线切割机，同时原有多线切割机的利用率降低，使得生产成本提高。

实用新型内容

针对上述现有技术存在的问题，本实用新型提供一种硅片多线切割机的加厚切割辅助装置，能够实现对硅块或硅棒加厚切割，提高多线切割机利用率，增加经济效益。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：一种硅片多线切割机的加厚切割辅助装置，多线切割机包括位于切割室内的工件台、对称布置在工件台两旁的槽轮以及安装槽轮的安装架，两个所述槽轮之间设置有用于调节布置在槽轮上的金刚线之间距离的加厚切割辅助装置，所述加厚切割辅助装置设置在两个所述槽轮及金刚线网的下方。

优选地，所述加厚切割辅助装置包括两个沿槽轮的轴向布置的导轨、若干个能够沿导轨移动的调线组件、用于推动调线组件移动的伸缩组件以及用于固定导轨的固定支架，所述固定支架垂直安装在安装架的底座上，两个所述导轨垂直对称安装在固定支架的两端，若干个所述调线组件均匀对称布置在两个导轨内并与槽轮垂直设置，每个所述调线组件的底端穿过导轨与伸缩组件连接，每个所述调线组件的上端落在金刚线网内。

优选地，每个所述导轨呈“口”字型结构，每个所述导轨的两长内侧壁上对称布置有齿条。

优选地，所述调线组件包括活动安装在导轨内的导柱、活动安装在导柱上端的过线轮以及位于过线轮下端的固定轮，所述固定轮固定安装在导柱上，所述过线轮落在金刚线网内，所述导柱的下端设置有与齿条相啮合的齿轮，所述导柱的底端穿过导轨与伸缩组件固定连接，当调线组件安装在导轨内时，所述固定轮坐落在导轨上支撑过线轮，所述过线轮落在金刚线网内，所述导柱上的齿轮与齿条，通过伸缩组件推动导柱使齿轮沿齿条转动使过线轮移动。

优选地，所述伸缩组件包括活动架以及用于调节活动架伸缩的调节杆，所述活动架包括若干个第一连杆和若干个第二连杆，所述第一连杆的中间位置与第二连杆的中间位置活动连接，所述第一连杆与第二连杆在连接部位形成第一活动节点，任意第一连杆的端部与相邻第二连杆的端部活动连接，一个第一连杆与另一个第二连杆的连接部位形成第二活动节点、在一个第二连杆与另一个第一连杆的连接部位形成第三活动节点，所述活动架在第一活动节点处与调节杆活动连接，所述活动架在第一活动节点处与导柱的底端固定连接，通过转动调节杆调节活动架伸缩，即调节第一活动节点到第二活动节点、第三活动节点的距离。

优选地，所述导轨的上表面还对称布置有导槽，所述固定轮的下端面中心对称布置有与导槽相匹配的滑杆，所述滑杆插入导槽内，进一步提高调线组件在导轨内的稳固性。

本实用新型的有益效果：本实用新型的加厚切割辅助装置结构简单，通过调线组件的过线轮对两金刚线之间距离调节，实现对硅块或硅棒加厚切割形成加厚硅片，提高多线切割的利用率，增加经济效益；调线组件通过伸缩组件实现在导轮内的移动，不需要拆卸加厚切割辅助装置来调节调线组件之间的距离，省时省力，提高多线切割的利用率，提高工作效率；伸缩组件在工作过程中始终能提供等距工位，通过手动转动调节杆实现伸缩组件的展开收缩，从而调线组件实现对两金刚线之间距离的调节。

附图说明

图1为本实用新型的加厚切割辅助装置与多线切割机相关部件位置关系示意图；

图2为本实用新型的加厚切割辅助装置的结构示意图；

图3为本实用新型的导轨的结构示意图及A处俯视放大图；

图4为本实用新型的调线组件的结构示意图；

图5为本实用新型的伸缩组件的结构示意图。

图中：1、工件台，2、槽轮，3、加厚切割辅助装置，4、金刚线网，5、安装架，31、导轨，311、齿条，32、调线组件，321、导柱，322、过线轮，323、固定轮，324、齿轮，33、伸缩组件，331、活动架，332、调节杆，333、第一连杆，334、第二连杆，335、第一活动节点，336、第二活动节点，337、第三活动节点，34、固定支架。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型实施中的技术方案进行清楚，完整的描述，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1至图5所示，本实用新型实施例提供的一种硅片多线切割机的加厚切割辅助装置，多线切割机包括位于切割室内的工件台1、对称布置在工件台1两旁的槽轮2以及安装槽轮2的安装架5，两个所述槽轮2之间设置有用于调节布置在槽轮2上的金刚线之间距离的加厚切割辅助装置3，所述加厚切割辅助装置3设置在两个所述槽轮2及金刚线网4的下方。

如图2所示，在本实用新型中，所述加厚切割辅助装置3包括两个沿槽轮2的轴向布置的导轨31、若干个能够沿导轨31移动的调线组件32、用于推动调线组件移动的伸缩组件33以及用于固定导轨31的固定支架34，所述固定支架34垂直安装在安装架5的底座上，两个所述导轨31垂直对称安装在固定支架34的两端，若干个所述调线组件32均匀对称布置在两个导轨31内并与槽轮2垂直设置，每个所述调线组件32的底端穿过导轨31与伸缩组件33连接，每个所述调线组件32的上端落在金刚线网4内，从而使所述调线组件32在调金刚线之间的距离时金刚线能够垂直槽轮2，保证对硅块或硅棒切割的切割面平整、无坡度。

如图3所示，在本实用新型中，每个所述导轨31呈“口”字型结构，每个所述导轨31的两长内侧壁上对称布置有齿条311。

如图4所示，在本实用新型中，所述调线组件32包括活动安装在导轨31内的导柱321、活动安装在导柱321上端的过线轮322以及位于过线轮322下端的固定轮323，所述固定轮323固定安装在导柱321上，所述过线轮322落在金刚线网4内，所述导柱321的下端设置有与齿条311相啮合的齿轮324，所述导柱321的底端穿过导轨31与伸缩组件33固定连接，当调线组件32安装在导轨31内时，所述固定轮323坐落在导轨31上支撑过线轮322，所述过线轮322落在金刚线网4内，所述导柱321上的齿轮324与齿条311，通过伸缩组件33推动导柱321使齿轮324沿齿条转动使过线轮322移动。

如图5所示，在本实用新型中，所述伸缩组件33包括活动架331以及用于调节活动架331伸缩的调节杆332，所述活动架331包括若干个第一连杆333和若干个第二连杆334，所述第一连杆333的中间位置与第二连杆334的中间位置活动连接，所述第一连杆333与第二连杆334在连接部位形成第一活动节点335，任意第一连杆333的端部与相邻第二连杆334的端部活动连接，一个第一连杆333与另一个第二连杆334的连接部位形成第二活动节点336、在一个第二连杆334与另一个第一连杆333的连接部位形成第三活动节点337，所述活动架331在第一活动节点335处与调节杆332活动连接，所述活动架331在第一活动节点335处与导柱321的底端固定连接，通过转动调节杆332调节活动架331伸缩，即调节第一活动节点335到第二活动节点336、第三活动节点337的距离，从而所述伸缩组件33调控调线组件32的过线轮322之间的距离，更加便于对两金刚线之间的距离进行调节，不需要拆卸加厚切割辅助装置再调节调线组件之间的距离，省时省力，提高多线切割的利用率，提高工作效率。

如图3所示，在本实用新型中，所述导轨31的上表面还对称布置有导槽，所述固定轮323的下端面中心对称布置有与导槽相匹配的滑杆，所述滑杆插入导槽内，进一步提高调线组件32在导轨31内的稳固性。

使用时：调线组件32的过线轮322落在金刚线网4内，将一根金刚线与过线轮322接触，两个对称的过线轮322使一根金刚线底部的一段与槽轮垂直，对称调节两个伸缩组件33，通过转动伸缩组件33上的调节杆332使得活动架331展开，使得第一活动节点335到第二活动节点336、第三活动节点337的距离增大，即相邻两个第一活动节点335的距离增大，通过伸缩组件33的展开推动调线组件32沿导轨31移动，调线组件32的过线轮322将这根金刚线底部一端送到另一线槽内，随着槽轮2的转动，过线轮322将这根金刚线完全被调整到槽轮2的另一线槽内，然后槽轮2上出现空槽的现象，金刚线之间的距离增大，从而实现对硅块或硅棒进行加厚切割形成加厚硅片，满足需求，省时省力，提高工作效率，提高多线切割机的利用率，增加经济效益。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神和基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (6)

1.一种硅片多线切割机的加厚切割辅助装置，多线切割机包括位于切割室内的工件台(1)、对称布置在工件台(1)两旁的槽轮(2)以及安装槽轮(2)的安装架(5)，其特征在于，两个所述槽轮(2)之间设置有用于调节布置在槽轮(2)上的金刚线之间距离的加厚切割辅助装置(3)，所述加厚切割辅助装置(3)设置在两个所述槽轮(2)及金刚线网(4)的下方。

2.根据权利要求1所述的一种硅片多线切割机的加厚切割辅助装置，其特征在于，所述加厚切割辅助装置(3)包括两个沿槽轮(2)的轴向布置的导轨(31)、若干个能够沿导轨(31)移动的调线组件(32)、用于推动调线组件移动的伸缩组件(33)以及用于固定导轨(31)的固定支架(34)，所述固定支架(34)垂直安装在安装架(5)的底座上，两个所述导轨(31)垂直对称安装在固定支架(34)的两端，若干个所述调线组件(32)均匀对称布置在两个导轨(31)内并与槽轮(2)垂直设置，每个所述调线组件(32)的底端穿过导轨(31)与伸缩组件(33)连接，每个所述调线组件(32)的上端落在金刚线网(4)内。

3.根据权利要求2所述的一种硅片多线切割机的加厚切割辅助装置，其特征在于，每个所述导轨(31)呈“口”字型结构，每个所述导轨(31)的两长内侧壁上对称布置有齿条(311)。

4.根据权利要求3所述的一种硅片多线切割机的加厚切割辅助装置，其特征在于，所述调线组件(32)包括活动安装在导轨(31)内的导柱(321)、活动安装在导柱(321)上端的过线轮(322)以及位于过线轮(322)下端的固定轮(323)，所述固定轮(323)固定安装在导柱(321)上，所述过线轮(322)落在金刚线网(4)内，所述导柱(321)的下端设置有与齿条(311)相啮合的齿轮(324)，所述导柱(321)的底端穿过导轨(31)与伸缩组件(33)固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种硅片多线切割机的加厚切割辅助装置，其特征在于，所述伸缩组件(33)包括活动架(331)以及用于调节活动架(331)伸缩的调节杆(332)，所述活动架(331)包括若干个第一连杆(333)和若干个第二连杆(334)，所述第一连杆(333)的中间位置与第二连杆(334)的中间位置活动连接，所述第一连杆(333)与第二连杆(334)在连接部位形成第一活动节点(335)，任意第一连杆(333)的端部与相邻第二连杆(334)的端部活动连接，一个第一连杆(333)与另一个第二连杆(334)的连接部位形成第二活动节点(336)、在一个第二连杆(334)与另一个第一连杆(333)的连接部位形成第三活动节点(337)，所述活动架(331)在第一活动节点(335)处与调节杆(332)活动连接，所述活动架(331)在第一活动节点(335)处与导柱(321)的底端固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种硅片多线切割机的加厚切割辅助装置，其特征在于，所述导轨(31)的上表面还对称布置有导槽，所述固定轮(323)的下端面中心对称布置有与导槽(312)相匹配的滑杆。

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