CN210487145U - 一种具有弹性膜片的单晶硅压力传感器 - Google Patents
一种具有弹性膜片的单晶硅压力传感器 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型公开了一种具有弹性膜片的单晶硅压力传感器，包括单压基座、中心膜片、芯体部件、隔离膜片，其特征在于：所述中心膜片为弹性膜片；所述隔离膜片、弹性膜片通过焊接方式实现与单压基座的连接；所述弹性膜片通过焊接方式实现与芯体部件的连接；所述弹性膜片包括合金钢膜片。本实用新型具有如下优点：①受到瞬时压力时，可以保护单晶硅压力传感器中的芯片不受损伤，增强单晶硅压力传感器的抗冲击性能；②本产品具有结构简单、安装方便、成本低廉等优点。
Description
技术领域
本实用新型涉及敏感元器件技术领域，具体为一种具有弹性膜片的单晶硅压力传感器。
背景技术
现有单晶硅压力传感器，通常包括单压基座，中心膜片，芯体部件、隔离膜片等，所述中心膜片和隔离膜片均为非弹性膜片，上述产品在受到较大冲击力时，会造成芯体部件中芯片的损伤，进而影响压力传感器的性能。针对上述问题，我公司开发了一种具有弹性膜片的单晶硅压力传感器。
发明内容
针对现有技术中存在的上述缺点，本实用新型旨在提出具有弹性膜片的单晶硅压力传感器；压力传感器中的中心膜片为弹性膜片，所述隔离膜片、弹性膜片通过焊接方式实现与单压基座的连接，所述弹性膜片通过焊接方式实现与芯体部件的连接。当传感器受到瞬时压力时，弹性膜片向压力方向一侧移动，从而使隔离膜片与单压基座中的硅油进入弹性膜片与单压基座中的腔室，使得更高的压力无法向单晶硅芯片传递，保护单晶硅压力传感器中的芯片不受损伤，增强单晶硅压力传感器的抗冲击性能。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种具有弹性膜片的单晶硅压力传感器，包括单压基座、中心膜片、芯体部件、隔离膜片，其特征在于：所述中心膜片为弹性膜片。
作为优选，所述隔离膜片、弹性膜片通过焊接方式实现与单压基座的连接。
作为优选，所述弹性膜片通过焊接方式实现与芯体部件的连接。
作为优选，所述弹性膜片包括合金钢膜片。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：①受到瞬时压力时，可以保护单晶硅压力传感器中的芯片不受损伤，增强单晶硅压力传感器的抗冲击性能；②本产品具有结构简单、安装方便、成本低廉等优点。
附图说明
图1为本实用新型提出一种具有弹性膜片的单晶硅压力传感器。
图中：1-单压基座、2-中心膜片、3-芯体部件、4-隔离膜片、5-弹性膜片。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
一种具有弹性膜片的单晶硅压力传感器，包括单压基座(1)、中心膜片(2)、芯体部件(3)、隔离膜片(4)，其特征在于：所述中心膜片(2)为弹性膜片(5)。
所述隔离膜片(4)、弹性膜片(5)通过焊接方式实现与单压基座(1)的连接。
所述弹性膜片(5)通过焊接方式实现与芯体部件(3)的连接。
所述弹性膜片(5)包括合金钢膜片。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (2)
1.一种具有弹性膜片的单晶硅压力传感器，包括单压基座(1)、中心膜片(2)、芯体部件(3)、隔离膜片(4)，其特征在于，所述中心膜片(2)为弹性膜片(5)，所述弹性膜片(5)通过焊接方式实现与芯体部件(3)的连接，所述弹性膜片(5)包括合金钢膜片。
2.根据权利要求1所述的具有弹性膜片的单晶硅压力传感器，其特征在于，所述隔离膜片(4)、弹性膜片(5)通过焊接方式实现与单压基座(1)的连接。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201921011418.7U CN210487145U (zh) | 2019-06-28 | 2019-06-28 | 一种具有弹性膜片的单晶硅压力传感器 |
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| CN210487145U true CN210487145U (zh) | 2020-05-08 |
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| CN201921011418.7U Active CN210487145U (zh) | 2019-06-28 | 2019-06-28 | 一种具有弹性膜片的单晶硅压力传感器 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN210487145U (zh) |
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2019
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