CN210480945U - 用于电子超纯水的氮封系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种用于电子超纯水的氮封系统，属于超纯水氮封装技术领域。包含有一纯水产水装置、一氮封水箱、一氮气气源、一外供管路，其上设置有至少一个外供泵、一比例调节阀、一PLC控制系统。该氮封系统用于EDI系统制取的超纯水的封存，通过设置比例调节阀的开度与外供泵的流量联锁控制，可根据外供泵的流量大小，控制比例调节阀的开度，调节进入氮封水箱的通道，最终达到一个氮封水箱液位恒定的目的，达到节省高纯氮气的目的。
Description
技术领域
本实用新型属于超纯水氮封装技术领域，具体涉及一种用于电子超纯水的氮封系统。
背景技术
在全球范围内，新材料不断研发和进步，对水的需求越来越高，同时，水资源日趋匮乏也是企业所面临的现状，因此，水技术市场的发展前景是无可限量的。
纯水和超纯水的生产便是其中非常重要的组成部分。在电子半导体行业的生产工序中需要用到大量的超纯水进行冲洗，EDI系统制取出的超纯水需要进行封存，不能与空气接触，否则空气中的CO2、O2和杂质会因接触水体而影响水质。
授权公告号为CN206014478U的中国实用新型专利公开了一种纯水系统的氮气节能装置，包括纯水箱，氮气进气管及补水管，所述纯水箱还通过水箱溢流管与水封桶的水箱连接管相连，还设置有进水阀和液位计，其通过液位传感器与纯水箱外部的液位控制器相连接，达到节约氮气消耗量的目的；授权公告号为CN206014478U的中国实用新型专利公开了一种氮封水箱，通过在纯水水箱中设置的氮封阀等氮封系统，使水箱内氮气的气相空间压力维持在2.5KPa左右，当气相空间压力高于2.5KPa时，氮封阀关闭，停止氮气供应；当气相空间压力低于2.5KPa时，氮封阀开启，开始补充氮气，保证水箱在正常运行过程中不吸进空气，防止空气中的尘埃、CO2等污染物进入DI水(去离子水)中形成二次污染；授权公告号为CN207275435U的中国实用新型专利公开了一种纯水系统的氮气节能装置，采用空气减压阀、电磁阀的设置，通过微调压力表，用来检测氮封水箱中的氮气压力，根据氮封水箱氮气压力控制，调节氮气输出。
实用新型内容
针对上述问题，本实用新型提供一种用于电子超纯水的氮封系统，用于EDI系统制取的超纯水的封存，通过设置比例调节阀的开度与外供泵的流量联锁控制，可根据外供泵的流量大小，控制比例调节阀的开度，调节进入氮封水箱的通道，最终达到一个氮封水箱液位恒定的目的，达到节省高纯氮气的目的。
本实用新型解决上述问题的技术方案如下：
用于电子超纯水的氮封系统，包含有：
一纯水产水装置，用于制造纯净水；
一氮封水箱，用于承接、存放所述纯水产水装置所制造的纯净水；
一氮气气源，用于提供所述氮封水箱实现氮封所需的氮气；
一外供管路，其上设置有至少一个外供泵，用于将所述氮封水箱内的纯净水向外输送；
一比例调节阀，设置于所述纯水产水装置与所述氮封水箱相连通的管路上，所述比例调节阀还与副容器相连通；
一PLC控制系统，其将所述比例调节阀流通向所述氮封水箱的阀门开度输出值与所述外供泵的流量输出值相联锁。
所述比例调节阀流通向所述氮封水箱的阀门开度输出值与所述外供泵的流量输出值通过控制器相联锁，所述控制器可以为单片机，其一个控制端与所述比例调节阀相连，另一个控制端与所述外供泵相连，当所述外供泵的流量增大时，所述比例调节阀流通向所述氮封水箱的阀门开度增大（流向副容器的流量减小），当所述外供泵的流量减小时，所述比例调节阀流通向所述氮封水箱的阀门开度减小（流向副容器的流量增大）。
作为上述技术方案的优选，所述氮封水箱上设置有一液位计，所述液位计通过设置于所述氮封水箱内的液位传感器输出液位数据。
作为上述技术方案的优选，所述PLC控制系统将所述比例调节阀流通向所述氮封水箱的阀门开度输出值与所述液位传感器输出液位数据相联锁。
所述比例调节阀流通向所述氮封水箱的阀门开度输出值与所述液位传感器输出液位数据通过控制器相联锁，所述控制器可以为单片机，其一个控制端与所述比例调节阀相连，另一个控制端与所述液位传感器相连，当所述液位传感器输出液位数据升高时，所述比例调节阀流通向所述氮封水箱的阀门开度增大（流向副容器的流量减小），当所述液位传感器输出液位数据降低时，所述比例调节阀流通向所述氮封水箱的阀门开度减小（流向副容器的流量增大）。
作为上述技术方案的优选，所述氮气气源与所述氮封水箱相连通的管路上依次设置有减压阀和氮封阀。
作为上述技术方案的优选，所述比例调节阀为一个三通阀，分别与所述纯水产水装置、所述氮封水箱和所述副容器相连通。
作为上述技术方案的优选，所述纯水产水装置为EDI产水装置。
作为上述技术方案的优选，所述副容器为一级反渗透产水箱。
作为上述技术方案的优选，所述氮封水箱的上部设置有水封管路，所述水封管路的出口与水封箱相连通。
作为上述技术方案的优选，所述氮封水箱的顶部设置有呼吸阀。
作为上述技术方案的优选，所述氮封水箱的底部设置有排放管路，所述排放管路连通有排放水箱。
综上所述，本实用新型具有以下有益效果：
本申请提供一种用于电子超纯水的氮封系统，用于EDI系统制取的超纯水的封存，通过设置比例调节阀的开度与外供泵的流量联锁控制，可根据外供泵的流量大小，控制比例调节阀的开度，调节进入氮封水箱的通道，最终达到一个氮封水箱液位恒定的目的，达到节省高纯氮气的目的。
附图说明
图1为超纯水的氮封系统示意图；
图中，1-纯水产水装置、2-氮封水箱、2-1-液位计、2-2-水封管路、2-3-呼吸阀、2-4-排放管路、3-氮气气源、4-外供管路、4-1-外供泵、5-比例调节阀、6-副容器、7-PLC控制系统。
具体实施方式
下面将对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
下面结合附图以实施例对本实用新型进行详细说明。
实施例1：参考图1，一种氮封系统，用于EDI产水的氮封，其包含有：
一EDI产水装置，用于制造超纯水；
一氮封水箱2，用于承接和存放上述超纯水，氮封水箱2的顶部设置有呼吸阀2-3、上部设置有水封管路2-2、底部设置有排放管路2-4，水封管路2-2的出口与水封箱相连通、排放管路2-4连通有排放水箱；
一氮气瓶，用于提供氮封水箱2实现氮封所需的氮气，氮气瓶与氮封水箱2相连通的管路上依次设置有减压阀和氮封阀；
一外供管路4，其上并联的设置有两个外供泵4-1，用于将氮封水箱2内的纯净水向外输送；
一比例调节三通阀，设置于EDI产水装置与氮封水箱2相连通的管路上，比例调节三通阀分别与EDI产水装置、氮封水箱2和一级反渗透产水箱相连通；
一PLC控制系统7，其将比例调节阀5流通向氮封水箱2的阀门开度输出值与所述外供泵4-1的流量输出值相联锁。
比例调节阀流通向氮封水箱的阀门开度输出值与外供泵的流量输出值通过控制器相联锁，所述控制器为单片机，其一个控制端与比例调节阀相连，另一个控制端与外供泵相连，当外供泵的流量增大时，比例调节阀流通向所述氮封水箱的阀门开度增大（流向一级反渗透产水箱的流量减小），当所述外供泵的流量减小时，所述比例调节阀流通向所述氮封水箱的阀门开度减小（流向一级反渗透产水箱的流量增大），相较于一般的氮封装置，氮封水箱液位范围波动在0.05m以内，氮气节省量可达到之前氮气使用量的90%。
实施例2：参考图1，一种氮封系统，与实施例1的不同之处在于：氮封水箱2上还设置有一液位计2-1，液位计2-1通过设置于所述氮封水箱2内的液位传感器输出液位数据。
所述PLC控制系统7将所述比例调节阀5流通向所述氮封水箱2的阀门开度输出值与所述液位传感器输出液位数据相联锁。
所述比例调节阀流通向所述氮封水箱的阀门开度输出值与所述液位传感器输出液位数据通过控制器相联锁，所述控制器可以为单片机，其一个控制端与所述比例调节阀相连，另一个控制端与所述液位传感器相连，当所述液位传感器输出液位数据升高时，所述比例调节阀流通向所述氮封水箱的阀门开度增大（流向一级反渗透产水箱的流量减小），当所述液位传感器输出液位数据降低时，所述比例调节阀流通向所述氮封水箱的阀门开度减小（流向一级反渗透产水箱的流量增大）。
Claims (10)
1.用于电子超纯水的氮封系统，其特征在于，包含有：
一纯水产水装置（1），用于制造纯净水；
一氮封水箱（2），用于承接、存放所述纯水产水装置（1）所制造的纯净水；
一氮气气源（3），用于提供所述氮封水箱（2）实现氮封所需的氮气；
一外供管路（4），其上设置有至少一个外供泵（4-1），用于将所述氮封水箱（2）内的纯净水向外输送；
一比例调节阀（5），设置于所述纯水产水装置（1）与所述氮封水箱（2）相连通的管路上，所述比例调节阀（5）还与副容器（6）相连通；
一PLC控制系统（7），其将所述比例调节阀（5）流通向所述氮封水箱（2）的阀门开度输出值与所述外供泵（4-1）的流量输出值相联锁。
2.根据权利要求1所述的用于电子超纯水的氮封系统，其特征在于：所述氮封水箱（2）上设置有一液位计（2-1），所述液位计（2-1）通过设置于所述氮封水箱（2）内的液位传感器输出液位数据。
3.根据权利要求2所述的用于电子超纯水的氮封系统，其特征在于：所述PLC控制系统（7）将所述比例调节阀（5）流通向所述氮封水箱（2）的阀门开度输出值与所述液位传感器输出液位数据相联锁。
4.根据权利要求1所述的用于电子超纯水的氮封系统，其特征在于：所述氮气气源（3）与所述氮封水箱（2）相连通的管路上依次设置有减压阀和氮封阀。
5.根据权利要求1所述的用于电子超纯水的氮封系统，其特征在于：所述比例调节阀（5）为一个三通阀，分别与所述纯水产水装置（1）、所述氮封水箱（2）和所述副容器（6）相连通。
6.根据权利要求1所述的用于电子超纯水的氮封系统，其特征在于：所述纯水产水装置（1）为EDI产水装置。
7.根据权利要求1所述的用于电子超纯水的氮封系统，其特征在于：所述副容器（6）为一级反渗透产水箱。
8.根据权利要求1所述的用于电子超纯水的氮封系统，其特征在于：所述氮封水箱（2）的上部设置有水封管路（2-2），所述水封管路（2-2）的出口与水封箱相连通。
9.根据权利要求1所述的用于电子超纯水的氮封系统，其特征在于：所述氮封水箱（2）的顶部设置有呼吸阀（2-3）。
10.根据权利要求1所述的用于电子超纯水的氮封系统，其特征在于：所述氮封水箱（2）的底部设置有排放管路（2-4），所述排放管路（2-4）连通有排放水箱。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921098212.2U CN210480945U (zh) | 2019-07-15 | 2019-07-15 | 用于电子超纯水的氮封系统 |
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| CN201921098212.2U CN210480945U (zh) | 2019-07-15 | 2019-07-15 | 用于电子超纯水的氮封系统 |
Publications (1)
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| CN210480945U true CN210480945U (zh) | 2020-05-08 |
Family
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| CN201921098212.2U Active CN210480945U (zh) | 2019-07-15 | 2019-07-15 | 用于电子超纯水的氮封系统 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN210480945U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111672327A (zh) * | 2020-07-16 | 2020-09-18 | 上海核工程研究设计院有限公司 | 一种蒸汽发生器排污电离除盐膜堆性能的试验系统及方法 |
| CN112278152A (zh) * | 2020-10-20 | 2021-01-29 | 中国船舶工业集团公司第七0八研究所 | 一种船用高纯水储存装置 |
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2019
- 2019-07-15 CN CN201921098212.2U patent/CN210480945U/zh active Active
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