CN206017139U - 抽真空系统 - Google Patents

Abstract

公开了一种抽真空系统。所述抽真空系统包括：储液箱、液环真空泵、以及加液系统，其中，所述液环真空泵包括工作液入口和工作液出口，所述工作液入口和所述工作液出口分别与所述储液箱连接，所述加液系统设置在所述储液箱上，用于向所述储液箱内加入工作液。根据本实用新型的抽真空系统，通过设置储液箱并将所述液环真空泵的工作液入口和工作液出口分别与所述储液箱连接而实现工作液的循环，从而达到节约工作液的目的，并且避免了液环真空泵直接连接工作液管道时受到的管网压力的影响，使得其提供的真空度更加稳定。

Description

抽真空系统

技术领域

本实用新型涉及抽真空领域，更具体地，涉及一种抽真空系统。

背景技术

在工业生产过程中，水环真空泵具有广泛的用途。例如在半导体器件制造过程的后道工艺中，有一项工艺是硅片减薄，一般采用一种减薄机来进行物理减薄。在减薄机减薄过程中，需要给减薄机提供真空使硅片吸附在工件盘上，达到固定的目的。目前，减薄机都采用水环式真空泵，主要是以水为工作液，在叶轮的旋转过程中，将水抛向四周，水在离心力的作用下，形成一个封闭环腔体，随着环腔体容积的变化完成吸气、压缩和排气，由此完成抽真空的过程。因此，在这种水环真空泵工作过程中，需要持续输入自来水，随着生产时间的推移，真空泵产生的水耗量也持续走高，从而造成水资源的浪费，且容易受自来水管网压力的影响造成真空度不稳，对半导体器件减薄质量造成影响，硅片减薄裂纹率走高。

实用新型内容

鉴于上述问题，本实用新型的目的在于提供一种抽真空系统，该抽真空系统更节省工作液的使用量，并且其提供的真空度更稳定。

根据本实用新型提供的一种抽真空系统，包括：

储液箱；

液环真空泵，包括工作液入口和工作液出口，所述工作液入口和所述工作液出口分别与所述储液箱连接；以及

加液系统，所述加液系统设置在所述储液箱上，用于向所述储液箱内加入工作液。

优选地，所述加液系统包括：

加液管道，所述加液管道一端与所述储液箱连接，另一端与工作液源连接；

第一阀门，所述第一阀门位于所述加液管道上。

优选地，所述加液系统还包括：

温度检测装置，所述温度检测装置设置在所述储液箱内，用于检测所述工作液的温度。

优选地，所述温度检测装置为温度传感器。

优选地，所述第一阀门为电磁阀，

所述加液系统还包括：

控制器，

其中，所述温度传感器、所述电磁阀都与所述控制器信号连接，所述控制器根据所述温度传感器的反馈控制所述电磁阀的开关。

优选地，所述加液系统还包括：

第一液位传感器和第二液位传感器，所述第一液位传感器、所述第二液位传感器分别设置在所述储液箱内的不同预定位置上，并且都与所述控制器信号连接，所述控制器还根据所述第一液位传感器和/或所述第二液位传感器的反馈控制所述电磁阀的开关。

优选地，所述加液系统包括向所述储液箱加液的第一状态和停止向所述储液箱加液的第二状态，

所述温度传感器检测到所述储液箱内的所述工作液的温度达到所述控制器设有的预定温度值，和/或所述储液箱内的所述工作液的液位低于所述第二液位传感器，则所述控制器控制所述电磁阀处于打开状态，所述加液系统处于所述第一状态；

所述温度传感器检测到所述储液箱内的所述工作液的温度未达到所述控制器设有的所述预定温度值，且所述第一液位传感器检测到所述储液箱内的所述工作液的液位，则所述控制器控制所述电磁阀处于关闭状态，所述加液系统处于所述第二状态。

优选地，所述抽真空系统还包括：

排液管道，所述排液管道连接于所述储液箱底部；

第二阀门，所述第二阀门位于所述排液管道上。

优选地，所述抽真空系统还包括：

溢流口，所述溢流口设置在所述储液箱侧壁的预定高度上；

溢流管道，所述溢流管道一端与所述溢流口连接，另一端连接于所述排液管道上所述第二阀门的下游。

优选地，所述液环真空泵为水环真空泵，所述工作液为自来水。

优选地，所述抽真空系统还包括：

待抽真空的减薄机，

所述液环真空泵还包括抽气口，所述抽气口与所述减薄机连接。

根据本实用新型的抽真空系统，通过设置储液箱并将所述液环真空泵的工作液入口和工作液出口分别与所述储液箱连接而实现工作液的循环，从而达到节约工作液的目的，并且避免了液环真空泵直接连接工作液管道时受到的管网压力的影响，使得其提供的真空度更加稳定。所述控制器根据所述温度传感器、所述第一液位传感器以及所述第二液位传感器的反馈控制所述加液管道上的所述电磁阀的开关进而控制是否向所述储液箱内加入工作液，从而实现自动加入工作液、自动补充工作液、自动检测工作液温度等功能。

附图说明

通过以下参照附图对本实用新型实施例的描述，本实用新型的上述以及其他目的、特征和优点将更为清楚，在附图中：

图1示出根据本实用新型具体实施例的抽真空系统的流程示意图。

具体实施方式

以下将参照附图更详细地描述本实用新型。为了清楚起见，附图中的各个部分没有按比例绘制。此外，可能未示出某些公知的部分。在下文中描述了本实用新型的许多特定的细节，但正如本领域的技术人员能够理解的那样，可以不按照这些特定的细节来实现本实用新型。

本实用新型提供了一种抽真空系统，其包括：储液箱、液环真空泵、以及加液系统，其中，所述液环真空泵包括工作液入口和工作液出口，所述工作液入口和所述工作液出口分别与所述储液箱连接，所述加液系统设置在所述储液箱上，用于向所述储液箱内加入工作液。根据本实用新型的抽真空系统，通过设置储液箱并将所述液环真空泵的工作液入口和工作液出口分别与所述储液箱连接而实现工作液的循环，从而达到节约工作液的目的，并且避免了液环真空泵直接连接工作液管道时受到的管网压力的影响，使得其提供的真空度更加稳定。

下面结合附图1具体说明本实用新型的抽真空系统的实施例，图中为了清楚示出结构关系及原理，未按比例绘制。

图1示出根据本实用新型具体实施例的抽真空系统的流程示意图。本实施例中的抽真空系统包括：储液箱110，其内部储有工作液116，所述储液箱110包括储液箱出口111、储液箱入口112，所述储液箱出口111用于输出工作液116；液环真空泵120，所述液环真空泵120包括工作液入口121、工作液出口122，所述工作液入口121通过管道与所述储液箱110的所述储液箱出口111连接，所述工作液出口122通过另一管道与所述储液箱110的所述储液箱入口112连接，使得所述储液箱110内的所述工作液116可以通过所述储液箱出口111以及所述工作液入口121进入所述液环真空泵120参与工作，同时所述液环真空泵120内气液混合相的工作液116又通过所述工作液出口122以及所述储液箱入口112回流到所述储液箱110中，形成所述工作液116在所述储液箱110与所述液环真空泵120之间循环。本实施例中的抽真空系统还包括加液系统，所述加液系统设置在所述储液箱110上，用于向所述储液箱110内加入及补充工作液116。

本实施例中，所述加液系统包括：加液管道130、第一阀门131，其中，所述储液箱110还包括加液口113，所述加液管道130的一端与所述储液,110的所述加液口113连接，另一端与工作液源连接，使得所述工作液116可以从所述工作液源通过所述加液管道130进入所述储液箱110中。所述第一阀门131位于所述加液管道130上，所述第一阀门131可以是手动、电动、液动、气动等任意公知的流体管道上的阀门，通过控制所述第一阀门131的开关从而控制是否向所述储液箱110内加入或补充工作液116。

所述加液系统还可以包括：温度检测装置140，所述温度检测装置140设置在所述储液箱110内，与所述工作液116接触，用于检测所述工作液116的温度，从而可以根据所述温度检测装置140检测到的所述工作液116的温度来确实是否需要向所述储液箱110内加工作液116，进而根据需要来控制所述第一阀门131的开关。

进一步地，所述温度检测装置140可以是温度传感器140，如图1，所述温度传感器140悬空设置在所述储液箱110内，与所述储液箱110的底部通过连接件固定。所述第一阀门131可以是电磁阀131，所述加液系统还可以包括：控制器160，所述温度传感器140、所述电磁阀131都与所述控制器160信号连接，图1中，信号连接通过虚线示出，所述控制器160可以根据所述温度传感器140的反馈控制所述电磁阀131的开关，例如，对控制器160设定一个预定温度值，如50摄氏度，当温度传感器140检测到的所述储液箱110内的工作液温度低于所述预定温度值即低于50摄氏度时，所述加液管道130上的所述电磁阀131为关闭状态，工作液116在所述储液箱110与所述液环真空泵120之间循环时，其温度会升高，当温度传感器140检测到所述储液箱110内的工作液116的温度达到所述预定温度值即50摄氏度时，所述温度传感器140将这一信号反馈到所述控制器160，所述控制器160根据反馈的信号控制所述加液管道130上的所述电磁阀131的状态，将所述电磁阀131打开，所述加液管道130内的工作液通过所述加液口113进入所述储液箱110中，从而通过补充工作液116的方式降低所述储液箱110内的所述工作液116的温度。上述向所述储液箱110内补充工作液116的过程通过所述温度传感器140、所述电磁阀131与所述控制器160之间的信号连接实现了自动补液的过程，无需一直有人看守，使得所述抽真空系统工作更可靠。

再进一步地，所述加液系统还可以包括：第一液位传感器151和第二液位传感器152，所述第一液位传感器151、所述第二液位传感器152分别设置在所述储液箱110内的不同预定位置上，如图1，所述第一液位传感器151和所述第二液位传感器152都设置在所述储液箱110的侧壁上，所述第一液位传感器151的位置高于所述第二液位传感器152的位置，所述第一液位传感器151、所述第二液位传感器152都与所述控制器160信号连接，图中信号连接以虚线示出，所述控制器160还根据所述第一液位传感器151和/或所述第二液位传感器152的反馈控制所述电磁阀131的开关，当所述储液箱110内的所述工作液116的液位低于所述第二液位传感器152时，所述第二液位传感器152将这一信号反馈到所述控制器160，所述控制器160控制所述加液管道130上的所述电磁阀131，将所述电磁阀131打开，使得所述加液管道130内的工作液116进入所述储液箱110中，在加液过程中，所述储液箱110内的所述工作液116的液位不断上升，当所述第一液位传感器151检测到所述工作液116的液位时，将这一信号反馈到所述控制器160，所述控制器160根据反馈的信号控制所述电磁阀131关闭，从而停止向所述储液箱110内加工作液116。当所述第一液位传感器151检测到所述工作液116的液位的同时，所述温度传感器140检测到所述储液箱110内的工作液116的温度达到所述预定温度值，所述控制器160控制所述电磁阀131仍然处于打开状态，所述加液管道130内的工作液116继续进入所述储液箱110中进行补液。

本实施例中，所述加液系统包括两种状态，即向所述储液箱110加液的第一状态和停止向所述储液箱加液110的第二状态。其中，所述温度传感器140检测到所述储液箱110内的所述工作液116的温度达到所述控制器160设有的所述预定温度值，和/或所述储液箱110内的所述工作液116的液位低于所述第二液位传感器152，则所述控制器160控制所述电磁阀131处于打开状态，所述加液系统处于所述第一状态；所述温度传感器140检测到所述储液箱110内的所述工作液116的温度未达到所述控制器160设有的所述预定温度值，且所述第一液位传感器151检测到所述储液箱110内的所述工作液116的液位，则所述控制器160控制所述电磁阀131处于关闭状态，所述加液系统处于所述第二状态。通过所述第一液位传感器151、所述第二液位传感器152与所述控制器160信号连接进而控制与所述控制器160信号连接的所述电磁阀131的开关，从而实现了所述抽真空系统自动对所述储液箱110加工作液116的功能。

本实施例的抽真空系统还包括：排液管道170、第二阀门171，所述储液箱110还包括排液口114，所述排液口114位于所述储液箱110的底部，所述排液管道170与所述储液箱110的所述排液口114连接，所述第二阀门171位于所述排液管道170上，当所述第二阀门171打开时，所述储液箱110内的工作液116可以通过所述排液管道170排出所述储液箱110，在所述液环真空泵120工作时，所述第二阀门171为关闭状态。

本实施例的抽真空系统还包括：溢流口115以及溢流管道180，所述溢流口115设置在所述储液箱110侧壁的预定高度上，所述溢流管道180的一端与所述溢流口115连接，另一端连接于所述排液管道170上所述第二阀门171的下游。当所述储液箱110内的所述工作液116的液面高于所述溢流口115的位置时，高出部分的工作液116通过所述溢流口115再通过所述溢流管道180进入所述排液管道170，从而排出所述储液箱110。

上述本实施例的抽真空系统在工作中，所述工作液116的流动过程如下：所述储液箱110内的所述工作液116通过所述储液箱出口111以及所述工作液入口121进入所述液环真空泵120参与工作，同时所述液环真空泵120内气液混合相的工作液116又通过所述工作液出口122以及所述储液箱入口112回流到所述储液箱110中，形成所述工作液116在所述储液箱110与所述液环真空泵120之间循环。在循环过程中，所述储液箱110内的所述工作液116温度会升高，当温度传感器140检测到所述储液箱110内的工作液116的温度达到所述预定温度值时，所述温度传感器140将这一信号反馈到所述控制器160，所述控制器160打开所述加液管道130上的所述电磁阀131，所述加液管道130内的工作液通过所述加液口113进入所述储液箱110中，从而通过补充工作液116的方式降低所述储液箱110内的所述工作液116的温度。当所述储液箱110内的所述工作液116的液位低于所述第二液位传感器152时，所述第二液位传感器152将这一信号反馈到所述控制器160，所述控制器160打开所述电磁阀131，使得所述加液管道130内的工作液116进入所述储液箱110中，在加液过程中，所述储液箱110内的所述工作液116的液位不断上升，当所述第一液位传感器151检测到所述工作液116的液位时，将这一信号反馈到所述控制器160，所述控制器160控制所述电磁阀131关闭，从而停止向所述储液箱110内加工作液116。当所述第一液位传感器151检测到所述工作液116的液位的同时，所述温度传感器140检测到所述储液箱110内的工作液116的温度达到所述预定温度值，所述控制器160控制所述电磁阀131仍然处于打开状态，所述加液管道130内的工作液116继续进入所述储液箱110中进行补液，当工作液116的液位高于所述溢流口115时，高出部分的工作液116通过所述溢流口115再通过所述溢流管道180进入所述排液管道170，从而排出所述储液箱110。

可以理解的是，所述温度传感器140、所述第一液位传感器151、所述第二液位传感器152的固定方式不限于上述实施例中给出的方式，可以根据实际需要进行设置。所述预定温度值也不限于50摄氏度，该预定温度值以及所述第一液位传感器151、所述第二液位传感器152位于所述储液箱110内的预定高度值可以根据实际生产需要进行设置，例如，在替代的实施例中，所述预定温度值设置为60摄氏度。

液环真空泵120可以是水环真空泵，相应地，所述工作液116可以采用自来水。所述抽真空系统还可以包括待抽真空的减薄机190，其中所述液环真空泵120还包括抽气口123，所述抽气口123与所述减薄机190连接，使得所述液环真空泵120可以对所述减薄机190抽真空。

应当说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

依照本实用新型的实施例如上文所述，这些实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施例。显然，根据以上描述，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地利用本实用新型以及在本实用新型基础上的修改使用。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (11)

1.一种抽真空系统，其特征在于，包括：

储液箱；

液环真空泵，包括工作液入口和工作液出口，所述工作液入口和所述工作液出口分别与所述储液箱连接；以及

加液系统，所述加液系统设置在所述储液箱上，用于向所述储液箱内加入工作液。

2.根据权利要求1所述的抽真空系统，其特征在于，所述加液系统包括：

加液管道，所述加液管道一端与所述储液箱连接，另一端与工作液源连接；

第一阀门，所述第一阀门位于所述加液管道上。

3.根据权利要求2所述的抽真空系统，其特征在于，所述加液系统还包括：

温度检测装置，所述温度检测装置设置在所述储液箱内，用于检测所述工作液的温度。

4.根据权利要求3所述的抽真空系统，其特征在于，所述温度检测装置为温度传感器。

5.根据权利要求4所述的抽真空系统，其特征在于，所述第一阀门为电磁阀，

所述加液系统还包括：

控制器，

其中，所述温度传感器、所述电磁阀都与所述控制器信号连接，所述控制器根据所述温度传感器的反馈控制所述电磁阀的开关。

6.根据权利要求5所述的抽真空系统，其特征在于，所述加液系统还包括：

第一液位传感器和第二液位传感器，所述第一液位传感器、所述第二液位传感器分别设置在所述储液箱内的不同预定位置上，并且都与所述控制器信号连接，所述控制器还根据所述第一液位传感器和/或所述第二液位传感器的反馈控制所述电磁阀的开关。

7.根据权利要求6所述的抽真空系统，其特征在于，所述加液系统包括向所述储液箱加液的第一状态和停止向所述储液箱加液的第二状态，

所述温度传感器检测到所述储液箱内的所述工作液的温度达到所述控制器设有的预定温度值，和/或所述储液箱内的所述工作液的液位低于所述第二液位传感器，则所述控制器控制所述电磁阀处于打开状态，所述加液系统处于所述第一状态；

所述温度传感器检测到所述储液箱内的所述工作液的温度未达到所述控制器设有的所述预定温度值，且所述第一液位传感器检测到所述储液箱内的所述工作液的液位，则所述控制器控制所述电磁阀处于关闭状态，所述加液系统处于所述第二状态。

8.根据权利要求6所述的抽真空系统，其特征在于，还包括：

排液管道，所述排液管道连接于所述储液箱底部；

第二阀门，所述第二阀门位于所述排液管道上。

9.根据权利要求8所述的抽真空系统，其特征在于，还包括：

溢流口，所述溢流口设置在所述储液箱侧壁的预定高度；

溢流管道，所述溢流管道一端与所述溢流口连接，另一端连接于所述排液管道上所述第二阀门的下游。

10.根据权利要求1至9任一项所述的抽真空系统，其特征在于，所述液环真空泵为水环真空泵，所述工作液为自来水。

11.根据权利要求1至9任一项所述的抽真空系统，其特征在于，还包括：

待抽真空的减薄机，

所述液环真空泵还包括抽气口，所述抽气口与所述减薄机连接。