CN210443535U - 一种扩散插片机及其扩散退火碎片检测装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种扩散退火碎片检测装置，包括用以感应吸盘存在情况的吸盘感应器、用以感应顶齿存在情况的顶齿感应器以及用以感应散落于顶齿内部的碎片存在情况的碎片感应器，吸盘感应器、顶齿感应器和碎片感应器均设置于插片机机架上；还包括与吸盘感应器、碎片感应器、顶齿感应器及PLC相连的控制装置，当吸盘感应器未检测到吸盘存在且碎片感应器检测到碎片存在时，或者当顶齿感应器未检测到顶齿存在且碎片感应器检测到碎片存在时，控制装置能够控制PLC停止运行，由此避免了批量碎情况发生。本实用新型还提供一种包括上述扩散退火碎片检测装置的扩散插片机，具有上述技术效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及扩散退火碎片检测技术领域，更具体地说，涉及一种扩散退火碎片检测装置。本实用新型还涉及一种包括上述扩散退火碎片检测装置的扩散插片机。
背景技术
所公知的是，扩散插片机在生产过程中会发生破碎，例如，插片机吸盘在吸取硅片至顶齿的过程中以及插片机吸盘由石英舟取片后的运输过程中，由于隐裂或者气压等原因将会导致吸取的硅片破裂，这是不可避免的，但发生概率较低，破碎的碎片掉落至顶齿内部，当顶齿插顶硅片时，由于顶齿内部存在碎片，使得完好的硅片被碎片顶裂，由此产生大批量破碎，俗称“批量碎”，无疑增加了生产成本。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种扩散退火碎片检测装置，有效地避免了批量碎的情况发生，节约了生产成本。本实用新型的另一目的是提供一种包括上述扩散退火碎片检测装置的扩散插片机，实现了顶齿内碎片的自动检测及停机操作，显著地降低了碎片率，节约生产成本。
本实用新型提供一种扩散退火碎片检测装置，包括用以感应吸盘存在情况的吸盘感应器、用以感应顶齿存在情况的顶齿感应器，以及设于所述吸盘感应器与所述顶齿感应器之间、用以感应散落于所述顶齿内部的碎片存在情况的碎片感应器，所述吸盘感应器、所述顶齿感应器以及所述碎片感应器均设置于插片机机架上；还包括与所述吸盘感应器、所述碎片感应器、所述顶齿感应器以及PLC相连、用以当所述吸盘感应器未检测到吸盘存在、且所述碎片感应器检测到碎片存在时，或者所述顶齿感应器未检测到顶齿存在、且所述碎片感应器检测到碎片存在时，能够控制所述PLC停止运行的控制装置。
优选的，所述控制装置包括与所述碎片感应器相连的继电器KA1、与所述吸盘感应器相连的继电器KA2以及与所述顶齿感应器相连的继电器KA3，所述继电器KA1、所述继电器KA2和所述继电器KA3串联于同一线路上，所述继电器KA1为常开式继电器，所述继电器KA2和所述继电器KA3为常闭式继电器。
优选的，所述碎片感应器具体为光纤感应器。
优选的，所述碎片感应器的检测位置与顶齿的最低点相平齐。
优选的，所述吸盘感应器和所述顶齿感应器具体为光电感应器或者光纤感应器。
优选的，还包括与所述控制装置相连、用以当所述控制装置控制所述PLC停止时鸣响报警的报警器。
本实用新型还提供一种扩散插片机，包括上述任一项所述的扩散退火碎片检测装置。
与上述背景技术相比，本实用新型所提供的扩散退火碎片检测装置，通过在插片机机架上安装吸盘感应器、顶齿感应器和碎片感应器，利用吸盘感应器来检测吸盘的存在情况，利用顶齿感应器来检测顶齿存在情况，利用碎片感应器来检测顶齿内部碎片的存在情况，与吸盘感应器、顶齿感应器、碎片感应器和PLC通过导线相连还设有控制装置，通过控制装置来接收各感应信号，根据接收到的感应信号控制PLC启动和停止动作，具体地，当吸盘感应器未检测到吸盘存在、并且碎片感应器检测到碎片存在时，或者当顶齿感应器未检测到顶齿存在、并且碎片感应器检测到碎片存在时，控制装置将控制PLC停止运行，提示工作人员对顶齿内部的碎片进行清理，起到安全保护作用，有效地避免后续批量碎的情况发生。
本实用新型所提供的扩散插片机，能够实现顶齿内碎片的自动检测及停机操作，使得硅片生产更加安全可靠，碎片率更低，有效地节约了生产成本。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
图1为本实用新型所提供的扩散退火碎片检测装置的结构示意图；
图2为本实用新型所提供的扩散退火碎片检测装置处于未检测到顶齿碎片时控制装置的工作状态图。
其中，1-吸盘感应器、2-顶齿感应器、3-碎片感应器、4-顶齿。
具体实施方式
本实用新型的核心是提供一种扩散退火碎片检测装置，避免了扩散退火碎片大批量碎裂不良发生。本实用新型的另一核心是提供一种包括上述扩散退火碎片检测装置的扩散插片机，具有扩散退火碎片检测装置的上述有益效果。
为了使本技术领域的技术人员更好地理解本实用新型方案，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步的详细说明。
请参考图1和图2，图1为本实用新型所提供的扩散退火碎片检测装置的结构示意图；图2为本实用新型所提供的扩散退火碎片检测装置处于未检测到顶齿碎片时控制装置的工作状态图。
本实用新型提供一种扩散退火碎片检测装置，包括吸盘感应器1、顶齿感应器2、碎片感应器3和控制装置，其中，吸盘感应器1、顶齿感应器2、碎片感应器3分别用以感应吸盘、顶齿4和顶齿4内部碎片的存在情况，控制装置与吸盘感应器1、顶齿感应器2、碎片感应器3及PLC电连接，当吸盘感应器1未检测到吸盘存在、但碎片感应器3检测到碎片存在时，或者当顶齿感应器2未检测到顶齿4存在、但碎片感应器3检测到碎片存在时，控制装置即控制PLC停止运行，实现断电保护。上述两种情况均直接排除了吸盘和顶齿4取放硅片时的干扰，此时，如若碎片感应器3检测到碎片存在，则说明顶齿4内部存有碎片，机床断电停机，以便于工作人员清理碎片，避免后续批量性不良的发生。
在一种具体实施例中，控制装置包括继电器KA1、继电器KA2和继电器KA3，继电器KA1为常开式继电器，继电器KA2和继电器KA3均为常闭式继电器，三个继电器均串联于同一电路，如图2所示，其中，继电器KA1、继电器KA2和继电器KA3分别与碎片感应器3、吸盘感应器1和顶齿感应器2通过导线相连，以便分别接收碎片检测信息、吸盘检测信息和顶齿检测信息。
当碎片感应器3感应到顶齿4内部存有碎片时，碎片感应器3触发继电器KA1动作后，接通继电器KA4触发常开触点闭合，接通到PLC的暂停端子，机床暂停，等待人员处理异常碎片。
具体来说，当吸盘取放片未在吸盘感应器1的检测范围时(继电器KA2和继电器KA3接线端子处于常闭状态)，由于气压不稳或硅片隐裂导致硅片掉落，碎片感应器3检测后触发继电器KA1动作，接通继电器KA4触发常开触点闭合，接通到PLC的暂停信号，设备停止运作。
当顶齿4取放片未在顶齿感应器2的检测范围时(继电器KA2和继电器KA3接线端子处于常闭状态)，如果顶齿4上存有碎片或者存有未被取走的异常片，碎片感应器3检测后触发继电器KA1动作，接通继电器KA4的常开触点闭合，接通到PLC的暂停信号，设备停止运作。
上述碎片感应器3优选为光纤感应器，例如市面上的fx-101光纤感应器，需要说明的是，安装时，应保证碎片感应器3的检测位置与顶齿4的最低点相平齐，如此设置，可以实现碎片感应器3对掉落至顶齿4底部以上区域的碎片的灵敏检测。
优选的，吸盘感应器1和顶齿感应器2为现有技术中的光电感应器或者光纤感应器，利用其具有的高灵敏度和高测量精度，以确保检测结果的准确性。
在上述实施例的基础上，可以在机床上安装报警器，该报警器与上述控制装置相连，当控制装置接收到顶齿4内部存在碎片的信息时，随即向报警器发出报警信号，报警器即鸣响报警，提示工作人员清理碎片。
综上所述，本实用新型的核心为：当顶齿4内部有碎片存在时，吸盘感应器1和顶齿感应器2未被遮挡，继电器KA2和继电器KA3触点位于常闭状态，碎片感应器3触发继电器KA1动作后，接通继电器KA4触发常开触点闭合，接通到PLC的暂停端子，机器暂停，等待人员处理异常碎片，由此可以防止批量碎发生。
以上对本实用新型所提供的扩散插片机及其扩散退火碎片检测装置进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以对本实用新型进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本实用新型权利要求的保护范围内。
Claims (7)
1.一种扩散退火碎片检测装置，其特征在于，包括用以感应吸盘存在情况的吸盘感应器(1)、用以感应顶齿(4)存在情况的顶齿感应器(2)，以及设于所述吸盘感应器(1)与所述顶齿感应器(2)之间、用以感应散落于所述顶齿(4)内部的碎片存在情况的碎片感应器(3)，所述吸盘感应器(1)、所述顶齿感应器(2)以及所述碎片感应器(3)均设置于插片机机架上；还包括与所述吸盘感应器(1)、所述碎片感应器(3)、所述顶齿感应器(2)以及PLC相连、用以当所述吸盘感应器(1)未检测到吸盘存在、且所述碎片感应器(3)检测到碎片存在时，或者所述顶齿感应器(2)未检测到顶齿(4)存在、且所述碎片感应器(3)检测到碎片存在时，能够控制所述PLC停止运行的控制装置。
2.根据权利要求1所述的扩散退火碎片检测装置，其特征在于，所述控制装置包括与所述碎片感应器(3)相连的继电器KA1、与所述吸盘感应器(1)相连的继电器KA2以及与所述顶齿感应器(2)相连的继电器KA3，所述继电器KA1、所述继电器KA2和所述继电器KA3串联于同一线路上，所述继电器KA1为常开式继电器，所述继电器KA2和所述继电器KA3为常闭式继电器。
3.根据权利要求2所述的扩散退火碎片检测装置，其特征在于，所述碎片感应器(3)具体为光纤感应器。
4.根据权利要求3所述的扩散退火碎片检测装置，其特征在于，所述碎片感应器(3)的检测位置与顶齿(4)的最低点相平齐。
5.根据权利要求4所述的扩散退火碎片检测装置，其特征在于，所述吸盘感应器(1)和所述顶齿感应器(2)具体为光电感应器或者光纤感应器。
6.根据权利要求1～5任一项所述的扩散退火碎片检测装置，其特征在于，还包括与所述控制装置相连、用以当所述控制装置控制所述PLC停止时鸣响报警的报警器。
7.一种扩散插片机，其特征在于，包括上述权利要求1～6任一项所述的扩散退火碎片检测装置。
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| CN201922107309.1U CN210443535U (zh) | 2019-11-29 | 2019-11-29 | 一种扩散插片机及其扩散退火碎片检测装置 |
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Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| CN113764321A (zh) * | 2021-08-10 | 2021-12-07 | 天津爱旭太阳能科技有限公司 | 石英舟装卸片装置、处理系统及控制方法 |
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2019
- 2019-11-29 CN CN201922107309.1U patent/CN210443535U/zh active Active
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