CN210351110U - 弹性表面波元件、弹性表面波装置及通信装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种弹性表面波元件、弹性表面波装置及通信装置。该弹性表面波元件包括压电基板、配置于所述压电基板之上的第一配线和第二配线，所述第一配线和所述第二配线交叉配置，在交叉的位置处，所述第一配线和所述第二配线之间隔有绝缘层，所述第一配线包括在垂直于所述压电基板的板面的方向上层叠的第一下配线层和第一上配线层，所述第一配线具有在所述第一下配线层上层叠有所述第一上配线层的部分和在所述第一下配线层上未层叠有所述第一上配线层的部分，所述第一配线在俯视状态下在该第一配线与所述绝缘层重叠的区域在所述第一下配线层上未层叠有所述第一上配线层。根据本实用新型的弹性表面波元件能够减少声表面波器件的损耗。

Description

弹性表面波元件、弹性表面波装置及通信装置

技术领域

本实用新型涉及应用声表面波技术领域，尤其涉及一种弹性表面波元件、具有该弹性表面波元件的弹性表面波装置及通信装置。

背景技术

弹性表面波装置是滤波器、谐振器及振荡器中的一种常用元件。

图1示出以往的表面声波滤波器。该表面声波滤波器100包括压电基板101、梳齿电极102、103、104、反射器电极105、106、焊盘107、109、111、配线108、110和绝缘层112。其中，配线108和配线110相互交叉地设置于压电基板101上，且在交叉位置处，配线108和配线110之间设置绝缘层112。其中，配线108位于配线110的下方。

在制作上述的弹性表面波装置时，为了减少工艺数量，通常会在一成膜步骤中形成梳齿电极和配线108(配线108的膜厚度与梳齿电极的膜厚度相同)，在另一成膜步骤中形成配线110。然而，由于梳齿电极的膜厚通常较薄，配线108的膜厚度减小将导致其电阻率增加，这使得声表面波器件的损耗增大。

实用新型内容

基于现有技术中的上述缺陷，本实用新型的目的在于提供一种能够减少声表面波器件的损耗的弹性表面波元件及具有该弹性表面波元件的弹性表面波装置及通信装置。

为此，本实用新型提供如下技术方案。

本实用新型提供了一种弹性表面波元件，所述弹性表面波元件包括压电基板、配置于所述压电基板之上的第一配线和第二配线，所述第一配线和所述第二配线交叉配置，在交叉的位置处，所述第一配线和所述第二配线之间隔有绝缘层，

所述第一配线包括在垂直于所述压电基板的板面的方向上层叠的第一下配线层和第一上配线层，所述第一配线具有在所述第一下配线层上层叠有所述第一上配线层的部分和在所述第一下配线层上未层叠有所述第一上配线层的部分，

所述第一配线在俯视状态下在该第一配线与所述绝缘层重叠的区域在所述第一下配线层上未层叠有所述第一上配线层。

在至少一个实施方式中，所述第二配线包括在垂直于所述压电基板的板面的方向上层叠的第二下配线层和第二上配线层，所述第二配线具有在所述第二下配线层上层叠有所述第二上配线层的部分和在第二上配线层下未层叠有所述第二下配线层的部分，

所述第二配线在俯视状态下在该第二配线与所述绝缘层重叠的区域在第二上配线层下未层叠有所述第二下配线层。

在至少一个实施方式中，在所述第一配线与所述绝缘层不重叠的区域在所述第一下配线层上层叠有所述第一上配线层。

在至少一个实施方式中，在所述第二配线与所述绝缘层不重叠的区域在所述第二下配线层上层叠有所述第二上配线层。

在至少一个实施方式中，所述第一下配线层设于所述压电基板与所述绝缘层之间，所述第二配线层叠于所述绝缘层之上。

在至少一个实施方式中，所述绝缘层层叠于所述第一下配线层之上，所述第二上配线层层叠于所述绝缘层之上。

在至少一个实施方式中，所述弹性表面波元件还包括第一梳齿电极、第二梳齿电极、第一焊盘、第三焊盘，

所述第一配线将所述第一梳齿电极和所述第一焊盘连接，

所述第二配线将所述第二梳齿电极和所述第三焊盘连接。

在至少一个实施方式中，所述弹性表面波元件还包括第三梳齿电极，

所述第一梳齿电极、所述第二梳齿电极、所述第三梳齿电极沿弹性表面波的传播方向接近配置，所述第二配线将所述第三梳齿电极和所述第三焊盘连接。

本实用新型还提供了一种弹性表面波装置，所述弹性表面波装置包括上述任一实施方式所述的弹性表面波元件。

本实用新型还提供了一种通信装置，所述通信装置包括上述的弹性表面波装置。

通过采用上述的技术方案，本实用新型提供了一种声表面波元件，通过使第一配线具有第一下配线层和第一上配线层，增加了第一配线的膜厚度，使得第一配线的电阻率减小，进而能够减少声表面波器件的损耗。

可以理解，具有该弹性表面波元件的弹性表面波装置及通信装置具有同样的有益效果。

附图说明

图1示出了现有技术中的一种声表面波装置的结构示意图。

图2示出了根据本实用新型的声表面波元件第一实施方式的结构示意图。

图3示出了根据本实用新型的声表面波元件的第二实施方式的结构示意图。

附图标记说明

100表面声波滤波器；101压电基板；102、103、104梳齿电极；105、106反射器电极；107、109、111焊盘；108、110配线；112绝缘层；

200、300弹性表面波元件；

1、10压电基板；

2、20第一配线；21、210第一下配线层；22、220第一上配线层；

3、30第二配线；31、310第二下配线层；32、320第二上配线层；

4、40绝缘层；

5第一电极组件；5’第二电极组件；51、510第一梳齿电极；52、520第二梳齿电极；53第三反射器电极；54第四反射器电极；55、550第二反射器电极；56、540第一反射器电极；

50电极组件；530第三梳齿电极；

6、60焊盘组件；61、610第一焊盘；62、620第二焊盘；63、630第三焊盘；64、640第四焊盘。

具体实施方式

下面参照附图描述本实用新型的示例性实施方式。应当理解，这些具体的说明仅用于示教本领域技术人员如何实施本实用新型，而不用于穷举本实用新型的所有可行的方式，也不用于限制本实用新型的保护范围。

下面根据图2详细说明根据本实用新型的弹性表面波元件的第一实施方式。

在本实施方式中，如图2所示，弹性表面波元件200包括：压电基板1、均设于压电基板1之上的第一配线2、第二配线3、绝缘层4、第一电极组件5、第二电极组件5’和焊盘组件6。

第一电极组件5包括沿弹性表面波的传播方向接近配置的第一梳齿电极51以及第一反射器电极56和第二反射器电极55，第二电极组件5’包括沿弹性表面波的传播方向接近配置的第二梳齿电极52以及第三反射器电极53和第四反射器电极54。焊盘组件6包括第一焊盘61、第二焊盘62、第三焊盘63以及第四焊盘64。各电极的具体结构以及各焊盘的设置方式属于现有技术，此处不再赘述。

第一配线2设于第一梳齿电极51与第一焊盘61之间，将第一梳齿电极51与第一焊盘61连接。第二配线3设于第二梳齿电极52与第三焊盘63之间，将第二梳齿电极52和第三焊盘63连接。第一配线2和第二配线3存在彼此立体交叉设置的部位，在该交叉部位，在第一配线2和第二配线3之间隔设有绝缘层4，以防止短路。第一配线2和第二配线3可以相互垂直地交叉设置。

如图2所示，第一配线2包括第一下配线层21和第一上配线层22。在垂直于压电基板1的板面的方向上，第一上配线层22层叠在第一下配线层21的背离压电基板1的一侧。第一配线2具有在第一下配线层21上层叠有第一上配线层的部分和未在第一下配线层21上层叠有第一上配线层的部分。第二配线3包括第二下配线层31和第二上配线层32。在垂直于压电基板1的板面的方向上，第二上配线层32层叠在第二下配线层31的背离压电基板1的一侧。第二配线3包括在第二下配线层31上层叠有第二上配线层32的部分和未在第二上配线层32下层叠有第二下配线层31的部分。此外，在俯视时，第一上配线层22和第二上配线层32的宽度分别窄于第一下配线层21和第二下配线层31的宽度。不过，并不限定于此，可以根据需求调整各配线层的宽度。

在第一配线2和第二配线3交叉设置处，第一上配线层22和绝缘层4两者在垂直于压电基板1的板面的方向上的投影不重叠，第一下配线层21位于压电基板1和绝缘层4之间。此外，在第一配线2和第二配线3交叉设置处，第二下配线层31与绝缘层4两者在垂直于压电基板1的板面的方向上的投影不重叠，第二上配线层32跨绝缘层4地配置于绝缘层4之上。即，在第一配线2和第二配线3交叉设置处，构成为第一下配线层21位于压电基板1之上，第二上配线层32以隔着绝缘层4的方式位于第一下配线层21之上。也可以说，第一配线2在俯视状态下在第一配线2与绝缘层4不重叠的区域中在第一下配线层21上层叠有第一上配线层22，在第一配线2与绝缘层4重叠的区域中在第一下配线层21上未层叠有第一上配线层22。此外，第二配线3在俯视状态下在该第二配线3与绝缘层4重叠的区域在第二上配线层32下未层叠有第二下配线层31，在第二配线3与绝缘层4不重叠的区域在第二下配线层31上层叠有第二上配线层32。

接下来，简单说明第一实施方式的弹性表面波元件的制作方法。

首先，进行第一成膜步骤：通过例如溅射或气相沉积的方式在压电基板1上形成第一下配线层21、第一梳齿电极51、第一反射器电极56、第二反射器电极55、第一焊盘61和第二焊盘62。然后在第一下配线层21上形成绝缘层4。

其次，进行第二成膜步骤：在压电基板1上形成第二下配线层31、第二梳齿电极52、第三反射器电极53、第四反射器电极54、第三焊盘63和第四焊盘64。其中，第二下配线层31与绝缘层4不重叠。

最后，进行第三成膜步骤：在第一下配线层21上以不与绝缘层4重叠的方式形成第一上配线层22，在第二下配线层31上跨绝缘层4地在绝缘层4之上形成第二上配线层32。

接下来，说明第一实施方式所带来的效果。

(1)通过使第一配线2具有第一下配线层21和第一上配线层22，增加了第一配线2的膜厚度，使得第一配线2的电阻率减小，进而能够减少声表面波器件的损耗。

(2)通过使第二配线3具有第二下配线层31和第二上配线层32，增加了第二配线3的膜厚度，能够进一步减少声表面波器件的损耗。

(3)在另一制作方法中，第二下配线层31与梳齿电极可能在一成膜步骤中形成，此时，第二下配线层31与梳齿电极的厚度相同，因而厚度较薄，若层叠在绝缘层上，容易发生断裂。在第一实施方式中，第二下配线层31与绝缘层4不重叠，可以避免第二下配线层31发生断裂，进而保证弹性表面波元件的工作可靠性。

下面根据图3说明根据本实用新型的弹性表面波元件的第二实施方式。

在第二实施方式中，在第一配线和第二配线交叉设置处的结构相同，只是电极组件、焊盘组件以及第一配线和第二配线之间的连接关系不同。对于相同的部分省略说明，仅对不同的部分进行说明。

在第二实施方式中，如图3所示，弹性表面波元件300包括：压电基板10、均设于压电基板之上的第一配线20、第二配线30、绝缘层40、电极组件50和焊盘组件60。

电极组件50包括沿弹性表面波的传播方向接近配置的第一梳齿电极510、第二梳齿电极520、第三梳齿电极530以及第一反射器电极540和第二反射器电极550。焊盘组件60包括用于输入信号的第一焊盘610、用于接地的第二焊盘620以及第三焊盘630、用于输出信号的第四焊盘640。各电极的具体结构以及各焊盘的设置方式属于现有技术，此处不再赘述。

第一配线20设于第一梳齿电极510与第一焊盘610和第二焊盘620之间，将第一梳齿电极510与第一焊盘610和第二焊盘620分别连接。第二配线30设于第二梳齿电极520与第三焊盘630和第四焊盘640之间，以及第三梳齿电极530与第三焊盘630和第四焊盘640之间，将第二梳齿电极520、第三梳齿电极530、第三焊盘630和第四焊盘640分别连接。第一配线20和第二配线30存在彼此立体交叉设置的部位，在该交叉部位，在第一配线20和第二配线30之间隔设有绝缘层40，以防止短路。

如图3所示，第一配线20包括第一下配线层210和第一上配线层220。第二配线30包括第二下配线层310和第二上配线层320。对于第一配线20和第二配线30的交叉部位处的配置关系，同第一实施方式，在此省略说明。

该第二实施方式同样能够获得与第一实施方式相同的效果。

通过采用上述技术方案，根据本实用新型的弹性表面波元件至少具有如下优点：

(1)在本实用新型的弹性表面波元件中，通过使第一配线具有第一下配线层和第一上配线层，增加了第一配线的膜厚度，使得第一配线的电阻率减小，进而能够减少声表面波器件的损耗。

(2)在本实用新型的弹性表面波元件中，通过使第二配线具有第二下配线层和第二上配线层，增加了第二配线的膜厚度，能够进一步减少声表面波器件的损耗。

(3)在本实用新型的弹性表面波元件中，第二下配线层与绝缘层不重叠，可以避免第二下配线层发生断裂，进而保证弹性表面波元件的工作可靠性。

以上的具体实施方式对本实用新型的技术方案进行了详细阐述，但是还需要补充说明的是：

(1)虽然在上述实施方式中说明了第一配线和第二配线可以相互垂直地交叉设置，但是本实用新型不限于此，第一配线和第二配线也可以不垂直地交叉设置。

(2)虽然在上述实施方式中说明了第二配线包括第二下配线层和第二上配线层，但是本实用新型不限于此，第二配线也可以只包括一层配线。

(3)虽然在上述实施方式中说明了第二下配线层与绝缘层两者在垂直于压电基板的板面的方向上的投影不重叠，但是本实用新型不限于此，第二下配线层与绝缘层两者在垂直于压电基板的板面的方向上的投影也可以重叠。相应地，第二上配线层与绝缘层两者在垂直于压电基板1的板面的方向上的投影可以重叠，也可以不重叠。

(4)虽然在上述实施方式中说明了第一上配线层和绝缘层两者在垂直于压电基板的板面的方向上的投影不重叠，但是本实用新型不限于此，第一上配线层和绝缘层两者在垂直于压电基板1的板面的方向上的投影也可以重叠。

(5)在上述实施方式中，对于梳齿电极和焊盘的数量不作限制，可以根据实际情况的需要做出相应的设置。

(6)本实用新型的弹性表面波元件的制作方法不限于第一实施方式中的制作方法，第一成膜步骤中也可以直接在压电基板1上形成第一下配线层21、第二下配线层31、第一电极组件5、第二电极组件5’和焊盘组件6。然后在第一下配线层21上形成绝缘层4。第二成膜步骤中在第一下配线层21上形成第一上配线层22，在第二下配线层31上形成第二上配线层32。

此外，本实用新型还提供了一种弹性表面波装置，该弹性表面波装置包括上述实施方式所述的弹性表面波元件。

进一步地，本实用新型还提供了一种通信装置，该通信装置包括上述的弹性表面波装置。其中，该通信装置可以为滤波器、谐振器或振荡器。

Claims (10)

1.一种弹性表面波元件，所述弹性表面波元件包括压电基板(1、10)、配置于所述压电基板(1、10)之上的第一配线(2、20)和第二配线(3、30)，所述第一配线(2、20)和所述第二配线(3、30)交叉配置，在交叉的位置处，所述第一配线(2、20)和所述第二配线(3、30)之间隔有绝缘层(4、40)，其特征在于，

所述第一配线(2、20)包括在垂直于所述压电基板(1、10)的板面的方向上层叠的第一下配线层(21、210)和第一上配线层(22、220)，所述第一配线(2、20)具有在所述第一下配线层(21、210)上层叠有所述第一上配线层(22、220)的部分和在所述第一下配线层(21、210)上未层叠有所述第一上配线层(22、220)的部分，

所述第一配线(2、20)在俯视状态下在该第一配线(2、20)与所述绝缘层(4、40)重叠的区域在所述第一下配线层(21、210)上未层叠有所述第一上配线层(22、220)。

2.根据权利要求1所述的弹性表面波元件，其特征在于，

所述第二配线(3、30)包括在垂直于所述压电基板(1、10)的板面的方向上层叠的第二下配线层(31、310)和第二上配线层(32、320)，所述第二配线(3、30)具有在所述第二下配线层(31、310)上层叠有所述第二上配线层(32、320)的部分和在第二上配线层(32、320)下未层叠有所述第二下配线层(31、310)的部分，

所述第二配线(3、30)在俯视状态下在该第二配线(3、30)与所述绝缘层(4、40)重叠的区域在第二上配线层(32、320)下未层叠有所述第二下配线层(31、310)。

3.根据权利要求1或2所述的弹性表面波元件，其特征在于，

在所述第一配线(2、20)与所述绝缘层(4、40)不重叠的区域在所述第一下配线层(21、210)上层叠有所述第一上配线层(22、220)。

4.根据权利要求2所述的弹性表面波元件，其特征在于，

在所述第二配线(3、30)与所述绝缘层(4、40)不重叠的区域在所述第二下配线层(31、310)上层叠有所述第二上配线层(32、320)。

5.根据权利要求1或2所述的弹性表面波元件，其特征在于，

所述第一下配线层(21、210)设于所述压电基板(1、10)与所述绝缘层(4、40)之间，所述第二配线(3、30)层叠于所述绝缘层(4、40)之上。

6.根据权利要求2所述的弹性表面波元件，其特征在于，

所述绝缘层(4、40)层叠于所述第一下配线层(21、210)之上，所述第二上配线层(32、320)层叠于所述绝缘层(4、40)之上。

7.根据权利要求1或2所述的弹性表面波元件，其特征在于，

所述弹性表面波元件还包括第一梳齿电极(51、510)、第二梳齿电极(52、520)、第一焊盘(61、610)、第三焊盘(63、630)，

所述第一配线(2、20)将所述第一梳齿电极(51、510)和所述第一焊盘(61、610)连接，

所述第二配线(3、30)将所述第二梳齿电极(52、520)和所述第三焊盘(63、630)连接。

8.根据权利要求7所述的弹性表面波元件，其特征在于，

所述弹性表面波元件还包括第三梳齿电极(530)，

所述第一梳齿电极(510)、所述第二梳齿电极(520)、所述第三梳齿电极(530)沿弹性表面波的传播方向接近配置，所述第二配线(3、30)将所述第三梳齿电极(530)和所述第三焊盘(630)连接。

9.一种弹性表面波装置，其特征在于，所述弹性表面波装置包括权利要求1至8中任一项所述的弹性表面波元件。

10.一种通信装置，其特征在于，所述通信装置包括权利要求9所述的弹性表面波装置。

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