CN210347068U - 一种光刻镜头的检测平台 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种光刻镜头的检测平台，包括底座和与所述底座连接的支撑件，所述支撑件上设有光源模组，所述支撑件上还设有接收所述光源模组光源的图像模组，所述底座上设有带有被测光刻镜头且接收所述图像模组映射图像的采集模组，本实用新型为一种光刻镜检测平台，包括光源模组、图像模组、以及采集模组，光源模组发出长方形激光光斑至图像模组上，图像模组上自带有图案，图像模组把均匀光斑处理成带有图像的光斑映射至被测镜头由采集模组接收，采集模组输出图片，通过图片仲的图像来计算出镜头的畸变、放大倍率以及MTF，实现一站式检测，工序简单，操作容易，效率高。

Description

一种光刻镜头的检测平台

【技术领域】

本申请为一种镜头检测平台，尤其涉及一种光刻镜头的检测平台。

【背景技术】

工业镜头是机器视觉系统中十分重要的成像元件，系统若想完全发挥其功能，工业镜头必须要能够满足要求才行。21世纪初，随着机器视觉系统在精密检测领域的广泛应用，普通工业镜头难以满足检测要求，为弥补普通镜头应用之不足，适应精密检测需求，而衍生出了光刻镜头，而光刻镜头出厂前需要先对其的畸变、放大倍率以及MTF进行检测，目前的检测手段对光刻镜进行三次检测才能判断光刻镜是否能出厂，耗时较高，工序繁琐。

综上所述，设计一种一站式检测光刻镜的畸变、放大倍率以及MTF的检测平台为有待解决的问题。

【实用新型内容】

针对目前检测手段单一，要对光刻镜的三项性能逐一检测造成高耗时大工作量的问题，本技术方案提供一种一站式检测的光刻镜头检测平台。

为实现上述目的，本技术方案如下：

一种光刻镜头的检测平台，包括底座和与所述底座连接的支撑件，所述支撑件上设有光源模组，所述支撑件上还设有接收所述光源模组光源的图像模组，所述底座上设有带有被测光刻镜头且接收所述图像模组映射图像的采集模组。

进一步的，所述光源模组与所述图像模组之间还设有用于增加光程的反射模组，所述反射模组设于所述支撑件上。

进一步的，所述反射模组包括第一反射镜与第二反射镜，所述第一反射镜接收所述光源模组的光源并反射至所述第二反射镜，所述第二反射镜将光源反射至所述图像模组。

进一步的，所述采集模组包括用于安装所述被测光刻镜头的第二安装件和采集所述被测光刻镜头图像来计算出畸变、放大倍率、MTF的CCD。

进一步的，所述采集模组还包括用于导向所述第二安装件横向、纵向以及向上移动以带动所述被测光刻镜头移动的第一导向机构。

进一步的，所述采集模组还包括与所述CCD连接的第三安装件和与所述第三安装件连接用于导向所述第三安装件横向、纵向以及向上移动以带动所述CCD移动的第二导向机构。

进一步的，所述第一导向机构包括第一导向底座、能沿所述第一导向底座上升或下降的第一导向件、能沿所述第一导向件纵向移动的第一纵向导向件以及与所述第二安装件连接且能沿所述第一纵向导向件横向移动的第一横向导向件。

进一步的，所述第二导向机构包括第二导向底座、能沿所述第二导向底座上升或下降的第二导向件、能沿所述第二导向件纵向移动的第二纵向导向件以及与所述第三安装件连接且能沿所述第二纵向导向件横向移动的第二横向导向件。

进一步的，所述第一导向底座设有能于所述第一导向底座外壁推入或拉出的导向手柄，所述第一导向底座内还设有供所述导向手柄推动而摆动使得所述第二安装件升高的摆动件。

进一步的，所述第一导向件上设有导向限位件，所述第一纵向导向件上设有导向限位板。

本实用新型的有益效果是：

1.本实用新型为一种光刻镜检测平台，包括光源模组、图像模组、以及采集模组，光源模组发出长方形激光光斑至图像模组上，图像模组上自带有图案，图像模组把均匀光斑处理成带有图像的光斑映射至被测镜头由采集模组接收，采集模组输出图片，通过图片仲的图像来计算出镜头的畸变、放大倍率以及MTF，实现一站式检测，工序简单，操作容易，效率高。

2.本实用新型设有反射模组，用来增加光程、折转方向并且放大光斑。

【附图说明】

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。

图1是本实用新型一种光刻镜头的检测平台结构示意图一；

图2是本实用新型一种光刻镜头的检测平台结构示意图二(显示被测镜头、第一导向机构与第二导向机构)；

图3是本实用新型一种光刻镜头的检测平台的第一导向机构爆炸图。

【具体实施方式】

为了使本实用新型所解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

当本实用新型实施例提及“第一”、“第二”等序数词时，除非根据上下文其确实表达顺序之意，应当理解为仅仅是起区分之用。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请参照图1至图3所示，实施例一：一种光刻镜头的检测平台，包括底座1和与所述底座1连接的支撑件2，所述支撑件2上设有光源模组3，所述支撑件2上还设有接收所述光源模组3光源的图像模组4，所述底座1上设有带有被测光刻镜头5且接收所述图像模组4映射图像的采集模组6。

本实用新型为一种光刻镜检测平台，包括光源模组、图像模组、以及采集模组，光源模组发出长方形激光光斑至图像模组上，图像模组上自带有图案，图像模组把均匀光斑处理成带有图像的光斑映射至被测镜头由采集模组接收，采集模组输出图片，通过图片仲的图像来计算出镜头的畸变、放大倍率以及MTF，实现一站式检测，工序简单，操作容易，效率高。

在实施例一中，优选的，所述光源模组3与所述图像模组4之间还设有用于增加光程的反射模组7，所述反射模组7设于所述支撑件2上，用来增加光程、折转方向并且放大光斑，由于检测过程中需要有适当的光程，而光程过大则检测平台占用空间很大，因此采用折转的反射模组7可以模拟出适当的光程，也可以无须占用过大的空间，使用方便。

在实施例一中，优选的，所述反射模组7包括第一反射镜71与第二反射镜72，所述第一反射镜71接收所述光源模组3的光源并反射至所述第二反射镜72，所述第二反射镜72将光源反射至所述图像模组4，将第二反射镜72的反射面45度角相对光源模组3，以使光源模组3的光斑能被第二反射镜72反射，将第一反射镜71反射面相对第二反射镜72设置，以使第二反射镜72反射的光斑也能被第一反射镜71发射，因此光斑能于反射模组7呈“U”型折转反向，因此可以模拟出更长的光程，无须占用过大的空间，使用方便。

在实施例一中，优选的，所述图像模组4包括设于所述支撑件2上的第一安装件41与设于所述安装件41上的chart图42，chart图42自带有图像，接收了光斑后可以映射出带图像的光斑进入被测光刻镜头5模拟真实摄像检测光刻镜。

在实施例一中，优选的，所述采集模组6包括用于安装所述被测光刻镜头5的第二安装件61和采集所述被测光刻镜头5图像来计算出畸变、放大倍率、MTF的CCD62，CCD62接收了被测光刻镜头5经映射的图像输出BMP格式的图片，通过图片计算出畸变、放大倍率以及MTF，实现一站式检测。

在实施例一中，优选的，所述采集模组6还包括用于导向所述第二安装件61横向、纵向以及向上移动以带动所述被测光刻镜头5移动的第一导向机构8，由于被测光刻镜头5设于第二安装件61上，而本实施例中还设置有第一导向机构8，第一导向机构8能导向第二安装件61水平、纵向以及竖直方向移动，以带动被测光刻镜头5各个方位移动，方便用户对准chart图接收光斑提高检测的精度。

在实施例一中，优选的，所述采集模组6还包括与所述CCD62连接的第三安装件63和与所述第三安装件63连接用于导向所述第三安装件63横向、纵向以及向上移动以带动所述CCD62移动的第二导向机构9，由于CCD62设于第三安装件63上，而本实施例中还设置有第二导向机构9，第二导向机构9能导向第三安装件63水平、纵向以及竖直方向移动，以带动CCD62各个方位移动，方便用户对准被测光刻镜头5接收图像提高检测的精度。

在实施例一中，优选的，所述第一导向机构8包括第一导向底座81、能沿所述第一导向底座1上升或下降的第一导向件82、能沿所述第一导向件82纵向移动的第一纵向导向件83以及与所述第二安装件61连接且能沿所述第一纵向导向件83横向移动的第一横向导向件84，第一导向底座81两侧设置有滑轨87，第一导向件82能沿滑轨87上升或者下降，而第一导向件82上侧也设置有滑轨，能供第一纵向导向件83沿着滑轨纵向移动，同理第一纵向导向件83上侧也设置有滑轨，供第一横向导向件84水平横向移动，最后第一横向导向件84与第二安装件61连接，因此第二安装件61能随之而多方向移动，优选的，第一导向件82还设置有固定板块88，固定板块88上开有椭圆通槽，该通槽供固定件89通过接着固定于一导向底座81上，同理第一导向件82与第一纵向导向件83也设置有固定板块88，以使用户移至合适位置后将固定件89固定进行定位。

在实施例一中，优选的，所述第二导向机构9包括第二导向底座91、能沿所述第二导向底座91上升或下降的第二导向件92、能沿所述第二导向件92纵向移动的第二纵向导向件93以及与所述第三安装件63连接且能沿所述第二纵向导向件93横向移动的第二横向导向件94，第二导向机构9的结构设置与第一导向机构8的结构设置相同，以使用户能将CCD移动至合适的位置。

在实施例一中，优选的，所述第一导向底座81设有能于所述第一导向底座81外壁推入或拉出的导向手柄85，所述第一导向底座1内还设有供所述导向手柄85推动而摆动使得所述第二安装件61升高的摆动件86，如图2与3所示，将摆动件86铰接于第一导向底座81内，以使其能绕铰接点前后摆动，将导向手柄85穿过第一导向底座81外壁而通入内部至摆动件86，当用户将导向手柄85向内部推动时，导向手柄85推动摆动件86，摆动件86摆动而将第一导向件82顶高而上升，反之，导向手柄85拉出后，第一导向件82下降，操作简单使用方便。

在实施例一中，优选的，所述第一导向件82上设有导向限位件821，所述第一纵向导向件83上设有导向限位板831，而第一纵向导向件83、第二导向件92以及第二纵向导向件93上都设置有导向限位件821，用于安装时对正定位。

工作原理：用户将被测光刻镜头置于第二安装件上，通过第一导向机构将被测光刻镜头对准chart图，再利用第二导向机构将CCD对准被测光刻镜头，再打开光源模组发射光斑，通过反射模组增加光程并反射至chart图上，chart图将带有图像的光斑映射至被测光刻镜头，被测光刻镜头将图案输出至CCD输出BMP格式图片计算出畸变、放大倍率以及MTF。

本实用新型为一种光刻镜检测平台，包括光源模组、图像模组、以及采集模组，光源模组发出长方形激光光斑至图像模组上，图像模组上自带有图案，图像模组把均匀光斑处理成带有图像的光斑映射至被测镜头由采集模组接收，采集模组输出图片，通过图片仲的图像来计算出镜头的畸变、放大倍率以及MTF，实现一站式检测，工序简单，操作容易，效率高。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型的技术范围作任何限制，故凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何细微修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。

Claims (10)

1.一种光刻镜头的检测平台，包括底座(1)和与所述底座(1)连接的支撑件(2)，其特征在于：所述支撑件(2)上设有光源模组(3)，所述支撑件(2)上还设有接收所述光源模组(3)光源的图像模组(4)，所述底座(1)上设有带有被测光刻镜头(5)且接收所述图像模组(4)映射图像的采集模组(6)。

2.根据权利要求1所述的一种光刻镜头的检测平台，其特征在于：所述光源模组(3)与所述图像模组(4)之间还设有用于增加光程的反射模组(7)，所述反射模组(7)设于所述支撑件(2)上。

3.根据权利要求2所述的一种光刻镜头的检测平台，其特征在于：所述反射模组(7)包括第一反射镜(71)与第二反射镜(72)，所述第一反射镜(71)接收所述光源模组(3)的光源并反射至所述第二反射镜(72)，所述第二反射镜(72)将光源反射至所述图像模组(4)。

4.根据权利要求1所述的一种光刻镜头的检测平台，其特征在于：所述采集模组(6)包括用于安装所述被测光刻镜头(5)的第二安装件(61)和采集所述被测光刻镜头(5)图像来计算出畸变、放大倍率、MTF的CCD(62)。

5.根据权利要求4所述的一种光刻镜头的检测平台，其特征在于：所述采集模组(6)还包括用于导向所述第二安装件(61)横向、纵向以及向上移动以带动所述被测光刻镜头(5)移动的第一导向机构(8)。

6.根据权利要求4所述的一种光刻镜头的检测平台，其特征在于：所述采集模组(6)还包括与所述CCD(62)连接的第三安装件(63)和与所述第三安装件(63)连接用于导向所述第三安装件(63)横向、纵向以及向上移动以带动所述CCD(62)移动的第二导向机构(9)。

7.根据权利要求5所述的一种光刻镜头的检测平台，其特征在于：所述第一导向机构(8)包括第一导向底座(81)、能沿所述第一导向底座(1)上升或下降的第一导向件(82)、能沿所述第一导向件(82)纵向移动的第一纵向导向件(83)以及与所述第二安装件(61)连接且能沿所述第一纵向导向件(83)横向移动的第一横向导向件(84)。

8.根据权利要求6所述的一种光刻镜头的检测平台，其特征在于：所述第二导向机构(9)包括第二导向底座(91)、能沿所述第二导向底座(91)上升或下降的第二导向件(92)、能沿所述第二导向件(92)纵向移动的第二纵向导向件(93)以及与所述第三安装件(63)连接且能沿所述第二纵向导向件(93)横向移动的第二横向导向件(94)。

9.根据权利要求7所述的一种光刻镜头的检测平台，其特征在于：所述第一导向底座(81)设有能于所述第一导向底座(81)外壁推入或拉出的导向手柄(85)，所述第一导向底座(1)内还设有供所述导向手柄(85)推动而摆动使得所述第二安装件(61)升高的摆动件(86)。

10.根据权利要求7所述的一种光刻镜头的检测平台，其特征在于：所述第一导向件(82)上设有导向限位件(821)，所述第一纵向导向件(83)上设有导向限位板(831)。

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