CN210346908U - 一种光度检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种光度检测装置，用于提高测试的精准度。该光度检测装置包括支撑架、积分球、测试治具、第一线性模组、和第二线性模组。积分球设置在支撑架上，积分球包括腔体和采样口。测试治具上设有安装位，安装位用于放置芯片。测试治具和第一线性模组连接，第一线性模组用于在第一方向上调节测试治具的位置。第二线性模组用于在第二方向上调节第一线性模组的位置。第一方向和第二方向垂直且平行于水平面。当测试芯片发射的光的光度时，采样口朝向芯片，以使芯片发射的光通过采样口进入腔体。这样，通过第一线性模组和第二线性模组在平行于水平面的方向上对测试治具的位置进行调节，实现对芯片发出的光的光度的检测，提高测试的精准度。

Description

一种光度检测装置

技术领域

本实用新型涉及测试设备技术领域，尤其涉及一种光度检测装置。

背景技术

芯片也称为集成电路(Integrated Circuit，IC)，是一种高价值和高精度的零部件，需要对其进行严格的产品检测。例如对发光的芯片需要进行光度检测。

现有的光度检测装置，在芯片供电发光后，使用光度测试器获取芯片发出的光，然后，对获取的光进行分析，得到测试结果。但是，这样的装置，因光度测试器和芯片的相对位置不方便进行控制，导致测试结果误差较大。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种光度检测装置，用于提高测试的精准度。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种光度检测装置，包括：

支撑架；

积分球，所述积分球设置在所述支撑架上，所述积分球包括腔体和采样口，所述腔体和所述采样口连通，所述积分球用于进行光度检测；

测试治具，所述测试治具上设有安装位，所述安装位用于放置待测试的芯片；

第一线性模组，所述测试治具和所述第一线性模组连接，所述第一线性模组用于在第一方向上调节所述测试治具的位置；

第二线性模组，所述第一线性模组设置在所述第二线性模组上，所述第二线性模组用于在第二方向上调节所述第一线性模组的位置；

所述第一方向和所述第二方向垂直，所述第一方向和所述第二方向平行于水平面；

当测试所述芯片发射的光的光度时，所述采样口朝向所述芯片，以使所述芯片发射的光通过所述采样口进入所述腔体。

可选地，所述光度检测装置还包括第一转动装置，所述第一转动装置设置在所述第一线性模组上，所述测试治具和所述第一转动装置连接，所述第一转动装置用于控制所述测试治具绕第一轴线转动；

所述第一轴线平行于水平面。

可选地，所述光度检测装置还包括第二转动装置；

所述第二转动装置设置在所述第一转动装置上，所述测试治具设置在所述第二转动装置上，所述第二转动装置用于控制所述测试治具绕第二轴线转动，所述第二轴线垂直于水平面；

所述第一转动装置还用于控制所述第二转动装置绕所述第一轴线转动。

可选地，所述第一线性模组包括第一电机、第一滑台、第一导轨和第一滚珠丝杆；

所述第一滚珠丝杆和所述第一电机的输出轴连接，所述第一滚珠丝杆贯穿所述第一滑台，所述第一滚珠丝杆和所述第一滑台螺纹连接，所述第一滑台和所述第一导轨滑动连接；

所述测试治具和所述第一滑台连接。

可选地，所述第二线性模组包括第二电机、第二滑台、第二导轨和第二滚珠丝杆；

所述第二滚珠丝杆和所述第二电机的输出轴连接，所述第二滚珠丝杆贯穿所述第二滑台，所述第二滚珠丝杆和所述第二滑台螺纹连接，所述第二滑台和所述第二导轨滑动连接；

所述第一线性模组设置在所述第二滑台上。

可选地，所述第一转动装置包括驱动电机、电机安装架和转动平台，所述驱动电机的输出轴和所述转动平台固定连接，所述测试治具和所述转动平台连接；

所述驱动电机安装在所述电机安装架上，所述电机安装架设置在所述第一线性模组上；

所述驱动电机的输出轴的延伸方向平行于水平面。

可选地，所述第二转动装置包括电动旋转平台，所述电动旋转平台包括转动面和固定座，所述转动面能相对所述固定座转动；

所述测试治具设置在所述转动面上，所述固定座设置在所述第一转动装置上。

可选地，所述采样口的朝向为沿竖直方向向下；

所述安装位包括容置腔，所述容置腔用于容置所述芯片，所述容置腔的朝向为沿竖直方向向上。

可选地，所述支撑架包括架体和第三线性模组，所述第三线性模组设置在所述架体上，所述积分球和所述第三线性模组连接；

所述第三线性模组用于在竖直方向上调节所述积分球的位置。

可选地，所述芯片为垂直腔面发射激光器VCSEL芯片。

本实用新型的有益效果：

本实用新型实施例的光度检测装置，包括支撑架、积分球、测试治具、第一线性模组、和第二线性模组。其中，积分球设置在支撑架上，积分球包括腔体和采样口，腔体和采样口连通，积分球用于进行光度检测。测试治具上设有安装位，安装位用于放置待测试的芯片。测试治具和第一线性模组连接，第一线性模组用于在第一方向上调节测试治具的位置。第一线性模组设置在第二线性模组上，第二线性模组用于在第二方向上调节第一线性模组的位置。因测试治具和第一线性模组连接，从而第二线性模组通过调节第一线性模组的位置实现在第二方向上调节测试治具的位置。第一方向和第二方向垂直，第一方向和第二方向平行于水平面。当测试芯片发射的光的光度时，采样口朝向芯片，以使芯片发射的光通过采样口进入腔体。这样，通过第一线性模组和第二线性模组在平行于水平面的方向上对测试治具的位置进行调节，使得放置在测试治具上的芯片对准采样口，芯片发射的光能精准地通过采样口进入积分球的腔体，实现对芯片发出的光的光度的检测，从而提高了测试的精准度。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1为本实用新型实施例提供的一种光度检测装置的结构示意图；

图2为图1所示的光度检测装置的左视图；

图3为图1所示的光度检测装置的俯视图；

图4为图1所示的光度检测装置的积分球的结构示意图。

图中：

1、支撑架；11、架体；12、第三线性模组；2、第一线性模组；3、第二线性模组；4、第一转动装置；41、驱动电机；42、电机安装架；43、转动平台；5、第二转动装置；6、测试治具；61、安装位；7、积分球；8、采样口；9、器件连接位。

具体实施方式

本实用新型实施例提供了一种光度检测装置，用于提高测试的精准度。

为使得本实用新型的实用新型目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，下面所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而非全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

图1为本实用新型实施例提供的一种光度检测装置的结构示意图，图2为图1所示的光度检测装置的左视图，图3为图1所示的光度检测装置的俯视图。

参阅图1、图2和图3，本实用新型实施例的光度检测装置包括支撑架1、积分球7、测试治具6、第一线性模组2、和第二线性模组3。

其中，积分球7设置在支撑架1上，积分球7包括腔体和采样口8，腔体和采样口8连通，积分球7用于进行光度检测。

其中，光度(luminosity)是物体每单位时间内辐射出的总能量，即辐射通量。

在图1中没有示出积分球7，如图1所示，在支撑架1上设有器件连接位9，积分球7可安装到该器件连接位9上。积分球7的具体示例可参考图4，积分球7包括腔体和采样口8，腔体位于积分球7内部。

积分球7的工作原理是，光通过采样口8被积分球7收集在积分球7内部的腔体中，光在该腔体中经过多次反射后可均匀地散射在积分球7内部。使用积分球7来测量光通量时，可使得测量结果更为可靠，积分球7可降低并除去由光线的形状、发散角度、及探测器上不同位置的响应度差异所造成的测量误差。

在本实用新型实施例中，测试治具6上设有安装位61，安装位61用于放置待测试的芯片。该安装位61例如为容置腔。

测试治具6和第一线性模组2连接，第一线性模组2用于在第一方向上调节测试治具6的位置。

第一线性模组2设置在第二线性模组3上，第二线性模组3用于在第二方向上调节第一线性模组2的位置。因测试治具6和第一线性模组2连接，第一线性模组2在第二方向上位置发生变化，测试治具6也随之在第二方向上位置发生变化，从而第二线性模组3可在第二方向上调节测试治具6的位置。

在本实用新型实施例中，第一方向和第二方向垂直，第一方向和第二方向平行于水平面。这样，第一线性模组2和第二线性模组3可调节测试治具6在水平面上的位置。

当测试芯片发射的光的光度时，采样口8朝向芯片，以使芯片发射的光通过采样口8进入积分球7的腔体。这样，积分球7可测试芯片发出的光的光度。具体来说，使芯片发射的某根光线通过采样口8垂直射入积分球7的腔体中，以对该光线进行光度能量测试。

为了方便对芯片的测试，可选地，采样口8的朝向为沿竖直方向向下。前述的安装位61包括容置腔，容置腔用于容置芯片，容置腔的朝向为沿竖直方向向上。这样，芯片放置到容置腔后，芯片发出的光能从下至上通过采样口8进入积分球7的腔体内。

在一个具体的实现方式中，支撑架1包括架体11和第三线性模组12，第三线性模组12设置在架体11上，积分球7和第三线性模组12连接。第三线性模组12用于在竖直方向上调节积分球7的位置。这样，第一线性模组2和第二线性模组3可调节测试治具6在水平面上的位置，以改变芯片和积分球7在水平面方向上的相对位置。而第三线性模组12可改变芯片和积分球7在垂直于水平面的方向上的相对位置。通过第一线性模组2、第二线性模组3和第三线性模组12可使得芯片所处的测试位置更符合要求，从而得到更精确的测试结果。

应该理解，在本发明实施例中，第一线性模组2、第二线性模组3、第三线性模组12属于线性模组(linear unite)，线性模组是指在自动化工业领域中对能够实现直线运动的装置的统称，也称为定位模组。其中，线性模组主要有两种实现方式，一种是滚珠丝杠和直线导轨组成，另一种是用同步带及同步带轮组成。

关于第一线性模组2的具体实现方式有多种，例如为滚珠丝杠和直线导轨组成的线性模组，或者是同步带及同步带轮组成的线性模组。

在一个具体的示例中，如图1所示，第一线性模组2包括第一电机、第一滑台、第一导轨和第一滚珠丝杆。第一滚珠丝杆和第一电机的输出轴连接，第一滚珠丝杆贯穿第一滑台，第一滚珠丝杆和第一滑台螺纹连接，第一滑台和第一导轨滑动连接。测试治具6和第一滑台连接。这样，第一电机的输出轴带动第一滚珠丝杆转动，因第一滚珠丝杆和第一滑台螺纹连接，从而第一滑台相对第一滚珠丝移动，具体为第一滑台在第一导轨上滑动。因测试治具6和第一滑台连接，从而测试治具6随着第一滑台的移动而移动，这样即可实现对测试治具6的位置的调节。

关于第二线性模组3的具体实现方式有多种，例如为滚珠丝杠和直线导轨组成的线性模组，或者是同步带及同步带轮组成的线性模组。

在一个具体的示例中，如图1所示，第二线性模组3包括第二电机、第二滑台、第二导轨和第二滚珠丝杆。第二滚珠丝杆和第二电机的输出轴连接，第二滚珠丝杆贯穿第二滑台，第二滚珠丝杆和第二滑台螺纹连接，第二滑台和第二导轨滑动连接。第一线性模组2设置在第二滑台上。这样，第二电机的输出轴带动第二滚珠丝杆转动，因第二滚珠丝杆和第二滑台螺纹连接，从而第二滑台相对第二滚珠丝移动，具体为第二滑台在第二导轨上滑动。因第一线性模组2设置在第二滑台上，从而第一线性模组2随着第二滑台的移动而移动，这样即可实现对第一线性模组2的位置的调节。

为了增加对芯片位置的调整角度，以增加测试精确度，可选地，光度检测装置还包括第一转动装置4，第一转动装置4设置在第一线性模组2上，测试治具6和第一转动装置4连接，第一转动装置4用于控制测试治具6绕第一轴线转动。第一轴线平行于水平面。这样，可实现对芯片发出的光相对积分球7的采集口的入射角度的调整。

第一转动装置4的实现方式有多种，例如，如图1和图2所示，第一转动装置4包括驱动电机41、电机安装架42和转动平台43，驱动电机41的输出轴和转动平台43固定连接，测试治具6和转动平台43连接。驱动电机41安装在电机安装架42上，电机安装架42设置在第一线性模组2上。驱动电机41的输出轴的延伸方向平行于水平面。这样，驱动电机41只需转动输出轴，即可实现控制测试治具6绕第一轴线转动，其中，在本示例中，第一轴线为驱动电机41的输出轴的中线。

可选地，第一转动装置4可以设置电流源，该电流源可向测试治具6上的芯片进行供电。

为了增加对芯片位置的调整角度，以增加测试精确度，可选地，光度检测装置还包括第二转动装置5。第二转动装置5设置在第一转动装置4上，测试治具6设置在第二转动装置5上，测试治具6通过第二转动装置5和第一转动装置4连接。第二转动装置5用于控制测试治具6绕第二轴线转动，第二轴线垂直于水平面。第一转动装置4还用于控制第二转动装置5绕第一轴线转动，因测试治具6设置在第二转动装置5上，从而第一转动装置4控制测试治具6绕第一轴线转动。第二轴线垂直于水平面，第一轴线平行于水平面，这样，可实现对测试治具6的任意放置角度的调整，直至芯片发出的光能准确进入采集口为止，从而提高了测试精度。

第二转动装置5的实现方式有多种，例如，如图1和图2所示，第二转动装置5包括电动旋转平台，电动旋转平台包括转动面和固定座，转动面能相对固定座转动。测试治具6设置在转动面上，固定座设置在第一转动装置4上。这样，转动面相对固定座转动时，带动测试治具6的转动。

本实用新型实施例的待测试的芯片能发射出光线，例如，该芯片为垂直腔面发射激光器(Vertical Cavity Surface Emitting Laser，VCSEL)芯片。

本实用新型实施例的光度检测装置具体的使用过程可以为：将VCSEL芯片放置在测试治具6上。对VCSEL芯片进行光斑检测后，找出VCSEL芯片的发光最亮点。然后，通过第一线性模组2在第一方向上的位置补正、第二线性模组3在第二方向上的位置补正、第一转动装置4在绕第一轴线的方向上的位置补正、第二转动装置5在绕第二轴线的方向上的位置补正，使VCSEL芯片发光最亮点直射到积分球7的采样口8，进行光度检测。

应该理解，如图1所示，本发明实施例的光度检测装置还可以包括机架，支撑架1、第一线性模组2、第二线性模组3、第一转动装置4、第二转动装置5等部件设置在机架的台面上。

应该理解，在本发明实施例的光度检测装置中，还可以包括拖链，第一线性模组2可和拖链连接，拖链用于引导第一线性模组2的移动。

综上所述，本实用新型实施例的光度检测装置，包括支撑架1、积分球7、测试治具6、第一线性模组2、和第二线性模组3。其中，积分球7设置在支撑架1上，积分球7包括腔体和采样口8，腔体和采样口8连通，积分球7用于进行光度检测。测试治具6上设有安装位61，安装位61用于放置待测试的芯片。测试治具6和第一线性模组2连接，第一线性模组2用于在第一方向上调节测试治具6的位置。第一线性模组2设置在第二线性模组3上，第二线性模组3用于在第二方向上调节第一线性模组2的位置。因测试治具6和第一线性模组2连接，从而第二线性模组3通过调节第一线性模组2的位置实现在第二方向上调节测试治具6的位置。第一方向和第二方向垂直，第一方向和第二方向平行于水平面。当测试芯片发射的光的光度时，采样口8朝向芯片，以使芯片发射的光通过采样口8进入腔体。这样，通过第一线性模组2和第二线性模组3在平行于水平面的方向上对测试治具6的位置进行调节，使得放置在测试治具6上的芯片对准采样口8，芯片发射的光能精准地通过采样口8进入积分球7的腔体，实现对芯片发出的光的光度的检测，从而提高了测试的精准度。

以上所述，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种光度检测装置，其特征在于，包括：

支撑架；

积分球，所述积分球设置在所述支撑架上，所述积分球包括腔体和采样口，所述腔体和所述采样口连通，所述积分球用于进行光度检测；

测试治具，所述测试治具上设有安装位，所述安装位用于放置待测试的芯片；

第一线性模组，所述测试治具和所述第一线性模组连接，所述第一线性模组用于在第一方向上调节所述测试治具的位置；

第二线性模组，所述第一线性模组设置在所述第二线性模组上，所述第二线性模组用于在第二方向上调节所述第一线性模组的位置；

所述第一方向和所述第二方向垂直，所述第一方向和所述第二方向平行于水平面；

当测试所述芯片发射的光的光度时，所述采样口朝向所述芯片，以使所述芯片发射的光通过所述采样口进入所述腔体。

2.根据权利要求1所述的光度检测装置，其特征在于，

所述光度检测装置还包括第一转动装置，所述第一转动装置设置在所述第一线性模组上，所述测试治具和所述第一转动装置连接，所述第一转动装置用于控制所述测试治具绕第一轴线转动；

所述第一轴线平行于水平面。

3.根据权利要求2所述的光度检测装置，其特征在于，

所述光度检测装置还包括第二转动装置；

所述第二转动装置设置在所述第一转动装置上，所述测试治具设置在所述第二转动装置上，所述第二转动装置用于控制所述测试治具绕第二轴线转动，所述第二轴线垂直于水平面；

所述第一转动装置还用于控制所述第二转动装置绕所述第一轴线转动。

4.根据权利要求1所述的光度检测装置，其特征在于，

所述第一线性模组包括第一电机、第一滑台、第一导轨和第一滚珠丝杆；

所述第一滚珠丝杆和所述第一电机的输出轴连接，所述第一滚珠丝杆贯穿所述第一滑台，所述第一滚珠丝杆和所述第一滑台螺纹连接，所述第一滑台和所述第一导轨滑动连接；

所述测试治具和所述第一滑台连接。

5.根据权利要求4所述的光度检测装置，其特征在于，

所述第二线性模组包括第二电机、第二滑台、第二导轨和第二滚珠丝杆；

所述第二滚珠丝杆和所述第二电机的输出轴连接，所述第二滚珠丝杆贯穿所述第二滑台，所述第二滚珠丝杆和所述第二滑台螺纹连接，所述第二滑台和所述第二导轨滑动连接；

所述第一线性模组设置在所述第二滑台上。

6.根据权利要求2所述的光度检测装置，其特征在于，

所述第一转动装置包括驱动电机、电机安装架和转动平台，所述驱动电机的输出轴和所述转动平台固定连接，所述测试治具和所述转动平台连接；

所述驱动电机安装在所述电机安装架上，所述电机安装架设置在所述第一线性模组上；

所述驱动电机的输出轴的延伸方向平行于水平面。

7.根据权利要求3所述的光度检测装置，其特征在于，

所述第二转动装置包括电动旋转平台，所述电动旋转平台包括转动面和固定座，所述转动面能相对所述固定座转动；

所述测试治具设置在所述转动面上，所述固定座设置在所述第一转动装置上。

8.根据权利要求1所述的光度检测装置，其特征在于，

所述采样口的朝向为沿竖直方向向下；

所述安装位包括容置腔，所述容置腔用于容置所述芯片，所述容置腔的朝向为沿竖直方向向上。

9.根据权利要求1所述的光度检测装置，其特征在于，

所述支撑架包括架体和第三线性模组，所述第三线性模组设置在所述架体上，所述积分球和所述第三线性模组连接；

所述第三线性模组用于在竖直方向上调节所述积分球的位置。

10.根据权利要求1所述的光度检测装置，其特征在于，

所述芯片为垂直腔面发射激光器VCSEL芯片。

Images