CN210294652U - 用于数字光刻设备的大数值孔径双远心镜头 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种用于数字光刻设备的大数值孔径双远心镜头，包括镜筒，所述镜筒前侧的端面上连接有两个反光镜，反光镜和镜筒的连接点在镜筒的圆形前端的一条直径上，反光镜上连接与镜筒的一端位球体；所述球体的上端有上挡板，下端有下挡板；所述镜筒前侧的端面上固定连接有球体座，球体与球体座连接。解决了现有技术中双远心镜头存在的体积大的问题，具有扩展视场的特征，有利于清晰成像，操作简便。
Description
技术领域
本实用新型涉及光学仪器领域，特别涉及一种用于数字光刻设备的大数值孔径双远心镜头。
背景技术
远心镜头主要是为纠正传统工业镜头视差而设计，它可以在一定的物距范围内，使得到的图像放大倍率不会变化，这对被测物不在同一物面上的情况是非常重要的应用。由于其特有的平行光路设计一直为对镜头畸变要求很高的机器视觉应用场合所青睐。
双远心镜头是平行光进出，所以需要多大拍摄面积，就需要多大面积的平行光进入，就需要多大面积的镜筒，所以双远心镜头体积通常都比较大，而且视场越大，体积越大。
所以亟需一种能够在原有镜头基础上再度扩展视场的组合式镜头来满足图像获取的需求。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供用于数字光刻设备的大数值孔径双远心镜头，解决了现有技术中双远心镜头存在的体积大的问题，具有扩展视场的特征，有利于清晰成像，操作简便。
本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：
一种用于数字光刻设备的大数值孔径双远心镜头，包括镜筒1，所述镜筒1前侧的端面上连接有两个反光镜2，反光镜2和镜筒1的连接点在镜筒1的圆形前端的一条直径上，反光镜2上连接与镜筒1的一端位球体3；所述球体3的上端有上挡板5，下端有下挡板10；所述镜筒1前侧的端面上固定连接有球体座4，球体3与球体座4连接。
作为本实用新型更有的技术方案，所述球体座4包括底座7、顶盖6、上调节钉8和下调节钉9，底座7上开设有与球体3的球面配合的弧形凹槽，顶盖6上的中心开设有用于反光镜2穿过的第一通孔，第一通孔的上下两端开设有两个对称的用于上调节钉8和下调节钉9穿过的第二通孔，底座7和顶盖6固定连接后形成空腔，球体3、上挡板5和下挡板10至于空腔内，上调节钉8穿过顶盖6抵靠在上挡板5上，下调节钉9穿过顶盖6抵靠在下挡板 10上。
作为本实用新型更有的技术方案，所述球体3与所述球体座4的接触面为磨砂面。
作为本实用新型更有的技术方案，所述底座7和所述顶盖6通过螺钉固定连接。
有益效果如下：
本实用新型扩展了视场，并且通过调节钉调节角度，有利于清晰成像，操作简便。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型的4-球体座示意图。
图中：1、双远心镜头；2、反光镜；3、球体；4、球体座；5、上挡板；6、顶盖；7、底座；8、上调节钉；9、下调节钉；10、下挡板。
具体实施方式
结合附图对本实用新型作进一步说明。
如图1所示，本实用新型提供一种用于数字光刻设备的大数值孔径双远心镜头，包括镜筒1，所述镜筒1前侧的端面上连接有两个反光镜2，反光镜2和镜筒1的连接点在镜筒1的圆形前端的一条直径上，反光镜2上连接与镜筒1的一端位球体3；所述球体3的上端有上挡板5，下端有下挡板10；所述镜筒1前侧的端面上固定连接有球体座4，球体3与球体座4连接。
如图2所示，所述球体座4包括底座7、顶盖6、上调节钉8和下调节钉9，底座7上开设有与球体3的球面配合的弧形凹槽，顶盖6上的中心开设有用于反光镜2穿过的第一通孔，第一通孔的上下两端开设有两个对称的用于上调节钉8和下调节钉9穿过的第二通孔，底座7和顶盖6固定连接，球体3、上挡板5和下挡板10至于空腔内，上调节钉8穿过顶盖6抵靠在上挡板5上，下调节钉9穿过顶盖6抵靠在下挡板10上。所述底座7和所述顶盖6间形成空腔，所述顶盖6中心处设置有方形槽，所述反光镜2从其中通过，所述顶盖6 上的所述方形槽上下各设置有一个通孔，调节钉通过所述通孔能够与所述挡板5接触，所述底座7固定安装于所述双远心镜头1的前侧。所述球体3与所述球体座4的接触面为粗糙的磨砂面，增加了球体3与所述球体座4相对滑动时摩擦力。所述底座7与双远心镜头1固定连接，安装反光镜2时，将反光镜2放于底座7的合适位置，再盖上顶盖6，反光镜2从方形槽中通过，使顶盖6和底座7的安装孔重合，通过螺钉固定连接。
本实用新型的使用过程如下：
在调试时，若需要向上调节反光镜2，可通过向内旋转上调节钉8，向外旋转下调节钉 9。上调节钉8接触上挡板5并推动上挡板5，上挡板5带动球体3转动，球体3与球体座4 相对滑动，反光镜2也同时以球体3为轴向上转动。确定反光镜2的位置后，旋转下调节钉 9使其与下挡板10接触，起稳定反光镜2的作用。若需要向下调节反光镜2，可通过向外旋转上调节钉8，向内旋转下调节钉9。下调节钉9接触下挡板10并推动下挡板10，下挡板10带动球体3转动，球体3与球体座4相对滑动，反光镜2也同时以球体3为轴向下转动。确定反光镜2的位置后，旋转上调节钉8使其与上挡板5接触，起稳定反光镜2的作用。
本实用新型应用于数字光刻设备，通过在镜头前侧设置有反光镜扩展了视场，能够为镜头反射更多的平行光，并且通过调节钉调节角度，有利于清晰成像，操作简便。
尽管本实用新型的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用。它完全可以被适用于各种适合本实用新型的领域。对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改。因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本实用新型并不限于特定的细节和这里示出与描述的图。
Claims (4)
1.一种用于数字光刻设备的大数值孔径双远心镜头，其特征在于：包括镜筒(1)，所述镜筒(1)前侧的端面上连接有两个反光镜(2)，反光镜(2)和镜筒(1)的连接点在镜筒(1)的圆形前端的一条直径上，反光镜(2)上连接与镜筒(1)的一端位球体(3)；所述球体(3)的上端有上挡板(5)，下端有下挡板(10)；所述镜筒(1)前侧的端面上固定连接有球体座(4)，球体(3)与球体座(4)连接。
2.如权利要求1所述的一种用于数字光刻设备的大数值孔径双远心镜头，其特征在于：所述球体座(4)包括底座(7)、顶盖(6)、上调节钉(8)和下调节钉(9)，底座(7)上开设有与球体(3)的球面配合的弧形凹槽，顶盖(6)上的中心开设有用于反光镜(2)穿过的第一通孔，第一通孔的上下两端开设有两个对称的用于上调节钉(8)和下调节钉(9)穿过的第二通孔，底座(7)和顶盖(6)固定连接后形成空腔，球体(3)、上挡板(5)和下挡板(10)至于空腔内，上调节钉(8)穿过顶盖(6)抵靠在上挡板(5)上，下调节钉(9)穿过顶盖(6)抵靠在下挡板(10)上。
3.如权利要求1所述的一种用于数字光刻设备的大数值孔径双远心镜头，其特征在于：所述球体(3)与所述球体座(4)的接触面为磨砂面。
4.如权利要求2所述的一种用于数字光刻设备的大数值孔径双远心镜头，其特征在于：所述底座(7)和所述顶盖(6)通过螺钉固定连接。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201821824294.XU CN210294652U (zh) | 2018-11-07 | 2018-11-07 | 用于数字光刻设备的大数值孔径双远心镜头 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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|---|---|
| CN210294652U true CN210294652U (zh) | 2020-04-10 |
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Family Applications (1)
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Country Status (1)
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|---|---|
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2018
- 2018-11-07 CN CN201821824294.XU patent/CN210294652U/zh active Active
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