CN210287520U

CN210287520U - 一种用于气相沉积炉的搅拌进气装置

Info

Publication number: CN210287520U
Application number: CN201921399116.1U
Authority: CN
Inventors: 张宜杰
Original assignee: Yantai Luhang Carbon Materials Technology Co ltd
Current assignee: Yantai Luhang Carbon Materials Technology Co ltd
Priority date: 2019-08-27
Filing date: 2019-08-27
Publication date: 2020-04-10
Anticipated expiration: 2029-08-27

Abstract

本实用新型涉及一种用于气相沉积炉的搅拌进气装置，包括进气组件、驱动组件、传动组件和搅拌组件；进气组件包括进气管A和固定套，进气管A安装在固定套侧壁上；驱动组件与传动组件连接；传动组件包括中空转轴，中空转轴插装在固定套中的端部侧壁上开有多个进气孔，其上端与搅拌组件的进气管B的下端连接；搅拌组件包括在进气管B和安装在进气管B端部的搅拌风扇。碳源气体从进气管A进入，经过中空转轴进入进气管B中，进气管B的顶端出口伸入沉积室中，气体经过进气管B进入沉积室内，搅拌风扇匀速旋转，使气体均匀的向沉积室各个方向分散，持续搅拌保证沉积室的气场浓度和温度相对均匀，产品的沉积密度均匀，没有气场浓度死角，不会形成炭黑。

Description

一种用于气相沉积炉的搅拌进气装置

技术领域

本实用新型涉及一种用于气相沉积炉的搅拌进气装置，属于气相沉积进气设备技术领域。

背景技术

炭/炭刹车盘的生产工艺复杂，生产周期长，一般需要多次高温处理和1000小时左右的气相沉积(3-5次，每次沉积200-400小时)。目前，炭/炭刹车盘气相沉积方式基本一致，即在炉子均温区域内，产品摆放在一个相对密封的石墨或炭/炭筒形空间内(即沉积室)，碳源气体从炉底中心进气管进入沉积室裂解，在恒温、恒压条件下，热解炭逐渐增密产品，残余气体从沉积室顶部开口处，由沉积炉真空系统抽出。

在实际中，长时间气的相沉积过程，沉积室内气场分布相对稳定，即靠近出气孔部位，增密速度快，这样易造成单个炭盘的径向和圆周方向密度不均，沉积室内整批产品从下到上的增密程度也逐渐变低。虽然在后续的沉积周期中，炭盘在沉积室内的摆放会根据密度高低更换摆放位置，但无法保证其径向密度均匀，影响其性能；另外，在长时间的沉积过程中，沉积室内气场浓度存在梯度和死角，易形成炭黑，影响增密效果。因此，需要一种能够保证沉积室气场分布均匀、避免出现气场浓度梯度或死角的气相沉积炉进气设备。

实用新型内容

本实用新型针对目前炭/炭刹车盘气相沉积生产工艺过程中存在的沉积室气场分布不均、存在气场浓度梯度和死角等问题，提供一种用于气相沉积炉的搅拌进气装置。

本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：一种用于气相沉积炉的搅拌进气装置，其特征在于，包括进气组件、驱动组件、传动组件和搅拌组件；所述的进气组件包括进气管A和固定套，进气管A安装在固定套侧壁上；所述的驱动组件与传动组件连接；所述的传动组件包括中空转轴，中空转轴插装在固定套中的端部侧壁上开有多个进气孔，其上端与搅拌组件的进气管B的下端连接；所述的搅拌组件包括在进气管B和安装在进气管B端部的搅拌风扇。碳源气体从进气管A进入，通过进气孔进入中空转轴，然后进入进气管B中，进气管B的顶端出口伸入到沉积室中，碳源气体经过进气管B进入沉积室内，搅拌风扇匀速旋转，使其均匀的向沉积室的各个方向分散，弥漫整个沉积室，搅拌风扇持续的搅拌可以保证沉积室的气场浓度相对均匀，温度相对均匀，产品的沉积密度均匀，并且没有气场浓度死角，不会形成炭黑。

在上述技术方案的基础上，本实用新型为了达到使用的方便以及装备的稳定性，还可以对上述的技术方案作出如下的改进：

进一步，所述的驱动组件包括电机和与电机连接的被动转轮，被动转轮固定安装在所述的中空转轴中部，电机转动带动被动转轮、中空转轴转动，进气管B联动，带动搅拌风扇旋转。

进一步，所述的固定套底部插装在密封压盖内，顶部通过螺栓安装带有中孔的挡尘板，固定套的侧壁与固定座连接，保证固定套的稳定；所述的密封压盖与固定套螺纹连接，并且在固定套端面与密封压盖间安装密封圈；所述的中空转轴的下端通过下轴承安装在固定套内，且在中空转轴上套装真空动密封圈A，真空动密封圈A位于固定套内且在挡尘板下方与挡尘板贴合，保证了碳源气体从进气管A进入固定套中后的密封性；所述的中空转轴的端部安装下轴承挡圈，下轴承挡圈与下轴承贴合，保证中空转轴的平稳转动；碳源气体充满固定套后，从进气孔匀速持续进入中空转轴中。

进一步，所述的中空转轴的上端通过上轴承安装在炉底轴套内，炉底轴套的端部通过螺栓安装带有中孔的动密封套，动密封套的中孔内安装真空动密封圈B，轴套压盖通过螺栓固定在动密封套的端部，上轴承有两个，两个上轴承相对面之间安装上轴承隔套，两个上轴承相背面安装上轴承挡圈，保证了中空转轴上端的稳定，使中空转轴的转动平稳；所述的炉底轴套安装在沉积炉底部，可从炉底拆卸、安装。

进一步，所述的搅拌组件还包括安装在进气管B底部的挡尘垫，防止杂质通过中空转轴和进气管B的连接缝隙中进入到沉积炉内，影响沉积效果，导致产品性能缺陷。

进一步，所述的进气孔为至少3个，均匀分布在中空转轴下端，使碳源气体更加均匀和及时的进入中空转轴中。

进一步，所述的进气管B位于搅拌风扇下方的端部侧壁上至少设有两个出气孔，在进气管B的匀速转动作用下，碳源气体可以更快的分散，然后通过搅拌风扇的匀速旋转使碳源气体均匀进入沉积室内。

本实用新型的优点在于：结构合理，操作实用简便；在进气的同时搅拌沉积室内的碳源气体，沉积室内气场浓度均匀、温度均匀，避免出现气场浓度梯度或死角，产品的沉积增密效果均匀，性能稳定；搅拌速度可调，而且通过更换叶片角度，调节其搅拌气场分布，达到均匀沉积效果。

附图说明

图1为一种用于气相沉积炉的搅拌进气装置的整体结构示意图；

图2为进气组件结构示意图；

图3为炉底轴套内部结构示意图。

附图标记记录如下：1-进气组件，1.1-进气管A，1.2-固定套，1.3-密封压盖，1.4-挡尘板，1.5-真空动密封圈A，1.6-固定座，2-驱动组件，2.1-电机，2.2-被动转轮，3-传动组件，3.1-中空转轴，3.1.1-进气孔，3.2-炉底轴套，3.3-下轴承，3.4-下轴承挡圈，3.5-上轴承，3.6-上轴承挡圈，3.7-上轴承隔套，3.8-动密封套，3.9-真空动密封圈B，3.10-轴套压盖，4-搅拌组件，4.1-进气管B，4.1.1-出气孔，4.2-搅拌风扇，4.3-挡尘垫。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。

一种用于气相沉积炉的搅拌进气装置，包括进气组件1、驱动组件2、传动组件3和搅拌组件4；所述的进气组件1包括进气管A1.1和固定套1.2，进气管A1.1安装在固定套1.2侧壁上；所述的驱动组件2与传动组件3连接；所述的传动组件3包括中空转轴3.1，中空转轴3.1插装在固定套1.2中的端部侧壁上开有多个进气孔3.1.1，其上端与搅拌组件4的进气管B4.1的下端连接；所述的搅拌组件4包括在进气管B4.1和安装在进气管B4.1端部的搅拌风扇4.2。所述的驱动组件2包括电机2.1和与电机2.1连接的被动转轮2.2，被动转轮2.2固定安装在所述的中空转轴3.1中部，电机2.1转动带动被动转轮2.2、中空转轴3.1转动，进气管B4.1联动，带动搅拌风扇4.2旋转。

碳源气体从进气管A1.1进入，通过进气孔3.1.1进入中空转轴3.1，然后进入进气管B4.1中，进气管B4.1的顶端出口伸入到沉积室中，碳源气体经过进气管B4.1进入沉积室内，搅拌风扇4.2匀速旋转，使其均匀的向沉积室的各个方向分散，弥漫整个沉积室，搅拌风扇4.2持续的搅拌可以保证沉积室的气场浓度相对均匀，温度相对均匀，产品的沉积密度均匀，并且没有气场浓度死角，不会形成炭黑。

固定套1.2底部插装在密封压盖1.3内，顶部通过螺栓安装带有中孔的挡尘板1.4，固定套1.2的侧壁与固定座1.6连接，保证固定套1.2的稳定；密封压盖1.3与固定套1.2螺纹连接，并且在固定套1.2端面与密封压盖1.3间安装密封圈；中空转轴3.1的下端通过下轴承3.3安装在固定套1.2内，且在中空转轴3.1上套装真空动密封圈A1.5，真空动密封圈A1.5位于固定套1.2内且在挡尘板1.4下方与挡尘板1.4贴合，保证了碳源气体从进气管A1.1进入固定套1.2中后的密封性；中空转轴3.1的端部安装下轴承挡圈3.4，下轴承挡圈3.4与下轴承3.3贴合，保证中空转轴3.1的平稳转动；碳源气体充满固定套1.2后，从进气孔3.1.1匀速持续进入中空转轴3.1中。中空转轴3.1的上端通过上轴承3.5安装在炉底轴套3.2内，炉底轴套3.2的端部通过螺栓安装带有中孔的动密封套3.8，动密封套3.8的中孔内安装真空动密封圈B3.9，轴套压盖3.10通过螺栓固定在动密封套3.8的端部，上轴承3.5有两个，两个上轴承3.5相对面之间安装上轴承隔套3.7，两个上轴承3.5相背面安装上轴承挡圈3.6，保证了中空转轴3.1上端的稳定，使中空转轴3.1的转动平稳；炉底轴套3.2安装在沉积炉底部，可从炉底拆卸、安装。搅拌组件4还包括安装在进气管B4.1底部的挡尘垫4.3，防止杂质通过中空转轴3.1和进气管B4.1的连接缝隙中进入到沉积炉内，影响沉积效果，导致产品性能缺陷。进气孔3.1.1为至少3个，均匀分布在中空转轴3.1下端，使碳源气体更加均匀和及时的进入中空转轴3.1中。进气管B4.1位于搅拌风扇4.2下方的端部侧壁上至少设有两个出气孔4.1.1，在进气管B4.1的匀速转动作用下，碳源气体可以更快的分散，然后通过搅拌风扇4.2的匀速旋转使碳源气体均匀进入沉积室内。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims

1.一种用于气相沉积炉的搅拌进气装置，其特征在于，包括进气组件(1)、驱动组件(2)、传动组件(3)和搅拌组件(4)；所述的进气组件(1)包括进气管A(1.1)和固定套(1.2)，进气管A(1.1)安装在固定套(1.2)侧壁上；所述的驱动组件(2)与传动组件(3)连接；所述的传动组件(3)包括中空转轴(3.1)，中空转轴(3.1)插装在固定套(1.2)中的端部侧壁上开有多个进气孔(3.1.1)，上端与搅拌组件(4)的进气管B(4.1)的下端连接；所述的搅拌组件(4)包括在进气管B(4.1)和安装在进气管B(4.1)端部的搅拌风扇(4.2)。

2.根据权利要求1所述的用于气相沉积炉的搅拌进气装置，其特征在于，所述的驱动组件(2)包括电机(2.1)和与电机(2.1)连接的被动转轮(2.2)，被动转轮(2.2)固定安装在所述的中空转轴(3.1)中部。

3.根据权利要求1所述的用于气相沉积炉的搅拌进气装置，其特征在于，所述的固定套(1.2)底部插装在密封压盖(1.3)内，顶部通过螺栓安装带有中孔的挡尘板(1.4)，固定套(1.2)的侧壁与固定座(1.6)连接；所述的密封压盖(1.3)与固定套(1.2)螺纹连接，并且在固定套(1.2)端面与密封压盖(1.3)间安装密封圈。

4.根据权利要求1所述的用于气相沉积炉的搅拌进气装置，其特征在于，所述的中空转轴(3.1)的下端通过下轴承(3.3)安装在固定套(1.2)内，且在中空转轴(3.1)上套装真空动密封圈A(1.5)，真空动密封圈A(1.5)位于固定套(1.2)内且在挡尘板(1.4)下方与挡尘板(1.4)贴合；中空转轴(3.1)的端部安装下轴承挡圈(3.4)，下轴承挡圈(3.4)与下轴承(3.3)贴合。

5.根据权利要求1所述的用于气相沉积炉的搅拌进气装置，其特征在于，所述的中空转轴(3.1)的上端通过上轴承(3.5)安装在炉底轴套(3.2)内，炉底轴套(3.2)的端部通过螺栓安装带有中孔的动密封套(3.8)，动密封套(3.8)的中孔内安装真空动密封圈B(3.9)，轴套压盖(3.10)通过螺栓固定在动密封套(3.8)的端部，上轴承(3.5)有两个，两个上轴承(3.5)相对面之间安装上轴承隔套(3.7)，两个上轴承(3.5)相背面安装上轴承挡圈(3.6)。

6.根据权利要求5所述的用于气相沉积炉的搅拌进气装置，其特征在于，所述的炉底轴套(3.2)安装在沉积炉底部。

7.根据权利要求1所述的用于气相沉积炉的搅拌进气装置，其特征在于，所述的搅拌组件(4)还包括安装在进气管B(4.1)底部的挡尘垫(4.3)。

8.根据权利要求1所述的用于气相沉积炉的搅拌进气装置，其特征在于，所述的进气孔(3.1.1)为至少3个，均匀分布在中空转轴(3.1)下端。

9.根据权利要求1所述的用于气相沉积炉的搅拌进气装置，其特征在于，所述的进气管B(4.1)位于搅拌风扇(4.2)下方的端部侧壁上至少设有两个出气孔(4.1.1)。