CN210287500U - 一种空心阴极离子镀膜机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种空心阴极离子镀膜机，涉及离子镀膜领域，其技术方案要点是包括机体、设置于机体内的腔室、以及安装于腔室底壁的多个承接凸柱，承接凸柱上套接有置料架，置料架的顶部设置有置料通孔；还包括用于勾取和提举置料架的接挂装置、以及用于对接挂装置进行支撑和转动的转运装置，转运装置安装于机体上；接挂装置包括顶端与转运装置相连的连杆、固定安装于连杆的接挂气缸、固定于接挂气缸的接挂电机、以及与接挂电机的转轴相连的接挂盘，接挂盘的设置有多个水平挂钩，接挂电机驱动接挂盘转动以使水平挂钩伸入或伸出置料通孔，接挂气缸通过活塞杆的伸缩以将接挂盘抬高或降低。技术效果是通过自动化操作取出置料架，避免人们烫伤。

Description

一种空心阴极离子镀膜机

技术领域

本实用新型涉及离子镀膜领域，特别涉及一种空心阴极离子镀膜机。

背景技术

目前，常用的空心阴极离子镀膜机配备多支空心阴极枪,它利用钽管管内辉光放电的空心阴极效应,导致钽管升温至白炽状态强烈发射电子,形成弧光放电，产生高密度的等离子体电子流,引向干锅使镀料蒸发、汽化、电离、或通过反应气体反应而在工件上沉积成膜。

参考图1，现有的空心阴极离子镀膜机包括带有内腔的机体、安装于内腔底部的承接凸柱、以及套接在承接凸柱上的置料架，所述置料架上设有通孔。在空心阴极离子镀膜机工作完毕后，由于空心阴极效应导致镀膜机腔室的温度急剧上升，需要人们爬上机体并手动使用挂钩伸入内腔中勾住置料架，从而将置料架提出内腔，这过程十分不便且有烫伤的危险。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种空心阴极离子镀膜机，其通过自动化上料和下料，避免人们被烫伤，且节约人力。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种空心阴极离子镀膜机，包括机体、设置于机体内的腔室、以及垂直安装于腔室底壁的多个承接凸柱，所述承接凸柱呈均匀圆周排布，所述承接凸柱上套接有置料架，所述置料架的顶部水平设置有置料通孔；

还包括用于勾取和提举置料架的接挂装置、以及用于对接挂装置进行支撑和转动的转运装置，所述转运装置安装于机体上；所述接挂装置包括顶端与转运装置相连并由转运装置驱动水平旋转的连杆、固定安装于连杆远离转运装置一端的接挂气缸、固定于接挂气缸的活塞杆的接挂电机、以及与接挂电机的转轴相连并由接挂电机驱动以水平旋转的接挂盘，所述接挂盘的底部设置有多个与置料通孔相对应的水平挂钩，所述接挂电机驱动接挂盘转动以使水平挂钩伸入或伸出置料通孔，所述接挂气缸通过活塞杆的伸缩以将接挂盘抬高或降低。

通过采用上述技术方案，镀膜机工作完毕后，接挂盘由接挂气缸驱动向下移动，直至接挂盘上的水平挂钩与置料通孔水平。安装于接挂气缸下的接挂电机再驱动接挂盘进行转动，直至水平挂钩穿入置料通孔时，接挂盘停止转动。此时接挂气缸控制接挂电机和接挂盘向上运动，使得置料架与承接凸柱相脱离，再由转运装置带动连杆转动，将置料架运离腔室上方。全过程均由机器控制，实现自动化上料和下料而无需人们手动操作，从而避免了下料或上料时人们被烫伤的危险，同时节约人力，适合大规模生产。

进一步设置：所述转运装置包括固定于机体上的转运电机，所述转运电机的转轴朝上且固定连接有支撑杆，所述支撑杆远离转运电机的一端与连杆固定连接。

通过采用上述技术方案，转运电机的转轴与支撑杆固定连接，从而控制支撑杆绕转轴旋转。连杆与转运电机相连，在连杆的带动下围绕转运电机的转轴做圆周运动。

进一步设置：所述水平挂钩围绕接挂盘的轴线呈圆周均匀分布，且水平挂钩包括与接挂盘相连的纵杆以及连于纵杆远离接挂盘一端的横勾，所述横勾均沿接挂盘的转动方向水平设置，所述接挂盘通过转动以使横勾伸入或伸出置料通孔。

通过采用上述技术方案，横勾呈水平设置，当其在接挂电机的驱动下在水平面上转动时，能够方便地从置料通孔穿入，避免了当横勾不在水平面上时，水平挂钩转动将会与置料通孔的侧壁相抵接而无法进入置料通孔的情况。

进一步设置：所述接挂电机的转轴与接挂盘的同轴设置。

通过采用上述技术方案，接挂盘各个水平挂钩到转动中心的距离相同，因此水平挂钩在接挂盘转动时，能够在同一条圆心轨迹上穿入置料通孔，使得水平挂钩在进入置料通孔时无需接挂盘预设某个特定角度，使用更加方便。

进一步设置：所述置料架包括多个平行设置的置料盘和穿过置料盘轴心以将多个置料盘相连的支撑管，所述支撑管套接于承接凸柱上，所述置料通孔设置于支撑管远离腔室底壁的一端。

进一步设置：所述置料盘上设有多个用于盛放待镀器件的放置槽，所述放置槽以置料盘的轴线为中心呈圆周设置。

通过采用上述技术方案，带镀器件可以放置于置料盘上，由于放置槽以置料盘的轴线为中心呈圆周设置，在进行离子镀膜时带镀器件之间的影响较小，镀膜更为均匀。

进一步设置：所述机体上还设有用于冷却已镀器件的冷却盘，所述冷却盘的轴线位于接挂盘中心的运动路径上，所述冷却盘上设有多个与置料架相对应的承接凸柱。

通过采用上述技术方案，转运装置将置料架运出，并将接挂盘的中心对准冷却盘的中心，接挂电机旋转以将置料架对准承接凸柱，再由接挂气缸控制接挂盘的高度，使得置料架的底部与冷却盘相抵接，再控制接挂电机旋转，使得水平挂钩退出置料通孔，从而实现置料架在冷却盘上的放置，在对置料架进行冷却的同时，可以镀膜机可以对下一批待镀产品进行离子镀膜，使得工作更加高效。

进一步设置：所述接挂电机为步进电机。

通过采用上述技术方案，当电机无法及时制动时，水平挂钩将会与置料架相抵接，并阻碍电机的进一步旋转。电机会由于无法转动，内部的电流过大而发生损坏。当接挂电机为步进电机时，步进电机的旋转是以固定的角度一步一步运行的，可以通过控制脉冲个数来控制角位移量，从而达到准确定位的目的。此时可以精确控制接挂电机的转动角度，使得接挂电机不会发生由于转动角度过大而被接挂盘阻碍的情况，工作更为稳定。

综上所述，本实用新型具有以下有益效果：全过程均由机器控制，实现自动化上料和下料而无需人们手动操作，从而避免了下料或上料时人们被烫伤的危险，同时节约人力，适合大规模生产；可精确控制各个组件的移动距离，避免损坏；冷却与镀膜可同时进行，提高工作效率；结构简单，方便维护。

附图说明

图1是为现有技术中空心阴极离子镀膜机的结构示意图；

图2是本实施例中一种空心阴极离子镀膜机的整体示意图；

图3是图2中A处的放大示意图。

图中，

1、机体；2、腔室；3、承接凸柱；4、置料架；41、置料盘；42、支撑管；43、置料通孔；44、放置槽；

5、转运装置；51、转运电机；52、支撑杆；

6、接挂装置；61、连杆；62、接挂气缸；63、接挂电机；64、接挂盘；65、水平挂钩；651、纵杆；652、横勾；

7、冷却盘。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

一种空心阴极离子镀膜机，参考图1，包括机体1和设置于机体1内的腔室2，腔室2呈圆柱形设置，腔室2的底壁垂直安装有多个承接凸柱3，承接凸柱3围绕腔室2的轴线呈圆周均匀排布。

承接凸柱3上套接有置料架4，置料架4包括多个置料盘41和支撑管42，每个置料盘41相互平行，支撑管42与置料盘41相互垂直，且依次穿过各个置料盘41的轴心，从而将多个置料盘41固定相连。每一个置料盘41上均设置有多个放置槽44，放置槽44与待镀器件的形状相适应，放置槽44的开口垂直于置料盘41端面向上，每个置料盘41上的放置槽44围绕置料盘41的轴线均匀圆周分布。支撑管42套接于承接凸柱3上，且支撑管42远离腔室2底壁的一端设置有置料通孔43，置料通孔43呈水平设置，支撑管42的轴线和腔室2的轴线之间的共面与置料通孔43的设置方向相垂直。

机体1上还设置有用于勾取和提举置料架4的接挂装置6、以及用于对接挂装置6进行支撑和转动的转运装置5。

转运装置5包括转运电机51，在本实施例中转运电机51为步进电机，转运电机51固定安装于腔室2外的机体1上，转运电机51的转轴朝上且同轴固定连接有支撑杆52，支撑杆52在转运电机51的驱动下发生旋转。

接挂装置6包括连于支撑杆52的连杆61、安装于连杆61上的接挂气缸62、固定于接挂气缸62的活塞杆的接挂电机63、以及与接挂电机63的转轴相连的接挂盘64。连杆61呈水平设置且与支撑杆52固定连接，在支撑杆52的带动下围绕支撑杆52的轴线旋转。接挂气缸62固定于连杆61远离支撑杆52的一端，且接挂气缸62的活塞杆与支撑杆52相互平行。在本实施例中接挂电机63选用步进电机，接挂电机63的转轴朝下且与接挂气缸62的活塞杆同轴设置，接挂盘64与接挂电机63的转轴同轴设置，接挂盘64在接挂电机63的驱动下在水平方向上进行转动。接挂盘64的底部设置有多个与置料通孔43相对应的水平挂钩65，水平挂钩65围绕接挂盘64的轴线呈圆周均匀分布。水平挂钩65包括与纵杆651和横勾652，纵杆651垂直连接于接挂盘64背离接挂电机63的端面，横勾652垂直连接于纵杆651远离接挂盘64一端，纵杆651的轴线与接挂盘64的轴线之间的共面与横勾652相互垂直，因此当接挂盘64转动时，水平挂钩65能够在同一条圆心轨迹上穿入置料通孔43，而无需接挂盘64预设在某个特定角度。

在腔室2外的机体1上还设有用于冷却已镀器件的冷却盘7，冷却盘7的轴线位于接挂盘64中心的运动路径上且与接挂盘64的轴线相互平行。冷却盘7上设有多个与置料架4相对应的承接凸柱3，承接凸柱3垂直于冷却盘7设置且围绕冷却盘7的轴线呈圆周均匀排布。

镀膜机工作完毕后，打开腔室2，接挂装置6在转运电机51的驱动下旋转到腔室2的上方，直至接挂盘64与腔室2共轴。此时接挂盘64和接挂电机63在接挂气缸62驱动向下移动，直至与接挂盘64上的横勾652与置料通孔43水平。安装于接挂气缸62下的接挂电机63再驱动接挂盘64转动，直至横勾652穿入置料通孔43时，接挂盘64停止转动。此时接挂气缸62控制接挂电机63和接挂盘64向上运动，使得置料架4与承接凸柱3相脱离，再由转运电机51带动支撑杆52和连杆61转动，将置料架4运离腔室2上方并移动到冷却盘7上方。当接挂盘64与冷却盘7共轴时，接挂电机63驱动接挂盘64旋转，直至其上置料架4的支撑管42与承接凸柱3共轴。接挂气缸62控制接挂电机63和接挂盘64向下运动，直至置料架4上的支撑管42套接在承接凸柱3上。此时接挂电机63再驱动接挂盘64反向旋转，使得横勾652退出置料通孔43，即完成了置料盘41从镀膜机中的取出。全过程均由机器控制，无需人们手动操作，从而人们避免了被烫伤的危险，同时节约人力。

上述的实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。

Claims (8)

1.一种空心阴极离子镀膜机，包括机体(1)、设置于机体(1)内的腔室(2)、以及垂直安装于腔室(2)底壁的多个承接凸柱(3)，所述承接凸柱(3)呈均匀圆周排布，所述承接凸柱(3)上套接有置料架(4)，所述置料架(4)的顶部水平设置有置料通孔(43)；

其特征在于，还包括用于勾取和提举置料架(4)的接挂装置(6)、以及用于对接挂装置(6)进行支撑和转动的转运装置(5)，所述转运装置(5)安装于机体(1)上；所述接挂装置(6)包括顶端与转运装置(5)相连并由转运装置(5)驱动水平旋转的连杆(61)、固定安装于连杆(61)远离转运装置(5)一端的接挂气缸(62)、固定于接挂气缸(62)的活塞杆的接挂电机(63)、以及与接挂电机(63)的转轴相连并由接挂电机(63)驱动以水平旋转的接挂盘(64)，所述接挂盘(64)的底部设置有多个与置料通孔(43)相对应的水平挂钩(65)，所述接挂电机(63)驱动接挂盘(64)转动以使水平挂钩(65)伸入或伸出置料通孔(43)，所述接挂气缸(62)通过活塞杆的伸缩以将接挂盘(64)抬高或降低。

2.根据权利要求1所述的一种空心阴极离子镀膜机，其特征在于，所述转运装置(5)包括固定于机体(1)上的转运电机(51)，所述转运电机(51)的转轴朝上且固定连接有支撑杆(52)，所述支撑杆(52)远离转运电机(51)的一端与连杆(61)固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种空心阴极离子镀膜机，其特征在于，所述水平挂钩(65)围绕接挂盘(64)的轴线呈圆周均匀分布，且水平挂钩(65)包括与接挂盘(64)相连的纵杆(651)以及连于纵杆(651)远离接挂盘(64)一端的横勾(652)，所述横勾(652)均沿接挂盘(64)的转动方向水平设置，所述接挂盘(64)通过转动以使横勾(652)伸入或伸出置料通孔(43)。

4.根据权利要求3所述的一种空心阴极离子镀膜机，其特征在于，所述接挂电机(63)的转轴与接挂盘(64)的同轴设置。

5.根据权利要求4所述的一种空心阴极离子镀膜机，其特征在于，所述置料架(4)包括多个平行设置的置料盘(41)和穿过置料盘(41)轴心以将多个置料盘(41)相连的支撑管(42)，所述支撑管(42)套接于承接凸柱(3)上，所述置料通孔(43)设置于支撑管(42)远离腔室(2)底壁的一端。

6.根据权利要求5所述的一种空心阴极离子镀膜机，其特征在于，所述置料盘(41)上设有多个用于盛放待镀器件的放置槽(44)，所述放置槽(44)以置料盘(41)的轴线为中心呈圆周设置。

7.根据权利要求6所述的一种空心阴极离子镀膜机，其特征在于， 所述机体(1)上还设有用于冷却已镀器件的冷却盘(7)，所述冷却盘(7)的轴线位于接挂盘(64)中心的运动路径上，所述冷却盘(7)上设有多个与置料架(4)相对应的承接凸柱(3)。

8.根据权利要求7所述的一种空心阴极离子镀膜机，其特征在于，所述接挂电机(63)为步进电机。

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