CN210261993U - 一种具有压差控制机构的高温双室真空沉积炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种具有压差控制机构的高温双室真空沉积炉，包括炉体和炉盖，炉盖位于炉体的上方，炉盖上方中部的连接管通过排气管路与真空泵连通，炉体包括内室和外室，外室套设在内室的外侧，连接管与内室连通；外室与内室之间的中空结构内设有发热体，发热体四周填充有惰性气体，外室外侧设有与外室连通的第一压力监测表和与内室连通的第二压力监测表，第一压力监测表和第二压力监测表均与压差表连接，压差表与外室上用于控制惰性气体流通的气体流量阀连接。本实用新型采用上述结构的一种具有压差控制机构的高温双室真空沉积炉，实时监测内室与外室压差，保证炉体正常工作。

Description

一种具有压差控制机构的高温双室真空沉积炉

技术领域

本实用新型涉及真空沉积炉技术领域，特别是涉及一种具有压差控制机构的高温双室真空沉积炉。

背景技术

国内高温化学气相沉积炉采用内室沉积、外室加热的结构，内室有沉积气体工作，外室有发热体工作。外室一般由石墨发热体或铜电极作为炉温辐射热源，内外室由耐高温材质隔开，内室不断通入沉积气体工作。目前，隔开内外室的材质不能完成隔绝内室沉积气体外溢到外室，沉积气体沉积在发热体表面会降低发热效率、降低发热体寿命。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种具有压差控制机构的高温双室真空沉积炉，实时监测内室与外室压差，保证炉体正常工作。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种具有压差控制机构的高温双室真空沉积炉，包括炉体和炉盖，所述炉盖位于所述炉体的上方，所述炉盖上方中部的连接管通过排气管路与真空泵连通，所述炉体包括内室和外室，所述外室套设在所述内室的外侧，所述连接管与所述内室连通；

所述外室与所述内室之间的中空结构内设有发热体，所述发热体四周填充有惰性气体，所述外室外侧设有与所述外室连通的第一压力监测表和与所述内室连通的第二压力监测表，所述第一压力监测表和所述第二压力监测表均与压差表连接，所述压差表与所述外室上用于控制惰性气体流通的气体流量阀连接。

优选的，所述第一压力监测表外套设有贯穿所述外室壁的第一防护管，所述第二压力监测表外套设有贯穿所述外室壁和所述内室壁的第二防护管，所述第一防护管和所述第二防护管的内侧均填充有保护层。

优选的，所述第一防护管和所述第二防护管的两端均设有活动封闭件。

优选的，所述第一防护管与所述外室壁之间设有密封圈，所述第二防护管与所述外室壁、所述内室壁的连接处均设有密封圈。

优选的，所述内室与所述外室为同一底部。

因此，本实用新型采用上述结构的一种具有压差控制机构的高温双室真空沉积炉，实时监测内室与外室压差，保证炉体正常工作。

下面通过附图和实施例，对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。

附图说明

图1是本实用新型一种具有压差控制机构的高温双室真空沉积炉实施例的示意图。

附图标记

1、炉体；2、炉盖；3、连接管；4、排气管路；5、真空泵；6、内室；7、外室；8、发热体；9、惰性气体；10、第一压力监测表；11、第二压力监测表；12、压差表；13、气体流量阀；14、第一防护管；15、第二防护管；16、封闭件；17、保护层。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的实施方式做进一步的说明。

图1是本实用新型一种具有压差控制机构的高温双室真空沉积炉实施例的示意图，如图所示，一种具有压差控制机构的高温双室真空沉积炉，包括炉体1和炉盖2，炉盖2位于炉体1的上方，炉盖2上方中部的连接管3通过排气管路4与真空泵5连通。炉体1包括内室6和外室7，内室6与外室7为同一底部，外室7套设在内室6的外侧。连接管3与内室6连通，沉积气体由炉体1底部进入炉体1内工作，气体自下向上流动参与反应后被真空泵5动力沿与炉盖2顶部连通的连接管3排出。外室7外侧设有与内室6连通的第二压力监测表11，第二压力监测表11用于监测内室6内气体的压力。

外室7与内室6之间的中空结构内设有发热体8，发热体8进行加热，便于内室6进行反应。发热体8四周填充有惰性气体9，由于沉积气体溢到外室7沉积在发热体8表面会降低发热体8工作效率、降低使用寿命，故在外室7通入惰性气体9，保证外室7气压略大于内室6气压，确保内室6沉积气体不会外溢到外室7。外室7外侧设有与外室6连通的第一压力监测表10，第一压力监测表10用于检测惰性气体的压力。

第一压力监测表10和第二压力监测表11均与压差表12连接，压差表12与外室7上用于控制惰性气体9流通的气体流量阀13连接，通过压差表12可以直接了解内室6、外室7之间的气体压力差值，从而控制进入外室7的惰性气体9压力。在外室7通入惰性气体9使外室7压力始终大于内室6，虽然可以避免沉积气体外溢，但外室7压力过大于内室6压力会使隔开内外室材料受压变形、损坏。在工业生产中，内室6沉积气体流量需根据工艺调整变化，外室7惰性气体流量也及时进行调整。

当压差小于250pa时加大气体流量阀13开度增加外室7惰性气体9流量提高压差，当压差大于350pa时减小气体流量阀13开度降低外室7惰性气体9流量减小压差，使外室7压力始终比内室6大250-350pa的合理范围，杜绝内室6沉积气体外溢到外室7。

第一压力监测表10外套设有贯穿外室壁的第一防护管14，第一防护管14对第一压力监测表10进行防护。第二压力监测表11外套设有贯穿外室壁和内室壁的第二防护管15，第二防护管15对第二压力监测表11进行防护。第一防护管14与外室壁之间设有密封圈，第二防护管15与外室壁、内室壁的连接处均设有密封圈，密封圈的设置保证了内室6、外室7的气密性。

第一防护管14和第二防护管15的内侧均填充有保护层17，保护层17减缓第一防护管14和第二防护管15受到的气压冲击，延长其使用寿命。第一防护管14和第二防护管15的两端均设有活动封闭件16，封闭件16的设置便于第一防护管14内第一压力监测表10和第二防护管15内第二压力监测表11的更换。当第一压力监测表10插入第一防护管14内，封闭件16打开；若更换第一压力监测表10时，封闭件16在第一压力监测表10退出后封闭。

因此，本实用新型采用上述结构的一种具有压差控制机构的高温双室真空沉积炉，实时监测内室与外室压差，保证炉体正常工作。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非对其进行限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而这些修改或者等同替换亦不能使修改后的技术方案脱离本实用新型技术方案的精神和范围。

Claims (5)

1.一种具有压差控制机构的高温双室真空沉积炉，包括炉体和炉盖，所述炉盖位于所述炉体的上方，其特征在于：所述炉盖上方中部的连接管通过排气管路与真空泵连通，所述炉体包括内室和外室，所述外室套设在所述内室的外侧，所述连接管与所述内室连通；

所述外室与所述内室之间的中空结构内设有发热体，所述发热体四周填充有惰性气体，所述外室外侧设有与所述外室连通的第一压力监测表和与所述内室连通的第二压力监测表，所述第一压力监测表和所述第二压力监测表均与压差表连接，所述压差表与所述外室上用于控制惰性气体流通的气体流量阀连接。

2.根据权利要求1所述的一种具有压差控制机构的高温双室真空沉积炉，其特征在于：所述第一压力监测表外套设有贯穿所述外室壁的第一防护管，所述第二压力监测表外套设有贯穿所述外室壁和所述内室壁的第二防护管，所述第一防护管和所述第二防护管的内侧均填充有保护层。

3.根据权利要求2所述的一种具有压差控制机构的高温双室真空沉积炉，其特征在于：所述第一防护管和所述第二防护管的两端均设有活动封闭件。

4.根据权利要求3所述的一种具有压差控制机构的高温双室真空沉积炉，其特征在于：所述第一防护管与所述外室壁之间设有密封圈，所述第二防护管与所述外室壁、所述内室壁的连接处均设有密封圈。

5.根据权利要求1所述的一种具有压差控制机构的高温双室真空沉积炉，其特征在于：所述内室与所述外室为同一底部。

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