CN210253378U - 表面检查清洁装置及系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种表面检查清洁装置及系统，其中，该表面检查清洁装置，包括机壳及紫外光源，机壳具有一适于收容被清洁器具的清洁腔，清洁腔具有进风口及抽风口；抽风口用于与抽风设备连接，以通过抽风设备对清洁腔进行抽风；紫外光源设在机壳上，用以向清洁腔内提供预定波长的紫外光线并照射至被清洁器具。根据本实用新型实施例提供的表面检查清洁装置及系统，紫外光源照射在清洁腔内的被清洁器具上，一方面，可以激发被清洁器具上残余的有机材料发光，发光的有机材料容易被观察到，进而方便检查被清洁器具是否被清洁干净，另一方面，利用有机材料的光敏氧化作用，紫外光可以去除黏附在被清洁器具表面上的有机材料，达到更高的洁净度。

Description

表面检查清洁装置及系统

技术领域

本实用新型涉及OLED制造技术领域，尤其涉及一种用于对有机发光二极管制备用器具进行检查及清洁的表面检查清洁装置及系统。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,OLED)又称为有机电激光显示、有机发光半导体。OLED显示技术具有自发光、广视角、几乎无穷高的对比度、较低耗电、极高反应速度等优点。

OLED在生产制程中，一般需要用到一些器具，例如坩埚、掩膜板等，这些器具在使用中会残留一些有机材料，而OLED加工制造的精度要求极高，因此，坩埚、掩膜板等器具需要清洁干净，才能用于下次使用。相关技术中，对于这些器具一般通过清洗设备清洗后投入使用，但是，即便是这些器具经过清洗后，也有仍然可能残留一些有机材料以及一些灰尘等污染物，而且这些残留的污染物，难以被观察到，尤其是有机材料，因此，也难以识别出这些污染物是否清洁干净。

实用新型内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本实用新型的一个目的在于提出一种表面检查清洁装置。

本实用新型的另一个目的在于提出一种表面检查清洁系统。

为实现上述目的，一方面，根据本实用新型实施例的表面检查清洁装置，适于对有机发光二极管制备用器具进行检查及清洁，包括：

机壳，所述机壳具有一适于收容被清洁器具的清洁腔，所述清洁腔具有进风口及抽风口；所述抽风口用于与抽风设备连接，以通过所述抽风设备对所述清洁腔进行抽风；

紫外光源，所述紫外光源设在所述机壳上，用以向所述清洁腔内提供预定波长的紫外光线并照射至所述被清洁器具。

根据本实用新型实施例提供的表面检查清洁装置，紫外光源照射在清洁腔内的被清洁器具上，一方面，可以激发被清洁器具上残余的有机材料发光，发光的有机材料容易被观察到，进而方便检查被清洁器具是否被清洁干净，另一方面，利用有机材料的光敏氧化作用，紫外光可以去除黏附在被清洁器具表面上的有机材料，达到更高的洁净度。此外，抽风口连接的抽风设备可以对清洁腔进行抽风，进而将清洁腔内、被清洁器具表面附着的灰尘、光敏氧化作用分解的物质及其他污染物排出至清洁腔外。

另外，根据本实用新型上述实施例的表面检查清洁装置还可以具有如下附加的技术特征：

根据本实用新型的一个实施例，还包括：

承载板，所述承载板设在所述清洁腔内且位于所述抽风口的上方，且所述承载板上设有阵列布置的多个通风孔。

根据本实用新型的一个实施例，还包括：

集尘罩，所述集尘罩设在所述清洁腔内且位于所述承载板的下方，所述集尘罩的上端敞开形成敞口，所述敞口与所述承载板上的多个所述通风孔相通，所述集尘罩的下端设有所述的抽风口。

根据本实用新型的一个实施例，所述集尘罩内设有位于所述抽风口上方的过滤板，所述过滤板适于过滤污染物。

根据本实用新型的一个实施例，还包括：

可见光源，所述可见光源设在所述机壳上，用以向所述清洁腔内提供可见光，以照亮所述清洁腔。

根据本实用新型的一个实施例，所述紫外光源包括多个紫外灯，多个所述紫外灯在至少一部分设在所述清洁腔的顶壁，多个所述紫外灯在至少一部分设在所述清洁腔的侧壁。

根据本实用新型的一个实施例，所述可见光源包括至少一个照明灯，至少一个所述照明灯设在所述清洁腔的顶壁和/或侧壁。

根据本实用新型的一个实施例，还包括空气净化装置，所述进风口与所述空气净化装置相连，以通过所述空气净化装置对进入至所述清洁腔内的空气进行净化处理。

根据本实用新型的一个实施例，还包括门体，所述门体可枢转连接于所述机壳，以打开或关闭所述清洁腔，所述门体上设有用于观察所述清洁腔的透明视窗。

另一方面，根据本实用新型实施例的表面检查清洁系统，包括：

如上所述的表面检查清洁装置；

抽风设备，所述抽风设备与所述表面检查清洁装置的所述抽风口相连。

根据本实用新型实施例提供的表面检查清洁系统，具有上述的表面检查清洁装置，紫外光源照射在清洁腔内的被清洁器具上，一方面，可以激发被清洁器具上残余的有机材料发光，发光的有机材料容易被观察到，进而方便检查被清洁器具是否被清洁干净，另一方面，利用有机材料的光敏氧化作用，紫外光可以去除黏附在被清洁器具表面上的有机材料，达到更高的洁净度。此外，抽风口连接的抽风设备可以对清洁腔进行抽风，进而将清洁腔内、被清洁器具表面附着的灰尘、光敏氧化作用分解的物质及其他污染物排出至清洁腔外。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例表面检查清洁装置的结构示意图；

图2是本实用新型实施例表面检查清洁装置的剖视图；

图3是本实用新型实施例表面检查清洁装置(门体打开)一个视角的结构示意图；

图4是本实用新型实施例表面检查清洁装置(门体打开)另一个视角的结构示意图；

图5是本实用新型实施例表面检查清洁装置中紫外光源及可见光源的结构示意图；

图6是本实用新型实施例表面检查清洁装置中紫外光源一个视角的分解图；

图7是本实用新型实施例表面检查清洁装置中紫外光源另一个视角的分解图。

附图标记：

机壳10；

清洁腔P10；

进风口101；

门体11；

透明视窗111；

紫外灯20；

照明灯21；

承载板30；

通风孔301；

集尘罩40；

抽风口401；

过滤板41；

空气净化装置50。

本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”“轴向”、“周向”、“径向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下面参照附图详细描述本实用新型实施例的表面检查清洁装置及系统。

参照图1至图7所示，根据本实用新型实施例提供的表面检查清洁装置，适于对有机发光二极管制备用器具进行检查及清洁，包括机壳10及紫外光源。

具体地，机壳10具有一适于收容被清洁器具的清洁腔P10，所述清洁腔P10具有进风口101及抽风口401，抽风口401用于与抽风设备连接，以通过所述抽风设备对所述清洁腔P10进行抽风。

在图4示例中，进风口101位于清洁腔P10的顶壁，并且，进风口101为多个，多个进风口101呈阵列布置，抽风口401位于进风口101的下方的预定位置，抽风口401用于连接至抽风设备(例如抽风机)，利用抽风设备对清洁腔P10进行抽风，外部环境中的空气从进风口101进入至清洁腔P10内，再从抽风口401经由抽风设备抽出。

需要说明的是，进风口101及抽风口401的位置可以根据需要设置，还可以设在清洁腔P10的侧壁或其他合理位置，此外，进风口101的数量也可以根据需要设置，在此不作限制。

紫外光源设在所述机壳10上，用以向所述清洁腔P10内提供预定波长的紫外光线并照射至所述被清洁器具。也就是说，紫外光源发出的紫外光线可以投射至清洁腔P10内的被清洁器具上，利用紫外光线可以激发被清洁器具上残留的有机材料发光，以及利用光敏氧化作用对残留的有机材料进行分解，进而达到清洁的目的。可选地，该紫外光源提供的紫外光线的波长可以为185um至254um。

需要说明的是，OLED器件在加工中，一般采用有机材料进行蒸镀加工，这些有机材料部分残留在加工时使用的器具上，当这些器具作为被清洁器具放入至清洁腔P10内，并被紫外光线照射时，其表面的有机材料被激发后发出荧光，进而被很容易地观察到。此外，紫外光线具有很高的能量，紫外光线作用到被清洁器具表面时，由于有机材料中大多数碳氢化合物对紫外光线具有较强的吸收能力，并在吸收紫外光线的能量后分解成离子、游离态原子、受激分子和中子，这就是所谓光敏氧化作用，如此，利用光敏氧化作用可以对黏附在被清洁器具表面上的有机材料起到分解清洁作用。

根据本实用新型实施例提供的表面检查清洁装置，紫外光源照射在清洁腔P10内的被清洁器具上，一方面，可以激发被清洁器具上残余的有机材料发光，发光的有机材料容易被观察到，进而方便检查被清洁器具是否被清洁干净，另一方面，利用有机材料的光敏氧化作用，紫外光可以去除黏附在被清洁器具表面上的有机材料，达到更高的洁净度。此外，抽风口401连接的抽风设备可以对清洁腔P10进行抽风，进而将清洁腔P10内、被清洁器具表面附着的灰尘、光敏氧化作用分解的物质及其他污染物排出至清洁腔P10外。

参照图2、图3、图6及图7所示，在本实用新型的一些实施例中，还包括承载板30，所述承载板30设在所述清洁腔P10内且位于所述抽风口401的上方，且所述承载板30上设有阵列布置的多个通风孔301。该承载板30用于承载支撑被清洁器具，当被清洁器具放置在承载板30上后，空气从进风口101流向抽风口401的过程中，空气经过被清洁器具的表面，使得被清洁器具表面附着的灰尘、光敏氧化作用分解的物质及其他污染物脱落，并经过承载板30上的多个通风孔301流向抽风口401，最后经由抽风设备抽出。

本实施例中，利用承载板30承载支撑被清洁器具，方便于被清洁器具的放置，同时，承载板30上阵列布置的多个通风孔301，也方便于污染物的通过，提高污染物的清洁效果。

继续参照图2、图3、图6及图7所示，在本实用新型的一些实施例中，还包括集尘罩40，所述集尘罩40设在所述清洁腔P10内且位于所述承载板30的下方，所述集尘罩40的上端敞开形成敞口，所述敞口与所述承载板30上的多个所述通风孔301相通，所述集尘罩40的下端设有所述的抽风口401。

也就是说，集尘罩40是罩设在承载板30下方的，被清洁器具表面附着的灰尘、光敏氧化作用分解的物质及其他污染物脱落后，从承载板30上的多个通风孔301进入至集尘罩40中，通过集尘罩40收集后，再被吸入至抽风口401，最后通过抽风设备抽出，如此，可以使得污染物能够被更加彻底地清除。

有利地，集尘罩40为漏斗状，如此，污染物可以在重力及抽吸作用下，集中收集的集成罩的底部，提高污染物的收集效果。

参照图2及图7所示，在本实用新型的一个实施例中，集尘罩40内设有位于所述抽风口401上方的过滤板41，所述过滤板41适于过滤污染物，示例性的，该过滤板41为微孔板(即其上布置有多个微孔)，如此，通过该过滤板41可以阻挡过滤一些颗粒度比较粗的污染物，避免这些粗的污染物被吸入至抽风设备中，造成抽风设备损坏等问题。

参照图2、图4及图5所示，在本实用新型的一些实施例中，还包括可见光源，所述可见光源设在所述机壳10上，用以向所述清洁腔P10内提供可见光，以照亮所述清洁腔P10。

也就是说，该可见光源可以用于清洁腔P10的照明，在该表面检查清洁装置工作时，可见光源照亮清洁腔P10，如此，可以方便使用者观察清洁腔P10内部情况，尤其是可以观察到清洁腔P10内灰尘等污染物，以便于使用者判断清洁腔P10内的清洁状态。

可选地，该可见光源可以采用白光光源，白色光源照射至空气中，更容易地观察到空气中的灰尘等污染物，因此，具有更好的辨识效果。

参照图2至图5所示，在本实用新型的一个实施例中，紫外光源包括多个紫外灯20，多个所述紫外灯20在至少一部分设在所述清洁腔P10的顶壁，多个所述紫外灯20在至少一部分设在所述清洁腔P10的侧壁。

也就是说，本实施例中，在清洁腔P10的顶壁及清洁腔P10的侧壁均设有紫外灯20，如此，多个紫外灯20可以从不同的角度将紫外光线投射至整个清洁腔P10内，以便于被清洁器具的各个部位均能被紫外光线覆盖，进而达到更好的清洁及检查效果。

可见光源包括至少一个照明灯21，至少一个所述照明灯21设在所述清洁腔P10的顶壁和/或侧壁。示例性地，该可见光源白光LED灯，在图1示例中，照明灯21设在清洁腔P10的顶壁，并与紫外灯20间隔设置，如此，利用照明灯21可以将整个清洁腔P10照亮，便于对清洁腔P10内的清洁状态进行观察。

参照图1至图4所示，在本实用新型的一些实施例中，还包括空气净化装置50，所述进风口101与所述空气净化装置50相连，以通过所述空气净化装置50对进入至所述清洁腔P10内的空气进行净化处理。

也就是说，外部环境中的空气先经过空气净化装置50进行净化处理后，例如过滤掉空气中的PM2.5等，再从进风口101吸入至清洁腔P10内，如此，可以确保进入至清洁腔P10内的空气具有较高的洁净度，防止空气中的污染物进入至清洁腔P10内，对被清洁器具造成进一步污染。

继续参照图1至图4所示，在本实用新型的一个实施例中，还包括门体11，所述门体11可枢转连接于所述机壳10，以打开或关闭所述清洁腔P10，所述门体11上设有用于观察所述清洁腔P10的透明视窗111。如此，在使用中，可以利用门体11打开清洁腔P10或关闭清洁腔P10，以便于被清洁器具的放置或取出。此外，通过门体11上的透明视窗111方便观察清洁腔P10内的清洁状态等。

根据本实用新型实施例的表面检查清洁系统，包括抽风设备及如上所述的表面检查清洁装置，其中，抽风设备与所述表面检查清洁装置的所述抽风口401相连。

根据本实用新型实施例提供的表面检查清洁系统，具有上述的表面检查清洁装置，紫外光源照射在清洁腔P10内的被清洁器具上，一方面，可以激发被清洁器具上残余的有机材料发光，发光的有机材料容易被观察到，进而方便检查被清洁器具是否被清洁干净，另一方面，利用有机材料的光敏氧化作用，紫外光可以去除黏附在被清洁器具表面上的有机材料，达到更高的洁净度。此外，抽风口401连接的抽风设备可以对清洁腔P10进行抽风，进而将清洁腔P10内、被清洁器具表面附着的灰尘、光敏氧化作用分解的物质及其他污染物排出至清洁腔P10外。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是在本实用新型的实用新型构思下，利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种表面检查清洁装置，适于对有机发光二极管制备用器具进行检查及清洁，其特征在于，包括：

机壳，所述机壳具有一适于收容被清洁器具的清洁腔，所述清洁腔具有进风口及抽风口；所述抽风口用于与抽风设备连接，以通过所述抽风设备对所述清洁腔进行抽风；

紫外光源，所述紫外光源设在所述机壳上，用以向所述清洁腔内提供预定波长的紫外光线并照射至所述被清洁器具。

2.根据权利要求1所述的表面检查清洁装置，其特征在于，还包括：

承载板，所述承载板设在所述清洁腔内且位于所述抽风口的上方，且所述承载板上设有阵列布置的多个通风孔。

3.根据权利要求2所述的表面检查清洁装置，其特征在于，还包括：

集尘罩，所述集尘罩设在所述清洁腔内且位于所述承载板的下方，所述集尘罩的上端敞开形成敞口，所述敞口与所述承载板上的多个所述通风孔相通，所述集尘罩的下端设有所述的抽风口。

4.根据权利要求3所述的表面检查清洁装置，其特征在于，所述集尘罩内设有位于所述抽风口上方的过滤板，所述过滤板适于过滤污染物。

5.根据权利要求1所述的表面检查清洁装置，其特征在于，还包括：

可见光源，所述可见光源设在所述机壳上，用以向所述清洁腔内提供可见光，以照亮所述清洁腔。

6.根据权利要求1所述的表面检查清洁装置，其特征在于，所述紫外光源包括多个紫外灯，多个所述紫外灯在至少一部分设在所述清洁腔的顶壁，多个所述紫外灯在至少一部分设在所述清洁腔的侧壁。

7.根据权利要求5所述的表面检查清洁装置，其特征在于，所述可见光源包括至少一个照明灯，至少一个所述照明灯设在所述清洁腔的顶壁和/或侧壁。

8.根据权利要求1所述的表面检查清洁装置，其特征在于，还包括空气净化装置，所述进风口与所述空气净化装置相连，以通过所述空气净化装置对进入至所述清洁腔内的空气进行净化处理。

9.根据权利要求1所述的表面检查清洁装置，其特征在于，还包括门体，所述门体可枢转连接于所述机壳，以打开或关闭所述清洁腔，所述门体上设有用于观察所述清洁腔的透明视窗。

10.一种表面检查清洁系统，其特征在于，包括：

如权利要求1至9中任一项所述的表面检查清洁装置；

抽风设备，所述抽风设备与所述表面检查清洁装置的所述抽风口相连。

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