CN210242175U - 用于研磨机的干燥单元 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种用于研磨机的干燥单元，其包含有：一槽体；一旋转台，其设于该槽体；一驱动源，其设于该槽体的底端，该驱动源耦接该旋转台；一第一定位模块，其设于该旋转台的一端；以及一第二定位模块，其设于该旋转台的另一端。该旋转台能够产生离心旋转的效果，以及该第一定位模块与该第二定位模块限制工件的位置，进而达到干燥的目的。

Description

用于研磨机的干燥单元

技术领域

本实用新型涉及一种用于研磨机的干燥单元，尤指一种能够利用旋转离心的力量而干燥工件的单元。

背景技术

现有的半导体制程中，晶圆或半导体条带要经过多次不同程度的研磨，经过研磨的晶圆或半导体条带需要经过干燥的程序，方能使晶圆或半导体条带进入下一制程。所以干燥晶圆或半导体条带的装置或设备于半导体制程中占有相当的重要性。

现有的半导体条带或晶圆干燥装置约略可分为两种，一种为离心式干燥设备，另一种风吹式干燥设备。离心式干燥设备利用离心旋转方式，而干燥晶圆。风吹式干燥设备将水滴或湿气吹离晶圆，而使晶圆干燥。

综合上述，现有的或半导体条带晶圆干燥装置仍面临构件过于繁琐，故如何简化现有的或半导体条带晶圆干燥装置的构件就有可发展的空间。

实用新型内容

有鉴于上述现有状况所存在的问题，本新型的主要目的在于提供一种用于研磨机的干燥单元，其改善现有干燥装置或设备的构件过于繁复，而使用较少的构件即可达到干燥工件的效果。

为达成前揭目的，本实用新型为一种用于研磨机的干燥单元，其包含有：

一槽体；

一旋转台，其设于该槽体；

一驱动源，其设于该槽体的底端，该驱动源耦接该旋转台；

一第一定位模块，其设于该旋转台的一端；以及

一第二定位模块，其设于该旋转台的另一端。

于一实施例，一盖体设于该槽体的顶端，该盖体的两端分别具有一第一开口与一第二开口。

于一实施例，该第一定位模块更具有一第一闸门，该第二定位模块更具有一第二闸门，该第一闸门设于该第一开口处，该第二闸门设于该第二开口处。

于一实施例，一推动模块具有一滑轨与一推杆，该滑轨设于该槽体的一侧，该推杆设于该滑轨；该盖体的顶端具有一长开口，该长开口供该推杆通过。

于一实施例，该旋转台的两侧分别具有一限位部。该第一闸门相对于该限位部处具有一第一通道。该第二闸门相对于该限位部处具有一第二通道。

于一实施例，该第一定位模块具有至少一第一挡栓与一第一驱动源，该旋转台的一端具有一至少第一穿孔，该第一挡栓穿设于该第一穿孔，该第一驱动源耦接该第一挡栓的底端。

于一实施例，该第二定位模块具有至少一第二挡栓与一第二驱动源，该该旋转台的另一端具有一至少第二穿孔，该第二挡栓穿设于该第二穿孔，该第二驱动源耦接该第二挡栓的底端。

综合上述，本实用新型凭借旋转台产生离心旋转的效果，以及第一定位模块、第二定位模块与限制部限制工件的位置，而达到干燥的目的，并能同时将干燥单元的构件予以简化。

附图说明

图1是本实用新型的一种用于研磨机的干燥单元的立体示意图。

图2是本实用新型的一种用于研磨机的干燥单元的另一角度立体示意图。

图3是本实用新型的一种用于研磨机的干燥单元的局部立体分解示意图。

图4是本实用新型的一种用于研磨机的干燥单元的局部放大示意图。

图5是本实用新型的一种用于研磨机的干燥单元的局部平面示意图。

图6是本实用新型的一种用于研磨机的干燥单元的局部剖面示意图。

附图标记说明：10-槽体；11-盖体；110-第一开口；111-第二开口；112-长开口；12-驱动源；20-推动模块；21-推杆；22-滑轨；30-旋转台；31-限位部；31-第一穿孔；32-第二穿孔；40-第一定位模块；41-第一动力源；42-第一挡栓；43-第一闸门；430-第一通道；44-第一驱动源；50-第二定位模块；51-第二动力源；52-第二挡栓；53-第二闸门；530-第二通道；54-第二驱动源。

具体实施方式

以下凭借特定的具体实施例说明本实用新型的具体实施方式，所属技术领域中具有通常知识者可由本说明书所揭示的内容，轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。

请配合参考图1至图5所示，本实用新型一种用于研磨机的干燥单元，其包含有一槽体10、一盖体11、一驱动源12、一推动模块20、一旋转台30、一第一定位模块40与一第二定位模块50。

如图1至图3所示，推动模块20设于槽体10的一侧。推动模块20具有一滑轨22与一推杆21。推杆21可往复移动设置于滑轨22。滑轨22位于槽体10的一侧。

如图4、图5与图6所示，旋转台30设于槽体10的顶端。旋转台30的两侧分别具有一限位部31。请再配合参考图4所示，限位部31为一长条状的凹型导轨。请再配合参考图5与图6所示，旋转台30的两端分别具有至少一第一穿孔32与至少一第二穿孔33。

如图3与图4所示，驱动源12设于槽体10的底端，驱动源12耦接旋转台30。驱动源12使旋转台30旋转，以产生离心脱水的效果。驱动源12可为马达、螺杆与马达的组合或齿轮箱与马达的组合。

如图1与图2所示，盖体11设于槽体10的顶端，并盖覆旋转台30。盖体11的两端分别具有一第一开口110与一第二开口111。盖体11的顶端具有一长开口112。长开口111相通第一开口110与第二开口111。推杆21由第二开口111进入长开口112，并于长开口111中往复移动。

如图3至图5所示，第一定位模块40具有一第一闸门43、一第一动力源41、至少一第一挡栓42与一第一驱动源44。

第一闸门43设于第一开口110，并且位于旋转台30的端，第一闸门43封闭或开启第一开口110，第一闸门43的顶端的两侧处且相对于限位部31的位置处具有一第一通道430。第一闸门43的底端耦接有第一动力源41，第一动力源41驱动第一闸门43，以使第一闸门43相对于第一开口110上升或下降，进而可封闭或开启第一开口110。

第一挡栓42穿设于旋转台30的第一穿孔32。第一挡栓42的底端耦接第一驱动源44。第一驱动源44驱动第一挡栓42，以使第一挡栓42相对于旋转台30上升或下降。第一动力源41与第一驱动源44可为马达、螺杆与马达的组合或齿轮箱与马达的组合。

如图3与图4所示，第二定位模块50具有一第二闸门53、一第二动力源51、至少一第二挡栓52与一第二驱动源54。

第二闸门53设于第二开口111处，并且位于旋转台30的另一端，第二闸门53封闭或开启第二开口111。第二闸门53的顶端的两侧处且相对于限位部31的位置处具有一第二通道330。第二闸门53的底端耦接有第二动力源51，第二动力源51驱动第二闸门53，以使第二闸门53相对于第二开口111上升或下降，进而可封闭或开启第二开口111。

第二挡栓52穿设于旋转台30的第二穿孔33。第二挡栓52的底端耦接第二驱动源54。第二驱动源54驱动第二挡栓52，以使第二挡栓52相对于旋转台30上升或下降。第二动力源51与第二驱动源54可为马达、螺杆与马达的组合或齿轮箱与马达的组合。

请再配合参考图2至图5所示，第二定位模块50的第二闸门53受到第二动力源51的驱动，而使第二闸门53的第二通道530相通旋转台30的限位部31。

推动模块20的推杆21沿着滑轨22，以将欲干燥的工件由第二开口111与第二通道530送入限位部31。待工件进入限位部31后，第二动力源51驱动第二闸门53，而使第二通道530不再与限位部31相通。举例而言，工件可为经研磨后的晶圆或半导体条带。

第二驱动源54驱动第二挡栓52，以封闭旋转台30的一端。于第二驱动源54作动的同时，第一驱动源44驱动第一挡栓42，以封闭旋转台30的另一端。

驱动源12使旋转台30旋转，而使工件产生离心脱水的效果。上述的限位部31、第一挡栓42与第二挡栓52将工件限制于旋转台30中，而不因旋转台30的旋转而使工件产生移位。

待工件干燥后，第二驱动源54再次驱动第二挡栓52，以不再封闭旋转台30的一端。第一驱动源44再次驱动第一挡栓42，以不再封闭旋转台30的另一端。第二闸门53受到再次第二动力源51的驱动，而使第二通道530相通旋转台30的限位部31。第一闸门43受到第一动力源41的驱动，而使第一通道430相通旋转台30的限位部31。

推杆21再次沿着滑轨22由第二开口111进入盖体11的内部，并于长开口112中移动，以将工件经由第一通道430与第一开口110送出盖体11，而至下一制程。

待工件离开盖体11后，推杆21由长开口112与第二开口111退出盖体11。第一闸门43再次受到第一动力源41的驱动，而使第一通道430不再相通旋转台30的限位部31，并使第一闸门43封闭第一开口110。第二挡栓52再次封闭旋转台30的一端。

推杆21再次进行上述的将工件送入旋转台30的动作。旋转台30再次进行上述的离心干燥的动作。

又，于另一实施例中，上述的第一驱动源44可为机械弹性按压机构，当第一闸门43受第一动力源41作动而下降，同时该第一闸门43将按压该第一挡栓42，使得该第一挡栓42连动下降，此时第一通道430会与限位部31的凹型导轨等高，而可让工件通行。

同理，上述的第二驱动源54可为机械弹性按压机构，当第二闸门53受第二动力源51作动而下降，同时该第二闸门53将按压该第二挡栓52，使得该第二挡栓52连动下降，此时第二通道530会与限位部31的凹型导轨等高，而可让工件通行。

综合上述，本实用新型凭借旋转台30产生离心旋转的效果，以及第一定位模块40、第二定位模块50与限制部31限制工件的位置，而达到干燥的目的，并能同时将干燥单元的构件予以简化。

Claims (10)

1.一种用于研磨机的干燥单元，其特征在于，包含有：

一槽体；

一旋转台，其设于该槽体；

一驱动源，其设于该槽体的底端，该驱动源耦接该旋转台；

一第一定位模块，其设于该旋转台的一端；以及

一第二定位模块，其设于该旋转台的另一端。

2.根据权利要求1所述的用于研磨机的干燥单元，其特征在于：还具有一盖体，该盖体设于该槽体的顶端，该盖体的两端分别具有一第一开口与一第二开口。

3.根据权利要求2所述的用于研磨机的干燥单元，其特征在于：该第一定位模块具有一第一闸门，该第二定位模块具有一第二闸门，该第一闸门设于该第一开口处，该第二闸门设于该第二开口处。

4.根据权利要求2所述的用于研磨机的干燥单元，其特征在于：还具有一推动模块，该推动模块具有一滑轨与一推杆，该滑轨设于该槽体的一侧，该推杆设于该滑轨；该盖体的顶端具有一长开口，该长开口供该推杆通过。

5.根据权利要求3所述的用于研磨机的干燥单元，其特征在于：该旋转台的两侧分别具有一限位部。

6.根据权利要求5所述的用于研磨机的干燥单元，其特征在于：该第一闸门相对于该限位部处具有一第一通道。

7.根据权利要求5所述的用于研磨机的干燥单元，其特征在于：该第二闸门相对于该限位部处具有一第二通道。

8.根据权利要求1所述的用于研磨机的干燥单元，其特征在于：该第一定位模块具有至少一第一挡栓与一第一驱动源，该旋转台的一端具有一至少第一穿孔，该第一挡栓穿设于该第一穿孔，该第一驱动源耦接该第一挡栓的底端。

9.根据权利要求1所述的用于研磨机的干燥单元，其特征在于：该第二定位模块具有至少一第二挡栓与一第二驱动源，该该旋转台的另一端具有一至少第二穿孔，该第二挡栓穿设于该第二穿孔，该第二驱动源耦接该第二挡栓的底端。

10.根据权利要求3所述的用于研磨机的干燥单元，其特征在于：该第一定位模块具有一第一动力源，该第二定位模块具有一第二动力源，该第一动力源耦接该第一闸门的底端，该第二动力源耦接该第二闸门的底端。

Images