CN210223934U - 一种真空转移台 - Google Patents

Abstract

本实用新型是一种真空转移台，包括结构框架和操作单元，所述的结构框架边缘固定安装有烘箱悬臂，所述的结构框架上表面固定安装有加热烘箱，所述的烘箱悬臂与加热烘箱传动连接，所述的烘箱悬臂用于带动加热烘箱开启和闭合，所述的加热烘箱安装有真空腔体系统，所述的真空腔体系统与抽真空系统连通，所述的抽真空系统用于将真空腔体系统内部空间抽成真空环境；该种真空转移台能够进行真空光电器件的阴极制作、动态检测、管壳净化、阴极冲刷、真空封装等，具有操作灵活方便，重复性好，加热烘箱保温效果好节能控温精度高，以及使用寿命长的特点。

Description

一种真空转移台

技术领域

本实用新型是真空工况加工技术领域，具体的说是一种真空转移台。

背景技术

真空转移台用于真空光电器件的阴极制作、动态检测、管壳净化、阴极冲刷、真空封装等制管工艺处理，整个工艺过程需要在真空环境内实现，在工作的过程中需要对真空腔进行整体加热，一般会将加热结构附着在隔热罩内壁，因此需要隔热罩能够满足隔热的需求，进一步的，由于隔热罩属于刚性结构，在受热时会出现热胀冷缩的现象，导致隔热罩本身发生形变，导致结构失效。因此，需要一种能够在真空环境内进行光电器件加工的设备。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种真空转移台，能够进行真空光电器件的阴极制作、动态检测、管壳净化、阴极冲刷、真空封装等，具有操作灵活方便，重复性好，加热烘箱保温效果好节能控温精度高，以及使用寿命长的特点。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：

一种真空转移台，包括结构框架和操作单元，所述的结构框架边缘固定安装有烘箱悬臂，所述的结构框架上表面固定安装有加热烘箱，所述的烘箱悬臂与加热烘箱传动连接，所述的烘箱悬臂用于带动加热烘箱开启和闭合，所述的加热烘箱安装有真空腔体系统，所述的真空腔体系统与抽真空系统连通，所述的抽真空系统用于将真空腔体系统内部空间抽成真空环境；

所述的加热烘箱包括固定安装在结构框架上的烘箱隔热板，所述的烘箱隔热板上方设置有可分离的加热烘箱，所述的烘箱隔热板和加热烘箱可拼接形成独立空间，所述的加热烘箱内设置有真空腔体，所述的真空腔体包括并排设置的第一独立腔体、第二独立腔体和第三独立腔体，相邻腔体之间通过通道相互连通；

第一独立腔体内设置有A工件，第二独立腔体内设置有B工件，第三独立腔体设置在第一独立腔体和第二独立腔体之间，所述的第三独立腔体用于放置由A工件和B工件形成的组合工件，第一磁力传递杆一端穿过第一独立腔体侧壁与A工件传动连接，第二磁力传递杆一端穿过第二独立腔体侧壁与B工件传动连接，所述的第一磁力传递杆与第一独立腔体侧壁的连接处密封连接，所述的第二磁力传递杆与第二独立腔体侧壁的连接处密封连接；

所述的第一独立腔体、第二独立腔体和第三独立腔体顶部均设置有上观察窗，所述的第一独立腔体、第二独立腔体和第三独立腔体的侧壁均设置有侧观察窗，第一独立腔体底部开口处采用第一芯柱法兰实现密封，所述的第一芯柱法兰用于支撑A工件以及对A工件加电，第二独立腔体底部开口处采用第二芯柱法兰实现密封，所述的第二芯柱法兰用于支撑B工件以及对B工件加电，第三独立腔体底部开口处采用第三芯柱法兰实现密封，所述的第三芯柱法兰用于支撑组合工件以及对组合工件加电，所述的真空腔体通过连接气道与抽真空系统连通。

所述的第一磁力传递杆和第二磁力传递杆均沿第一独立腔体、第二独立腔体和第三独立腔体的排列方向设置，所述的第一磁力传递杆的轴心位于第一独立腔体和第三独立腔体的连接通道内，所述的第二磁力传递杆的轴心位于第二独立腔体和第三独立腔体的连接通道内，所述的第一磁力传递杆能够带动A工件在水平和竖直方向上移动，所述的第二磁力传递杆能够带动B工件在水平和竖直方向上移动。

所述的第一芯柱法兰、第二芯柱法兰和第三芯柱法兰均与真空腔体可拆卸连接，所述的第一芯柱法兰、第二芯柱法兰和第三芯柱法兰均设置有引入电极，所述的引入电极用于为A工件、B工件和组合工件加电。

所述的结构框架包括用于支撑的机架以及设置在机架顶面面的机架平台，所述的操作单元固定安装在机架内，所述的烘箱隔热板固定安装在机架平台的上表面，所述的烘箱悬臂穿过机架平台并固定安装在机架平台的边缘。

所述的加热烘箱的顶部与水平悬臂一端的下表面固定连接，水平悬臂另一端与固定套筒固定连接，所述的固定套筒与主轴顶部通过连接轴销传动连接，所述的主轴穿过缸套，所述的缸套穿过机架平台，所述的缸套与机架平台通过固定法兰固定连接，所述的固定法兰固定安装在缸套外壁上，所述的主轴的底端与垂向往复运动驱动装置传动连接；

所述的垂向往复运动驱动装置用于带动主轴沿轴向运动；

所述的缸套两端设置有高温防卡死机构，所述的高温防卡死机构用于保证主轴和缸套之间的滑动配合在高温环境内不会失效。

所述的高温防卡死机构为设置在缸套两端的自润滑铜套或限位滚轴组。

所述的复运动驱动装置采用蜗轮蜗杆结构，驱动电机输出轴与方箱变速器连接，方箱变速器驱动蜗轮蜗杆结构带动丝杆转动，嵌套在丝杆上的活灵与主轴固定连接，带动主轴实现轴向运动，所述的复运动驱动装置底部安装有配重。

所述的机架平台和烘箱隔热板上均加工有若干伸缩缝。

所述的抽真空系统包括主气路，所述的主气路一端与连接气道连通，另一端与分子泵连通，分子泵的出气端与隔膜泵连通，所述的主气路内安装有闸板阀，所述的主气路与支气路连通，所述的主气路与支气路的连通处设置在闸板阀和连接气道之间，所述的支气路与涡旋泵连通，所述的支气路内设置有初抽阀，所述的支气路通过气管与放气阀连通，所述的主气路通过气管与复合规连接。

该种真空转移台能够产生的有益效果为：第一，真空腔体设置有三个相对独立的独立腔体，可以在每个独立腔体内分别完成对A工件、B工件以及组合工件的处理工作，保证了工件之间预处理的独立性，提高了工件处理质量；同时，通过设置第一磁力传递杆和第二磁力传递杆保证了A工件和B工件的位移稳定性，可以使两侧的A工件和B工件移动到第三独立腔体实现结合，提高了真空环境内工件组合的精准度。第二，缸套两端设置自润滑铜套或限位滚轴组，保证了在0~400度的高温环境下，主轴的热胀不会导致主轴和缸套不会出现锁死的状态，保证了主轴轴向运动的稳定性；同时在升降装置的下方设置配重，保证了重心的稳定性。第三，抽真空系统采用了涡旋泵进行预抽真空，利用分子泵和隔膜泵进行标准抽真空以及真空维持，保证了真空工况的持续。

附图说明

图1为本实用新型一种真空转移台的结构示意图。

图2为本实用新型一种真空转移台烘箱悬臂的结构示意图。

图3为本实用新型一种真空转移台缸套的结构示意图。

图4为本实用新型一种真空转移台缸套的结构示意图。

图5为本实用新型一种真空转移台加热烘箱和真空腔体系统的结构示意图。

图6为本实用新型一种真空转移台抽真空系统的结构示意图。

说明书附图标注：1、结构框架；2、烘箱悬臂；3、加热烘箱；4、真空腔体系统；5、抽真空系统；6、操作单元；

1.1、机架；1.2、机架平台；

2.1、缸套；2.2、固定法兰；2.3、主轴；2.4、固定套筒；2.5、水平悬臂；2.6、连接轴销；2.7、垂向往复运动驱动装置；2.8、活灵；2.9、配重；2.10、铜套；2.11、限位滚轴组；

3.1、组合工件；3.2、烘箱隔热板；3.3、第一芯柱法兰；3.4、A工件；3.5、第一磁力传递杆；3.6、加热烘箱；3.7、上观察窗； 3.9、侧观察窗；3.10、真空腔体；3.11、第二磁力传递杆；3.12、B工件；3.13、第二芯柱法兰；3.14、第三芯柱法兰；3.15、连接气道；

5.1、主气路；5.2、闸板阀；5.3、分子泵；5.4、隔膜泵；5.5、支气路；5.6、初抽阀；5.7、涡旋泵；5.8、放气阀。

具体实施方式

以下结合说明书附图和具体优选的实施例对本实用新型作进一步描述。

如图1所示，一种真空转移台，包括结构框架1和操作单元6，所述的结构框架1边缘固定安装有烘箱悬臂2，所述的结构框架1上表面固定安装有加热烘箱3，所述的烘箱悬臂2与加热烘箱3传动连接，所述的烘箱悬臂2用于带动加热烘箱3开启和闭合，所述的加热烘箱3安装有真空腔体系统4，所述的真空腔体系统4与抽真空系统5连通，所述的抽真空系统5用于将真空腔体系统4内部空间抽成真空环境；

所述的加热烘箱3包括固定安装在结构框架1上的烘箱隔热板3.2，所述的烘箱隔热板3.2上方设置有可分离的加热烘箱3.6，所述的烘箱隔热板3.2和加热烘箱3.6可拼接形成独立空间，所述的加热烘箱3.6内设置有真空腔体3.10，所述的真空腔体3.10包括并排设置的第一独立腔体、第二独立腔体和第三独立腔体，相邻腔体之间通过通道相互连通；

第一独立腔体内设置有A工件3.4，第二独立腔体内设置有B工件3.12，第三独立腔体设置在第一独立腔体和第二独立腔体之间，所述的第三独立腔体用于放置由A工件3.4和B工件12形成的组合工件3.1，第一磁力传递杆3.5一端穿过第一独立腔体侧壁与A工件3.4传动连接，第二磁力传递杆3.11一端穿过第二独立腔体侧壁与B工件3.12传动连接，所述的第一磁力传递杆3.5与第一独立腔体侧壁的连接处密封连接，所述的第二磁力传递杆3.11与第二独立腔体侧壁的连接处密封连接；

所述的第一独立腔体、第二独立腔体和第三独立腔体顶部均设置有上观察窗3.7，所述的第一独立腔体、第二独立腔体和第三独立腔体的侧壁均设置有侧观察窗3.9，第一独立腔体底部开口处采用第一芯柱法兰3.3实现密封，所述的第一芯柱法兰3.3用于支撑A工件3.4以及对A工件3.4加电，第二独立腔体底部开口处采用第二芯柱法兰3.13实现密封，所述的第二芯柱法兰3.13用于支撑B工件3.12以及对B工件3.12加电，第三独立腔体底部开口处采用第三芯柱法兰3.14实现密封，所述的第三芯柱法兰3.14用于支撑组合工件3.1以及对组合工件3.1加电，所述的真空腔体3.10通过连接气道3.15与抽真空系统5连通。

本实施例中，第一磁力传递杆3.5和第二磁力传递杆3.11均沿第一独立腔体、第二独立腔体和第三独立腔体的排列方向设置，所述的第一磁力传递杆3.5的轴心位于第一独立腔体和第三独立腔体的连接通道内，所述的第二磁力传递杆3.11的轴心位于第二独立腔体和第三独立腔体的连接通道内，所述的第一磁力传递杆3.5能够带动A工件3.4在水平和竖直方向上移动，所述的第二磁力传递杆11能够带动B工件3.12在水平和竖直方向上移动。

本实施例中，第一芯柱法兰3.3、第二芯柱法兰3.13和第三芯柱法兰3.14均与真空腔体3.10可拆卸连接，所述的第一芯柱法兰3.3、第二芯柱法兰3.13和第三芯柱法兰3.14均设置有引入电极，所述的引入电极用于为A工件3.4、B工件3.12和组合工件3.1加电。

本实施例中，结构框架1包括用于支撑的机架1.1以及设置在机架1顶面面的机架平台1.2，所述的操作单元6固定安装在机架1内，所述的烘箱隔热板3.2固定安装在机架平台1.2的上表面，所述的烘箱悬臂2穿过机架平台1.2并固定安装在机架平台1.2的边缘。

本实施例中，加热烘箱3.6的顶部与水平悬臂2.5一端的下表面固定连接，水平悬臂2.5另一端与固定套筒2.4固定连接，所述的固定套筒2.4与主轴2.3顶部通过连接轴销2.6传动连接，所述的主轴2.3穿过缸套2.1，所述的缸套2.1穿过机架平台1.2，所述的缸套2.1与机架平台1.2通过固定法兰2.2固定连接，所述的固定法兰2.2固定安装在缸套2.1外壁上，所述的主轴2.3的底端与垂向往复运动驱动装置2.7传动连接；

所述的垂向往复运动驱动装置2.7用于带动主轴2.3沿轴向运动；

所述的缸套2.1两端设置有高温防卡死机构，所述的高温防卡死机构用于保证主轴2.3和缸套2.1之间的滑动配合在高温环境内不会失效。

本实施例中，高温防卡死机构为设置在缸套2.1两端的自润滑铜套2.10或限位滚轴组2.11。

本实施例中，复运动驱动装置2.7采用蜗轮蜗杆结构，驱动电机输出轴与方箱变速器连接，方箱变速器驱动蜗轮蜗杆结构带动丝杆转动，嵌套在丝杆上的活灵2.8与主轴2.3固定连接，带动主轴2.3实现轴向运动，所述的复运动驱动装置2.7底部安装有配重2.9。

本实施例中，机架平台1.2和烘箱隔热板3.2上均加工有若干伸缩缝。

本实施例中，抽真空系统5包括主气路5.1，所述的主气路5.1一端与连接气道3.15连通，另一端与分子泵5.3连通，分子泵5.3的出气端与隔膜泵5.4连通，所述的主气路5.1内安装有闸板阀5.2，所述的主气路5.1与支气路5.5连通，所述的主气路5.1与支气路5.5的连通处设置在闸板阀5.2和连接气道3.15之间，所述的支气路5.5与涡旋泵5.7连通，所述的支气路5.5内设置有初抽阀5.6，所述的支气路5.5通过气管与放气阀5.8连通，所述的主气路5.1通过气管与复合规连接。

本实施例中，预处理后的A工件由第一磁力传递杆将其移至第三独立腔体内，B工件通过第二磁力传递杆将其移动到第三独立腔体中A工件的上方，由于A工件为一端开口半密封管壳，B工件为A工件配套的窗口，在A工件和B工件之间预置了一种低温焊料。通过辅助定位工装精准定位后，再由加热烘箱升温到低温焊料的融化温度，完成A工件和B工件的封装，由于真空腔体内为极限真空度优于5×10^-7Pa的真空环境，因此A工件4和B工件12的封装为真空封装。

以上仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，应视为本实用新型的保护范围。

Claims (9)

1.一种真空转移台，其特征在于：包括结构框架（1）和操作单元（6），所述的结构框架（1）边缘固定安装有烘箱悬臂（2），所述的结构框架（1）上表面固定安装有加热烘箱（3），所述的烘箱悬臂（2）与加热烘箱（3）传动连接，所述的烘箱悬臂（2）用于带动加热烘箱（3）开启和闭合，所述的加热烘箱（3）安装有真空腔体系统（4），所述的真空腔体系统（4）与抽真空系统（5）连通，所述的抽真空系统（5）用于将真空腔体系统（4）内部空间抽成真空环境；

所述的加热烘箱（3）包括固定安装在结构框架（1）上的烘箱隔热板（3.2），所述的烘箱隔热板（3.2）上方设置有可分离的加热烘箱（3.6），所述的烘箱隔热板（3.2）和加热烘箱（3.6）可拼接形成独立空间，所述的加热烘箱（3.6）内设置有真空腔体（3.10），所述的真空腔体（3.10）包括并排设置的第一独立腔体、第二独立腔体和第三独立腔体，相邻腔体之间通过通道相互连通；

第一独立腔体内设置有A工件（3.4），第二独立腔体内设置有B工件（3.12），第三独立腔体设置在第一独立腔体和第二独立腔体之间，所述的第三独立腔体用于放置由A工件（3.4）和B工件（12）形成的组合工件（3.1），第一磁力传递杆（3.5）一端穿过第一独立腔体侧壁与A工件（3.4）传动连接，第二磁力传递杆（3.11）一端穿过第二独立腔体侧壁与B工件（3.12）传动连接，所述的第一磁力传递杆（3.5）与第一独立腔体侧壁的连接处密封连接，所述的第二磁力传递杆（3.11）与第二独立腔体侧壁的连接处密封连接；

所述的第一独立腔体、第二独立腔体和第三独立腔体顶部均设置有上观察窗（3.7），所述的第一独立腔体、第二独立腔体和第三独立腔体的侧壁均设置有侧观察窗（3.9），第一独立腔体底部开口处采用第一芯柱法兰（3.3）实现密封，所述的第一芯柱法兰（3.3）用于支撑A工件（3.4）以及对A工件（3.4）加电，第二独立腔体底部开口处采用第二芯柱法兰（3.13）实现密封，所述的第二芯柱法兰（3.13）用于支撑B工件（3.12）以及对B工件（3.12）加电，第三独立腔体底部开口处采用第三芯柱法兰（3.14）实现密封，所述的第三芯柱法兰（3.14）用于支撑组合工件（3.1）以及对组合工件（3.1）加电，所述的真空腔体（3.10）通过连接气道（3.15）与抽真空系统（5）连通。

2.根据权利要求1所述的一种真空转移台，其特征在于：所述的第一磁力传递杆（3.5）和第二磁力传递杆（3.11）均沿第一独立腔体、第二独立腔体和第三独立腔体的排列方向设置，所述的第一磁力传递杆（3.5）的轴心位于第一独立腔体和第三独立腔体的连接通道内，所述的第二磁力传递杆（3.11）的轴心位于第二独立腔体和第三独立腔体的连接通道内，所述的第一磁力传递杆（3.5）能够带动A工件（3.4）在水平和竖直方向上移动，所述的第二磁力传递杆（11）能够带动B工件（3.12）在水平和竖直方向上移动。

3.根据权利要求2所述的一种真空转移台，其特征在于：所述的第一芯柱法兰（3.3）、第二芯柱法兰（3.13）和第三芯柱法兰（3.14）均与真空腔体（3.10）可拆卸连接，所述的第一芯柱法兰（3.3）、第二芯柱法兰（3.13）和第三芯柱法兰（3.14）均设置有引入电极，所述的引入电极用于为A工件（3.4）、B工件（3.12）和组合工件（3.1）加电。

4.根据权利要求1所述的一种真空转移台，其特征在于：所述的结构框架（1）包括用于支撑的机架（1.1）以及设置在机架（1.1）顶面面的机架平台（1.2），所述的操作单元（6）固定安装在机架（1.1）内，所述的烘箱隔热板（3.2）固定安装在机架平台（1.2）的上表面，所述的烘箱悬臂（2）穿过机架平台（1.2）并固定安装在机架平台（1.2）的边缘。

5.根据权利要求4所述的一种真空转移台，其特征在于：所述的加热烘箱（3.6）的顶部与水平悬臂（2.5）一端的下表面固定连接，水平悬臂（2.5）另一端与固定套筒（2.4）固定连接，所述的固定套筒（2.4）与主轴（2.3）顶部通过连接轴销（2.6）传动连接，所述的主轴（2.3）穿过缸套（2.1），所述的缸套（2.1）穿过机架平台（1.2），所述的缸套（2.1）与机架平台（1.2）通过固定法兰（2.2）固定连接，所述的固定法兰（2.2）固定安装在缸套（2.1）外壁上，所述的主轴（2.3）的底端与垂向往复运动驱动装置（2.7）传动连接；

所述的垂向往复运动驱动装置（2.7）用于带动主轴（2.3）沿轴向运动；

所述的缸套（2.1）两端设置有高温防卡死机构，所述的高温防卡死机构用于保证主轴（2.3）和缸套（2.1）之间的滑动配合在高温环境内不会失效。

6.根据权利要求5所述的一种真空转移台，其特征在于：所述的高温防卡死机构为设置在缸套（2.1）两端的自润滑铜套（2.10）或限位滚轴组（2.11）。

7.根据权利要求5所述的一种真空转移台，其特征在于：所述的复运动驱动装置（2.7）采用蜗轮蜗杆结构，驱动电机输出轴与方箱变速器连接，方箱变速器驱动蜗轮蜗杆结构带动丝杆转动，嵌套在丝杆上的活灵（2.8）与主轴（2.3）固定连接，带动主轴（2.3）实现轴向运动，所述的复运动驱动装置（2.7）底部安装有配重（2.9）。

8.根据权利要求4所述的一种真空转移台，其特征在于：所述的机架平台（1.2）和烘箱隔热板（3.2）上均加工有若干伸缩缝。

9.根据权利要求1所述的一种真空转移台，其特征在于：所述的抽真空系统（5）包括主气路（5.1），所述的主气路（5.1）一端与连接气道（3.15）连通，另一端与分子泵（5.3）连通，分子泵（5.3）的出气端与隔膜泵（5.4）连通，所述的主气路（5.1）内安装有闸板阀（5.2），所述的主气路（5.1）与支气路（5.5）连通，所述的主气路（5.1）与支气路（5.5）的连通处设置在闸板阀（5.2）和连接气道（3.15）之间，所述的支气路（5.5）与涡旋泵（5.7）连通，所述的支气路（5.5）内设置有初抽阀（5.6），所述的支气路（5.5）通过气管与放气阀（5.8）连通，所述的主气路（5.1）通过气管与复合规连接。

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