CN210221427U - 一种半导体设备用密封性能检验机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体设备用密封性能检验机构，包括底座，该半导体设备用密封性能检验机构，通过螺母与螺栓将波纹管与对接板和第二侧板固定，通过设有电动伸缩杆对波纹管进行拉伸，使波纹管处于适应长度，避免了抽气时波纹管的负压收缩变形，对波纹管本身起到保护作用，适用范围广泛，本设计不仅仅适用于焊接圆形法兰的波纹管，还适用于焊接椭圆形、三角形等任意形状法兰的波纹管，具有通用性，本机构结构小巧简单，拆卸方便，提高了波纹管的检漏效率，整体结构合理，使用便捷，密封性能好，利于后期检验时的准确对，此工装结构有效的提高了检漏的可靠性，减少了检漏时间，同时排除了波纹管存在漏点的可能性等特点。

Description

一种半导体设备用密封性能检验机构

技术领域

本实用新型涉及一种密封性能检验机构，特别涉及一种半导体设备用密封性能检验机构，属于半导体设备用波纹管密封性能检验技术领域。

背景技术

半导体镀膜设备中常用波纹管来实现某些部件的升降功能，同时实现大气与真空环境的互换，所以必须保证波纹管的密封性能满足设备的要求，另外，在波纹管安装到设备之前，如果不进行密封性能的检测，增加了不确定因素可能会出现漏率不合格等现象，如此会增加设备检漏时间及零部件的更换装配时间等问题。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种半导体设备用密封性能检验机构，通过设有对接板、密封层、检测仪和法兰等有效的解决了在波纹管安装到设备之前，不进行密封性能的检测，增加了不确定因素可能会出现漏率不合格等现象，增加设备检漏时间及零部件的更换装配时间等问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

本实用新型一种半导体设备用密封性能检验机构，包括底座，所述底座顶端相远离的两侧分别固定连接有第一侧板和第二侧板，所述第一侧板相对第二侧板的一侧固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆远离第一侧板的一端固定连接有对接板，所述对接板侧壁上相远离的两端连接有螺栓，所述螺栓上连接有螺母，所述对接板与第二侧板之间设有波纹管，所述第二侧板远离波纹管的一侧固定连接有检测仪。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述波纹管相远离的两端均固定连接有法兰，所述法兰，所述法兰上开设有若干个螺纹通槽，所述法兰的中心位置固定连接有密封层。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述波纹管两端法兰分别与对接板和第二侧板对应，所述对接板和第二侧板与法兰的螺纹通槽对应处均开设有螺纹槽，所述螺栓穿插过对接板的螺纹槽至对应的法兰的螺纹通槽与其螺纹连接且螺母螺纹连接在螺栓的另一端上，所述螺栓穿插过对应第二侧板的法兰的螺纹通槽至第二侧板上的螺纹槽且与其螺纹连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述第二侧板的侧壁上开设有通风口且与法兰上的密封层相对应，所述检测仪的输出端固定连接在第二侧板的通风口，所述检测仪与第二侧板通风口连接处设有橡胶密封套。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述密封层采用橡胶材质制成。

本实用新型所达到的有益效果是：

1、该半导体设备用密封性能检验机构，结构合理，通过螺母与螺栓将波纹管与对接板和第二侧板固定，通过设有电动伸缩杆对波纹管进行拉伸，使波纹管处于适应长度，避免了抽气时波纹管的负压收缩变形，对波纹管本身起到保护作用；

2、该半导体设备用密封性能检验机构，适用范围广泛，本设计不仅仅适用于焊接圆形法兰的波纹管，还适用于焊接椭圆形、三角形等任意形状法兰的波纹管，具有通用性；

3、该半导体设备用密封性能检验机构，本机构结构小巧简单，拆卸方便，提高了波纹管的检漏效率。

整体使用便捷，密封性能好，利于后期检验时的准确对，此工装结构有效的提高了检漏的可靠性，减少了检漏时间，同时排除了波纹管存在漏点的可能性等特点。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。

在附图中：

图1是本实用新型的平面结构示意图；

图2是本实用新型波纹管的立体结构示意图。

图中：1、底座；2、第一侧板；3、第二侧板；4、电动伸缩杆；5、对接板；6、螺栓；7、螺母；8、波纹管；9、检测仪；81、法兰；82、螺纹通槽；83、密封层。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

实施例

如图1-2所示，一种半导体设备用密封性能检验机构，包括底座1，底座1顶端相远离的两侧分别固定连接有第一侧板2和第二侧板3，第一侧板2相对第二侧板3的一侧固定连接有电动伸缩杆4，电动伸缩杆4远离第一侧板2的一端固定连接有对接板5，对接板5侧壁上相远离的两端连接有螺栓6，螺栓6上连接有螺母7，对接板5与第二侧板3之间设有波纹管8，第二侧板3远离波纹管8的一侧固定连接有检测仪9。

波纹管8相远离的两端均固定连接有法兰81，法兰81，法兰81上开设有若干个螺纹通槽82，法兰81的中心位置固定连接有密封层83，波纹管8两端法兰81分别与对接板5和第二侧板3对应，对接板5和第二侧板3与法兰81的螺纹通槽82对应处均开设有螺纹槽，螺栓6穿插过对接板5的螺纹槽至对应的法兰81的螺纹通槽82与其螺纹连接且螺母7螺纹连接在螺栓6的另一端上，螺栓6穿插过对应第二侧板3的法兰81的螺纹通槽82至第二侧板3上的螺纹槽且与其螺纹连接，第二侧板3的侧壁上开设有通风口且与法兰81上的密封层83相对应，检测仪9的输出端固定连接在第二侧板3的通风口，检测仪9与第二侧板3通风口连接处设有橡胶密封套，密封层83采用橡胶材质制成。

具体的，通过先将波纹管8一端的法兰81与对接板5相贴合，然后使用螺栓6穿插对接板5的螺纹槽至法兰81的螺纹通槽82将其螺纹连接固定，然后再使用螺母7将螺栓6的另一端螺纹连接使其固定，再手动将波纹管8另一端的法兰81与第二侧板3相贴合，然后使用螺栓6穿插过至波纹管8的螺纹通槽82至第二侧板3上螺纹槽，将其螺纹连接固定，固定完成后，法兰81上的密封层83受到挤压与第二侧板3和对接板5贴合，提高其之间密封性，然后操控电动伸缩杆4将波纹管8拉伸至适应的长度，避免波纹管8抽气时，负压收缩变形，最后由第二侧板3通风口处检测仪9对波纹管8进行抽气检漏操作，记录检测仪检测的波纹管8的真空度结果，最后判定波纹管8的密封性能是否合格。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种半导体设备用密封性能检验机构，其特征在于，包括底座(1)，所述底座(1)顶端相远离的两侧分别固定连接有第一侧板(2)和第二侧板(3)，所述第一侧板(2)相对第二侧板(3)的一侧固定连接有电动伸缩杆(4)，所述电动伸缩杆(4)远离第一侧板(2)的一端固定连接有对接板(5)，所述对接板(5)侧壁上相远离的两端连接有螺栓(6)，所述螺栓(6)上连接有螺母(7)，所述对接板(5)与第二侧板(3)之间设有波纹管(8)，所述第二侧板(3)远离波纹管(8)的一侧固定连接有检测仪(9)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体设备用密封性能检验机构，其特征在于，所述波纹管(8)相远离的两端均固定连接有法兰(81)，所述法兰(81)，所述法兰(81)上开设有若干个螺纹通槽(82)，所述法兰(81)的中心位置固定连接有密封层(83)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体设备用密封性能检验机构，其特征在于，所述波纹管(8)两端法兰(81)分别与对接板(5)和第二侧板(3)对应，所述对接板(5)和第二侧板(3)与法兰(81)的螺纹通槽(82)对应处均开设有螺纹槽，所述螺栓(6)穿插过对接板(5)的螺纹槽至对应的法兰(81)的螺纹通槽(82)与其螺纹连接且螺母(7)螺纹连接在螺栓(6)的另一端上，所述螺栓(6)穿插过对应第二侧板(3)的法兰(81)的螺纹通槽(82)至第二侧板(3)上的螺纹槽且与其螺纹连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体设备用密封性能检验机构，其特征在于，所述第二侧板(3)的侧壁上开设有通风口且与法兰(81)上的密封层(83)相对应，所述检测仪(9)的输出端固定连接在第二侧板(3)的通风口，所述检测仪(9)与第二侧板(3)通风口连接处设有橡胶密封套。

5.根据权利要求2所述的一种半导体设备用密封性能检验机构，其特征在于，所述密封层(83)采用橡胶材质制成。

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