CN210209917U - 一种用于玻璃基片抛光的真空吸附与吹气下料装置 - Google Patents

一种用于玻璃基片抛光的真空吸附与吹气下料装置 Download PDF

Info

Publication number
CN210209917U
CN210209917U CN201920803604.8U CN201920803604U CN210209917U CN 210209917 U CN210209917 U CN 210209917U CN 201920803604 U CN201920803604 U CN 201920803604U CN 210209917 U CN210209917 U CN 210209917U
Authority
CN
China
Prior art keywords
blowing
air
adsorption
vacuum
vacuum adsorption
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201920803604.8U
Other languages
English (en)
Inventor
Huiyi Yang
杨会义
Zhifeng Li
李智峰
Yabiao Liu
刘亚彪
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hunan Yongchuang Mechanical & Electrical Equipment Co ltd
Original Assignee
Hunan Yongchuang Mechanical & Electrical Equipment Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hunan Yongchuang Mechanical & Electrical Equipment Co ltd filed Critical Hunan Yongchuang Mechanical & Electrical Equipment Co ltd
Priority to CN201920803604.8U priority Critical patent/CN210209917U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN210209917U publication Critical patent/CN210209917U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

本实用新型公开了一种用于玻璃基片抛光的真空吸附与吹气下料装置,包括真空吸附盘和真空吸附气路,真空吸附盘上设置有多个吸附气孔,真空吸附气路的一端与一气源连接,另一端与吸附气孔连接,还包括预吹气下料气路和主吹气下料气路,预吹气下料气路包括调压阀和预吹气控制阀,主吹气下料气路包括主吹气控制阀,调压阀的一端与气源连接,另一端与预吹气控制阀的一端连接,主吹气控制阀的一端与气源连接,预吹气控制阀和主吹气控制阀的另一端均与吸附气孔连接。本实用新型通过设置预吹气下料气路和主吹气下料气路,从而实现了玻璃基片的分步脱离,进而防止一开始较大吹气压力损坏玻璃基片,进而节约了取片的时间,提高了生产效率。

Description

一种用于玻璃基片抛光的真空吸附与吹气下料装置
技术领域
本实用新型涉及玻璃基片抛光技术领域,尤其涉及一种用于玻璃基片抛光的真空吸附与吹气下料装置。
背景技术
玻璃基片在抛光的上下料过程中,玻璃基片吸附在吸附垫上,目前大部分采用人工上下料操作,人工操作动作慢且容易划破手指造成工伤或损坏玻璃进而影响良品率,而且手触摸玻璃影响玻璃基片的品质。同时,在人工上下料的过程中,用水浇取玻璃,水冲走了部分抛光液,即浪费了水也浪费了抛光液。从而,玻璃基片的自动化上下料成为趋势。
中国专利CN103846788A公开了一种改进抛光件吸附方式的抛光机,能够通过真空吸附和吹气的方式,能够实现被加工玻璃基片的自动装片和取片,但是在吹气下料的过程中,加工玻璃基片很容易被气压吹破裂,同时,各个吸附气孔在吹气时的气压也很难保证大小一致,同样也容易导致被气压吹破裂,进而影响合格率;此外,还存在中心轴与真空吸附盘之间得轴承没有密封设置,容易被进入的抛光液磨损、腐蚀,以及中心轴中心孔、吸附气孔难加工,以及中心轴和真空吸附盘定心精度不高等问题。
实用新型内容
本实用新型目的在于提供一种用于玻璃基片抛光的真空吸附与吹气下料装置,从而解决上述问题。
为实现上述目的,本实用新型公开了一种用于玻璃基片抛光的真空吸附与吹气下料装置,包括真空吸附盘和真空吸附气路,所述真空吸附盘上设置有多个吸附气孔,所述真空吸附气路的端部与所述吸附气孔连接,还包括吹气下料气路和用于调节所述吹气下料气路气压大小的气压调节装置,所述吹气下料气路的一端与一气源连接,另一端与所述气压调节装置的一端连接,所述气压调节装置的另一端与所述吸附气孔连接,从而可以实现玻璃基片的在下料初始阶段以较小的气压吹气,避免一开始过大的吹气气压损坏玻璃基片。
进一步的,所述吹气下料气路包括主吹气下料气路和预吹气下料气路,所述气压调节装置包括调压阀、预吹气控制阀和主吹气控制阀,所述调压阀和至少一个所述预吹气控制阀设置在所述预吹气下料气路上,所述主吹气控制阀设置在所述主吹气下料气路上。通过较小气压的预吹气,实现玻璃基片初步脱离或者部分脱离,然后通过开启主吹气控制阀,高压气体即可从吸附气孔吹出,进而完全吹落玻璃基片。
进一步的,所述真空吸附气路包括真空发生器、真空调压阀和真空过滤器,所述真空发生器的一端与所述气源连接,另一端与所述真空调压阀的一端连接,所述真空调压阀的另一端与所述真空过滤器的一端连接,所述真空过滤器的另一端与所述吸附气孔连接,所述预吹气控制阀为三通电磁阀,所述三通电磁阀的一端与所述调压阀和真空过滤器的另一端连接,该三通电磁阀的另一端与所述吸附气孔连接,通过同一气源实现玻璃基片的吸附,简化了气路结构。
进一步的,所述气压调节装置为可实现吹气下料气路气压大小连续调节的连续调节阀,从而实现吹气下料气路中的气压的自动、无级调节。
进一步的,所述真空吸附盘外侧的吸附气孔的密集程度大于所述真空吸附盘内侧的吸附气孔的密集程度,从而使玻璃基片形成从边缘到中心逐步脱离的趋势,避免玻璃基片的中心最先脱离而外缘被大气压压紧,进而导致玻璃基片破碎的情况。
进一步的,还包括多个扩大沉孔,所述扩大沉孔延伸到基本靠近所述真空吸附盘的下侧面,所述吸附气孔贯通设置在所述扩大沉孔的底部,在保证真空吸附盘整体的刚度和下侧面的平面度的同时,实现较小的吸附气孔的钻设成功。
进一步的,还包括中心轴、吸附盘盖件和旋转气路接头,所述吸附盘盖件安装在所述真空吸附盘上,该吸附盘盖件与所述真空吸附盘之间形成有与所述吸附气孔连通的腔体,所述中心轴与所述吸附盘盖件枢接的端部设置有中心孔,所述中心孔的侧壁上设置有贯通的气管接入孔,所述旋转气路接头安装在所述吸附盘盖件的中心,其一端与所述腔体连接,另一端与从所述气管接入孔伸入的一气管连接,通过腔体的设置,从而各吸附气孔的吹、吸更加均匀一致。
进一步的,所述吸附盘盖件上设置有轴承孔,所述轴承孔内安装有滚动轴承,所述中心轴与所述滚动轴承的内圈套接,所述轴承孔上方设置有一轴承端盖,所述轴承端盖与所述中心轴密封枢接,从而避免滚动轴承被抛光液腐蚀、磨损。
进一步的,所述真空吸附盘中心设置有一定位沉孔,所述吸附盘盖件的中心向下延伸形成一定位凸台,所述定位凸台同轴套接在所说定位沉孔内,所述定位沉孔的侧壁上设置有用于连通两端所述腔体的通气槽,提高了中心轴和真空吸附盘的同轴安装精度。
进一步的,所述吸附盘盖件上周向设置有分隔筋板,所述分隔筋板与所述真空吸附盘贴合的面上设置有腔体密封圈,所述分隔筋板将所述腔体分隔为多个子腔体,所述子腔体之间通过子气路连接,实现对不同尺寸的玻璃基片抛光,同样也可实现适应多种尺寸的玻璃基片的生产,扩大了该装置的抛光应用范围。
与现有技术相比,本实用新型的优点在于:
1、本实用新型通过设置预吹气下料气路和主吹气下料气路,从而实现了玻璃基片的分步脱离,进而防止一开始较大吹气压力损坏玻璃基片;
2、本实用新型节约了水、节约了抛光液,进一步也节约了废水处理成本;
3、本实用新型结构简单,不需要人工上下料取片,避免了人工取料经常划破手指造成工伤,而且容易损坏玻璃基片的问题;
4、本实用新型因采用自动化吸附和下料操作,可提高质量稳定性及提高产品品质;
5、本实用新型节约了大量的吸附垫,也节约了更换吸附垫的时间;
6、本实用新型节约了取片的时间,提高了生产效率,最为关键的是可实现自动化生产。
下面将参照附图,对本实用新型作进一步详细的说明。
附图说明
构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解,本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中:
图1是本实用新型实施例公开的用于玻璃基片抛光的真空吸附与吹气下料装置的结构示意图;
图2是图1的A处的放大示意图;
图3是图2的B处的放大示意图。
图例说明:
1、真空吸附盘;2、吸附气孔;3、气源;4、调压阀;5、预吹气控制阀;6、主吹气控制阀;7、真空发生器;8、真空调压阀;9、真空过滤器;10、中心轴;11、吸附盘盖件;12、旋转气路接头;13、腔体;14、中心孔;15、气管接入孔;16、气管;17、轴承孔;18、滚动轴承;19、轴承端盖;20、定位沉孔;21、定位凸台;22、通气槽;23、扩大沉孔;24、分隔筋板;25、腔体密封圈;26、子腔体;27、子气路;28、盖板;29、轴承座;30、轴承凸缘;31、盖板凸缘;32、端盖密封圈;33、气管接头;34、隔离罩;36、吸附垫;37、挡圈;38、锁紧螺母;39、三通管接头;40、预吹气下料气路;41、主吹气下料气路;42、真空吸附气路。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的实施例进行详细说明,但是本实用新型可以由权利要求限定和覆盖的多种不同方式实施。
实施例一:
如图1-图3所示,本实用新型公开了一种用于玻璃基片抛光的真空吸附与吹气下料装置,包括真空吸附盘1和真空吸附气路42,真空吸附盘1上设置有多个吸附气孔2,真空吸附盘1的下侧面黏结有吸附垫36,真空吸附气路42的一端与一气源3(在本实施例中,气源3为一输入高压空气的气源三联件)连接,另一端与吸附气孔2连接,其中,真空吸附气路42包括真空发生器7、真空调压阀8和真空过滤器9,真空发生器7上设置有控制高压空气进入的电磁阀,该真空发生器7的一端与气源3连接,另一端与真空调压阀8的一端连接,真空调压阀8的另一端与真空过滤器9的一端连接,真空过滤器9的另一端与吸附气孔2连接。从而,启动真空发生器7后,吸附气孔2即可产生负压吸附玻璃基片。
具体的,当吸附在真空吸附盘1上的玻璃基片抛光完毕需要下料时,通过下料气路向吸附气孔2吹气即可,为了防止过高的气压吹破玻璃基片,在本实施例中,还包括吹气下料气路和可调节吹气下料气路气压的气压调节装置,吹气下料气路包括预吹气下料气路40和主吹气下料气路41,其中,预吹气下料气路40输出的气体压力小于主吹气下料气路41输出的气体压力,而气压调节装置则包括调压阀4、预吹气控制阀5和主吹气控制阀6。其中,调压阀4和多个预吹气控制阀5设置在预吹气下料气路40上,调压阀4的输入端接气源3,输出端并联设置多个预吹气控制阀5,从而形成一个类似汽车“换挡”的气压换挡装置,当依次打开不同的预吹气控制阀5时,即可实现预吹气过程中气压的逐渐增大,此为阶梯状气压大小的增加。而主吹气控制阀6设置在主吹气下料气路41上,调压阀4的一端通过三通管接头39与气源3连接,另一端与预吹气控制阀5的一端连接,主吹气控制阀6的一端通过三通管接头39与气源3连接,预吹气控制阀5和主吹气控制阀6的另一端均与所有吸附气孔2同步连接(均通过气管16连接),具体操作时,先启动预吹气控制阀5,预吹气下料气路40导通,通过调节调压阀4控制预吹气下料气路40中气压的大小,然后,逐步打开不同的预吹气控制阀5,进而实现吸附气孔2吹出的气压逐渐增大,以使玻璃基片初步脱离或者部分脱离吸附垫36,最后启动主吹气控制阀6,高压气体即可从吸附气孔2吹出,进而完全吹落玻璃基片。
在本实施例中,预吹气控制阀5为三通电磁阀,三通电磁阀的一端与调压阀4和真空过滤器9的另一端连接,该三通电磁阀的另一端与吸附气孔2连接,当三通电磁阀切换到预吹气下料气路40导通时,真空吸附气路42处于关闭状态,当三通电磁阀切换到预吹气下料气路40关闭、真空吸附气路42导通时,只要控制真空发生器7上的电磁阀,即可实现玻璃基片的吸附作业,从而通过一个预吹气控制阀5实现了预吹气下料气路40和真空吸附气路42的同时控制,简化了气路结构。
在本实施例中,真空吸附盘1外侧的吸附气孔2的密集程度大于真空吸附盘1内侧的吸附气孔2的密集程度,从而,当预吹气下料气路40和主吹气下料气路41导通吹气时,玻璃基片的外缘最先脱离吸附垫36,即形成一个从边缘到中心逐步脱离的趋势,避免玻璃基片的中心最先脱离而外缘仍被大气压压紧,进而导致玻璃基片破碎的情况。
在本实施例中,还包括中心轴10、吸附盘盖件11和旋转气路接头12,吸附盘盖件11安装在真空吸附盘1上,该吸附盘盖件11与真空吸附盘1之间形成有与吸附气孔2连通的腔体13,中心轴10与吸附盘盖件11枢接的端部设置有中心孔14,中心孔14的侧壁上设置有贯通的气管接入孔15,旋转气路接头12安装在吸附盘盖件11的中心,其一端与腔体13连接,另一端与从气管接入孔15伸入的一气管16连接。具体的,吸附盘盖件11上设置有轴承孔17,轴承孔17内安装有一滚动轴承18,滚动轴承18的一端通过中心轴10的轴肩限位,另一端通过挡圈37和锁紧螺母38锁紧。中心轴10与滚动轴承18的内圈套接,滚动轴承18通过一安装在轴承孔17上的轴承端盖19密封,轴承端盖19通过两侧的端盖密封圈32密封,防止外部抛光液进入轴承孔17内、加速对滚动轴承18的磨损和腐蚀的的问题,进而能够对滚动轴承18起到很好的保护作用,进一步,在本实施例中,轴承端盖19还安装有一隔离罩34,隔离罩34套接固定在中心轴10上,从而进一步防止抛光液向轴承端盖19处飞溅或者流动,同时,为了避免气管16在进入中心孔14时弯折,隔离罩34上还设置有一气管接头33,从而实现进入中心孔14的气管16的平顺转接。
在本实施例中,真空吸附盘1中心设置有一定位沉孔20,吸附盘盖件11的中心向下延伸形成一定位凸台21,定位凸台21同轴套接在所说定位沉孔20内,从而保证中心轴10与真空吸附盘1的同轴度,定位沉孔20的侧壁上设置有用于连通两侧腔体13的通气槽22。
由于吸附气孔2的直径在1mm左右,为了保证真空吸附盘1整体的刚度和下侧面的平面度,防止其变形,真空吸附盘1厚度通常会比较大,这就会导致直接钻设直径为1mm的孔非常困难(钻孔越深,钻头越容易断),为此,在本实施例中,所采取的方式是,先用外径较大、强度较大的钻头钻设工艺孔——扩大沉孔23(直径在10mm以上),扩大沉孔23延伸到基本靠近真空吸附盘1的下侧面,然后,再翻转真空吸附盘1贯通钻设直径较小的吸附气孔2,吸附气孔2贯穿设置在扩大沉孔23的底部。从而,一方面保证了真空吸附盘1底面的平面度,另一方面也确保了吸附气孔2的钻设成功。
在本实施例中,吸附盘盖件11上周向设置有分隔筋板24,分隔筋板24与真空吸附盘1贴合的面上设置有腔体密封圈25,分隔筋板24将腔体13分隔为多个子腔体26,子腔体26之间通过子气路27连接,当抛光较小尺寸的玻璃基片时,关闭子腔体26之间的子气路27(子气路27上可设置开关阀),从而真空和吹气只在最内侧的子腔体26内发生,而遇到较大尺寸的玻璃基片时,则通过连通子气路27,使各个子腔体26之间连通形成一个覆盖面积较大的腔体13,进而可以适应多种尺寸的玻璃基片的生产,扩大了该装置的抛光应用范围,具体设置时,吸附盘盖件11采用分体式的设计,包括盖板28和轴承座29,轴承座29与中心轴10枢接,轴承座29的外缘设置有轴承凸缘30,盖板28的内缘设置有盖板凸缘31,盖板凸缘31压合在轴承凸缘30上,轴承座29与真空吸附盘1所形成的子腔体26、盖板28与真空吸附盘1所形成的子腔体26之间通过子气路27连接,同样,通过选用不同覆盖区域的盖板28,即可实现对不同尺寸的玻璃基片抛光,同样也可实现适应多种尺寸的玻璃基片的生产,扩大了该装置的抛光应用范围。
实施例二:
在本实施例中,气压调节装置采用连续调节阀,从而可以实现吹气下料气路中的气压的自动、无级调节,连续调节阀可选为比例控制阀,在吹气下料的具体控制时,先通过该比例控制阀使吸附气孔2吹出较小的气压,然后逐渐增大,同样能够实现预吹气的效果。最后,控制比例控制阀使气压全开,高压气体即可从吸附气孔2吹出,进而完全吹落玻璃基片。
以上仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,对于本领域的技术人员来说,本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种用于玻璃基片抛光的真空吸附与吹气下料装置,包括真空吸附盘(1)和真空吸附气路(42),所述真空吸附盘(1)上设置有多个吸附气孔(2),所述真空吸附气路(42)的端部与所述吸附气孔(2)连接,其特征在于,还包括吹气下料气路和用于调节所述吹气下料气路气压大小的气压调节装置,所述吹气下料气路的一端与一气源(3)连接,另一端与所述气压调节装置的一端连接,所述气压调节装置的另一端与所述吸附气孔(2)连接。
2.根据权利要求1所述的用于玻璃基片抛光的真空吸附与吹气下料装置,其特征在于,所述吹气下料气路包括主吹气下料气路(41)和预吹气下料气路(40),所述气压调节装置包括调压阀(4)、预吹气控制阀(5)和主吹气控制阀(6),所述调压阀(4)和至少一个所述预吹气控制阀(5)设置在所述预吹气下料气路(40)上,所述主吹气控制阀(6)设置在所述主吹气下料气路(41)上。
3.根据权利要求2所述的用于玻璃基片抛光的真空吸附与吹气下料装置,其特征在于,所述真空吸附气路(42)包括真空发生器(7)、真空调压阀(8)和真空过滤器(9),所述真空发生器(7)的一端与所述气源(3)连接,另一端与所述真空调压阀(8)的一端连接,所述真空调压阀(8)的另一端与所述真空过滤器(9)的一端连接,所述真空过滤器(9)的另一端与所述吸附气孔(2)连接,所述预吹气控制阀(5)为三通电磁阀,所述三通电磁阀的一端与所述调压阀(4)和真空过滤器(9)的另一端连接,该三通电磁阀的另一端与所述吸附气孔(2)连接。
4.根据权利要求1所述的用于玻璃基片抛光的真空吸附与吹气下料装置,其特征在于,所述气压调节装置为可实现吹气下料气路气压大小连续调节的连续调节阀。
5.根据权利要求1所述的用于玻璃基片抛光的真空吸附与吹气下料装置,其特征在于,所述真空吸附盘(1)外侧的吸附气孔(2)的密集程度大于所述真空吸附盘(1)内侧的吸附气孔(2)的密集程度。
6.根据权利要求1所述的用于玻璃基片抛光的真空吸附与吹气下料装置,其特征在于,还包括多个扩大沉孔(23),所述扩大沉孔(23)延伸到基本靠近所述真空吸附盘(1)的下侧面,所述吸附气孔(2)贯通设置在所述扩大沉孔(23)的底部。
7.根据权利要求1-6任一所述的用于玻璃基片抛光的真空吸附与吹气下料装置,其特征在于,还包括中心轴(10)、吸附盘盖件(11)和旋转气路接头(12),所述吸附盘盖件(11)安装在所述真空吸附盘(1)上,该吸附盘盖件(11)与所述真空吸附盘(1)之间形成有与所述吸附气孔(2)连通的腔体(13),所述中心轴(10)与所述吸附盘盖件(11)枢接的端部设置有中心孔(14),所述中心孔(14)的侧壁上设置有贯通的气管接入孔(15),所述旋转气路接头(12)安装在所述吸附盘盖件(11)的中心,其一端与所述腔体(13)连接,另一端与从所述气管接入孔(15)伸入的一气管(16)连接。
8.根据权利要求7所述的用于玻璃基片抛光的真空吸附与吹气下料装置,其特征在于,所述吸附盘盖件(11)上设置有轴承孔(17),所述轴承孔(17)内安装有滚动轴承(18),所述中心轴(10)与所述滚动轴承(18)的内圈套接,所述轴承孔(17)上方设置有一轴承端盖(19),所述轴承端盖(19)与所述中心轴(10)密封枢接。
9.根据权利要求7所述的用于玻璃基片抛光的真空吸附与吹气下料装置,其特征在于,所述真空吸附盘(1)中心设置有一定位沉孔(20),所述吸附盘盖件(11)的中心向下延伸形成一定位凸台(21),所述定位凸台(21)同轴套接在所说定位沉孔(20)内,所述定位沉孔(20)的侧壁上设置有用于连通两端所述腔体(13)的通气槽(22)。
10.根据权利要求7所述的用于玻璃基片抛光的真空吸附与吹气下料装置,其特征在于,所述吸附盘盖件(11)上周向设置有分隔筋板(24),所述分隔筋板(24)与所述真空吸附盘(1)贴合的面上设置有腔体密封圈(25),所述分隔筋板(24)将所述腔体(13)分隔为多个子腔体(26),所述子腔体(26)之间通过子气路(27)连接。
CN201920803604.8U 2019-05-30 2019-05-30 一种用于玻璃基片抛光的真空吸附与吹气下料装置 Active CN210209917U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201920803604.8U CN210209917U (zh) 2019-05-30 2019-05-30 一种用于玻璃基片抛光的真空吸附与吹气下料装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201920803604.8U CN210209917U (zh) 2019-05-30 2019-05-30 一种用于玻璃基片抛光的真空吸附与吹气下料装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN210209917U true CN210209917U (zh) 2020-03-31

Family

ID=69928824

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201920803604.8U Active CN210209917U (zh) 2019-05-30 2019-05-30 一种用于玻璃基片抛光的真空吸附与吹气下料装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN210209917U (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110170912A (zh) * 2019-05-30 2019-08-27 湖南永创机电设备有限公司 一种用于玻璃基片抛光的真空吸附与吹气下料装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110170912A (zh) * 2019-05-30 2019-08-27 湖南永创机电设备有限公司 一种用于玻璃基片抛光的真空吸附与吹气下料装置
CN110170912B (zh) * 2019-05-30 2024-03-15 湖南永创机电设备有限公司 一种用于玻璃基片抛光的真空吸附与吹气下料装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN210209917U (zh) 一种用于玻璃基片抛光的真空吸附与吹气下料装置
TWI775929B (zh) 具有筒夾聯結器的真空調整裝置
CN204344999U (zh) 一种复合阀门
CN110170912B (zh) 一种用于玻璃基片抛光的真空吸附与吹气下料装置
CN207542224U (zh) 晶圆固定装置
TW201603948A (zh) 板狀工作件之搬出方法
JP5239553B2 (ja) 充填装置の洗浄方法および充填装置
WO2022022455A1 (zh) 非接触等压灌装阀
CN103846788A (zh) 改进抛光件吸附方式的抛光机
CN104105813A (zh) 侧排型基板处理装置
KR20040101829A (ko) 행거 이송장치
CN115383618B (zh) 一种晶圆用超声减薄设备
CN218427642U (zh) 一种晶圆片减薄装置
CN105090529A (zh) 一种阀门结构及独立气密封双层卸灰阀
CN205908823U (zh) 一种物料托盘保护气囊用控制阀
CN101913549A (zh) 用于制造pet桶状容器的设备和方法
TWI707728B (zh) 研磨清潔的改良裝置
CN215847526U (zh) 抛光机以及全自动抛光机系统
JP7161868B2 (ja) 注入可能製品を物品に充填するための充填ユニットおよび方法
CN112895239A (zh) 一种微细气孔模具加工方法及微细气孔模具
CN204729640U (zh) 一种出料阀
CN106081313A (zh) 一种具有气囊气压调节功能的物料托盘
TW201805091A (zh) 物件吸載機構
CN216030068U (zh) 一种真空吸附盘以及抛光机
CN216029802U (zh) 真空吸附盘、抛光机以及全自动抛光机系统

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant