CN210201154U - 一种脉冲激光器驱动电源系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提出了一种脉冲激光器驱动电源系统,用以提高脉冲激光器的控制精度和处理速度。所述脉冲激光器驱动电源系统,包括主控模块、恒流驱动模块和恒温控制模块,主控模块包括单片机和FPGA,单片机用于根据预先设定的激光输出功率确定相应的电功率,根据电功率生成驱动信号,并向恒流驱动模块提供驱动信号;通过FPGA向恒温控制模块发送温度控制指令和预先设定的温度;恒流驱动模块用于根据驱动信号输出驱动电流以驱动LD发射激光光束;恒温控制模块用于在接收到温度控制指令后,根据预先设定的温度控制和LD的工作温度处于设定的温度范围内;FPGA,用于为激光器提供至少一路调Q信号。
Description
技术领域
本实用新型涉及电源应用技术领域,尤其涉及一种脉冲激光器驱动电源系统。
背景技术
激光应用广泛,有激光打标、激光焊接、激光切割、光纤通信、激光测距、激光雷达、激光武器、激光唱片、激光矫视、激光美容、激光扫描、激光灭蚊器等等。
激光器是能发射激光的装置,包括连续激光器和脉冲激光器。其中,脉冲激光器被称为准连续激光器,产生ms量级的脉冲,占空比为10%,这使得脉冲光具有比连续光高十倍以上的峰值功率,对于钻孔等应用来说非常有利。
随着激光技术的发展,激光应用需求不断提高,对激光器的要求也越来越高,其中之一便是提高输出功率。大功率激光器的应用通常要求激光器输出功率很高且有较好的可靠性,因此,大功率激光器要求更高的控制精度和处理速度。但是,目前适合大功率激光器的驱动电源系统仍然有不少缺陷,无法满足大功率激光器所要求的控制精度和处理速度。
实用新型内容
本实用新型要解决的是无法满足大功率激光器的控制精度和处理速度的问题,提供一种脉冲激光器驱动电源系统。
本实用新型采用的技术方案是提供一种脉冲激光器驱动电源系统,所述脉冲激光器驱动电源系统,包括:主控模块、恒流驱动模块和恒温控制模块,所述主控模块包括:单片机和现场可编程门阵列FPGA,所述单片机分别与所述FPGA和所述恒流驱动模块相连,所述FPGA与所述恒温控制模块相连,其中:
所述单片机,用于根据预先设定的激光输出功率确定相应的电功率,根据所述电功率生成驱动信号,并向所述恒流驱动模块提供所述驱动信号;通过所述FPGA向所述恒温控制模块发送温度控制指令和预先设定的温度;
所述恒流驱动模块,用于根据所述驱动信号输出驱动电流以驱动激光二极管LD发射激光光束;
所述恒温控制模块,用于在接收到所述温度控制指令后,根据所述预先设定的温度控制激光器晶体和LD的工作温度处于设定的温度范围内;
所述FPGA,用于为激光器提供至少一路调Q信号。
在一种可能的实施方式中,所述恒流驱动模块包括:第一功率可调电源电路,第一比例微积分控制PID反馈调节电路,其中:
所述第一功率可调电源电路,用于根据所述驱动信号调节电源输出功率输出驱动电流以驱动激光二极管LD发射激光光束;
所述第一PID反馈调节电路,用于通过PID闭环调节控制所述第一功率可调电源电路输出恒定电流。
在一种可能的实施方式中,所述恒流驱动模块还包括电流采样电路,其中:
所述电流采样电路,用于对所述第一功率可调电源电路输出的驱动电流进行采样处理得到第一电压采样信号,向所述单片机输出第一电压采样信号;
所述单片机,还用于根据第一电压采样信号确定所述第一功率可调电源电路输出的驱动电流超过第一预设电流阈值时,关闭电流输出。
在一种可能的实施方式中,所述电流采样电路,还用于通过所述FPGA向所述单片机输出第一电压采样信号。
在一种可能的实施方式中,所述恒温控制模块包括:控制电路、隔离式H桥电路、第二功率可调电源电路、第二PID反馈调节电路,其中:
所述控制模块,用于在接收到所述温度控制指令后,根据所述设定的温度生成控制信号,向所述第二功率可调电源电路发送所述控制信号;
所述第二功率可调电源电路,用于根据所述控制信号通过所述隔离式H桥电路向半导体致冷器TEC输出控制电流,以控制所述TEC完成加热或者制冷;
所述第二PID反馈调节电路,用于通过PID闭环调节所述第二功率可调电源电路输出的控制电流来调整TEC的加热或者制冷功率,以控制激光器晶体和LD的工作温度处于设定的温度范围内。
在一种可能的实施方式中,所述恒温控制模块还包括:温度采样电路,其中:
所述温度采样电路,用于对所述第二功率可调电源电路输出的控制电流进行采样处理得到第二电压采样信号,向所述单片机输出第二电压采样信号;
所述单片机,还用于根据第二电压采样信号确定所述第二功率可调电源电路输出的控制电流超过第二预设电流阈值时,关闭电流输出。
在一种可能的实施方式中,本实用新型实施例提供的脉冲激光器驱动电源系统,还包括:个人计算机PC上位机,其中:
所述单片机,还用于从所述PC上位机接收所述设定的激光输出功率、所述设定的温度和所述温度控制指令;通过所述PC上位机显示所述恒流驱动模块和/或所述恒温控制模块的工作状态信息;在监控到所述恒流驱动模块和/或所述恒温控制模块状态异常时,通过所述PC上位机显示状态异常提示信息。
在一种可能的实施方式中,所述单片机与所述FPGA通过可变静态存储控制器FSMC总线连接。
本实用新型还提供一种脉冲激光器驱动方法,应用于上述任一系统中,所述方法,包括:
所述单片机根据预先设定的激光输出功率确定相应的电功率,根据所述电功率生成驱动信号,并向所述恒流驱动模块提供所述驱动信号;
所述恒流驱动模块根据所述驱动信号输出驱动电流以驱动激光二极管LD发射激光光束;
所述单片机通过所述FPGA向所述恒温控制模块发送温度控制指令和预先设定的温度;
所述恒温控制模块根据接收到的温度控制指令和预先设定的温度控制激光器晶体和LD的工作温度处于设定的温度范围内。
在一种可能的实施方式中,所述恒流驱动模块根据所述驱动信号输出驱动电流以驱动激光二极管LD发射激光光束,具体包括:
所述恒流驱动模块根据所述驱动信号调节电源输出功率输出驱动电流以驱动激光二极管LD发射激光光束;
通过PID闭环调节控制所述第一功率可调电源电路输出恒定电流。
在一种可能的实施方式中,还包括:
所述恒流驱动模块对输出的驱动电流进行采样处理得到第一电压采样信号,向所述单片机输出第一电压采样信号;
所述单片机根据第一电压采样信号确定所述恒流驱动模块输出的驱动电流超过第一预设电流阈值时,关闭电流输出。
在一种可能的实施方式中,还包括:
所述恒流驱动模块通过所述FPGA向所述单片机输出第一电压采样信号。
在一种可能的实施方式中,所述恒温控制模块根据接收到的温度控制指令和预先设定的温度控制激光器晶体和LD的工作温度处于设定的温度范围内,具体包括:
所述恒温控制模块在接收到所述温度控制指令后,根据所述设定的温度生成控制信号;根据所述控制信号向半导体致冷器TEC输出控制电流,以控制所述TEC完成加热或者制冷;
通过PID闭环调节输出的控制电流来调整TEC的加热或者制冷功率,以控制激光器晶体和LD的工作温度处于设定的温度范围内。
在一种可能的实施方式中,还包括:
所述恒温控制模块对输出的控制电流进行采样处理得到第二电压采样信号,向所述单片机输出第二电压采样信号;
所述单片机根据第二电压采样信号确定所述恒温控制模块输出的控制电流超过第二预设电流阈值时,关闭电流输出。
在一种可能的实施方式中,还包括:
所述单片机从PC上位机接收所述设定的激光输出功率、所述设定的温度和所述温度控制指令;
所述单片机通过PC上位机显示所述恒流驱动模块和/或所述恒温控制模块的工作状态信息;在监控到所述恒流驱动模块和/或所述恒温控制模块状态异常时,通过所述PC上位机显示状态异常提示信息。
在一种可能的实施方式中,所述单片机与所述FPGA通过可变静态存储控制器FSMC总线连接。
采用上述技术方案,本实用新型至少具有下列优点:
本实用新型所述的脉冲激光器驱动电源系统及其驱动方法中,对恒流驱动模块和恒温控制模块采用单片机和FPGA联合控制的方式进行控制,通过单片机向恒流驱动电路提供驱动信号,来保证激光器输出功率恒定的激光,由单片机通过FPGA向恒温控制模块提供设定的温度和温度控制指令,控制激光器晶体和LD等器件的工作温度处于设定的温度范围内,另外,本实用新型提供的脉冲激光器驱动电源系统中,由FPGA输出多路调Q信号,由于FPGA输出的调Q信号精度高,处理速度快,从而,提高了驱动电源系统的控制精度和处理速度。
附图说明
图1为本实用新型实施例的脉冲激光器驱动电源系统的结构示意图;
图2为本实用新型实施例的脉冲激光器驱动方法流程图。
具体实施方式
为更进一步阐述本实用新型为达成预定目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例,对本实用新型进行详细说明如后。
本实用新型实施例提供一种基于单片机和PFGA(现场可编程门阵列)联合控制的脉冲激光器驱动电源系统,用以提高电源系统的处理速度和控制精度,另外,还可以为整套系统提供一定的扩展性和自适应性。
如图1所示,其为本实用新型实施例提供的脉冲驱动器驱动电源系统的结构示意图,包括主控模块11、恒流驱动模块12和恒温控制模块13,其中,主控模块11包括单片机111和FPGA 112,单片机111分别与1FPGA112和恒流驱动模块12相连,FPGA 112与恒温控制模块13相连。
具体实施时,单片机111与PC上位机连接,这样,用户可以通过PC上位机控制主控模块11,进而控制恒流驱动模块12和恒温控制模块13实现其所需功能。其中,PC上位机模块是用户和主控模块11进行信息交换的通道,用户通过交互界面向主控模块11输入电流、温控点等参数或者变更状态,主控模块11则通过交互界面向用户提供相关信息,以供用户阅读、分析、判断和操作。
本实用新型实施例中,单片机111,用于根据预先设定的激光输出功率确定相应的电功率,根据电功率生成驱动信号,并向恒流驱动模块12提供生成的驱动信号;通过FPGA112向恒温控制模块13发送温度控制指令和预先设定的温度;
恒流驱动模块12,用于根据接收到的驱动信号输出驱动电流以驱动LD发射激光光束(激光二极管);
恒温控制模块13,用于在接收到温度控制指令后,根据预先设定的温度控制激光器晶体和LD的工作温度处于设定的温度范围内;
FPGA 112,用于为激光器提供至少一路调Q信号。
在一种实施方式中,FPGA 112与单片机111间采用FSMC(Flexible Static MemoryController,可变静态存储控制器)总线方式进行连接,从而实现波特率可调的多路串口扩展,通过这种方式,用户可以根据系统需要添加、减少恒温控制模块的数量,从而满足不同功率、不同参数下激光器的温度控制需要。同时,FPGA可提供多路信号精度高达5ns的调Q信号供给调Q控制器,每路信号相互独立可调,用以满足不同需求。
在一种可能的实施方式中,恒流驱动模块12用于给激光器提供参数可调的恒定驱动电流,用以保证激光器输出功率恒定的激光。其可以包括第一功率可调电源电路和和第一PID(比例微积分控制)反馈调节电路,其中:第一功率可调电源电路,用于根据接收到的驱动信号调节电源输出功率输出满足要求的驱动电流以驱动LD发射激光光束;第一PID反馈调节电路,用于通过PID闭环调节控制所述第一功率可调电源电路输出恒定电流。
在另外一种可能的实施方式中,恒流驱动模块12还可以包括第一电流采样电路,将第一功率可调电源电路输出的驱动电流采样处理后反馈给主控模块进行检测监控。具体地,恒流驱动模块用于对第一功率可调电源电路输出的驱动电流进行采样处理得到第一电压采样信号,向单片机输出第一电压采样信号;单片机,还用于根据第一电压采样信号确定第一功率可调电源电路输出的驱动电流超过第一预设电流阈值时,关闭电流输出。
恒流驱动模块12通过PID闭环和功率可调电源模块来保证输出电流恒定,具有了电流稳定、调节速度快和精度高的优点。
本实用新型实施例中,恒流驱动模块可以通过电流检测模块与单片机连接,或者恒流驱动模块通过过流检测模块和FPGA模块与单片机相连,这样,可以通过双重检测对提供给激光器的电流状态进行监测,在检测到电流异常时,会停止向恒流驱动模块提供驱动信号,从而保证激光器的安全。
具体实施时,恒温控制模块13用于保证激光器晶体和LD等器件在工作期间的温度恒定,从而避免因温度过高或过低导致激光波长飘动,效率下降。在一个实施例中,恒温控制模块可以由控制电路、隔离式H桥电路、功率可调电源电路和PID反馈电路等部分组成。当恒温控制模块13接收到主控模块通过FPGA传来的温度设定值及启动温控指令后,通过H桥电路来控制TEC(半导体致冷器)完成加热或制冷,并通过PID闭环调整TEC的加热/制冷功率,从而保证激光器晶体和LD在工作时处于正常的温度范围。具体地,控制模块,用于在接收到所述温度控制指令后,根据设定的温度生成控制信号,向第二功率可调电源电路发送控制信号;第二功率可调电源电路,用于根据控制信号通过隔离式H桥电路向TEC输出控制电流,以控制TEC完成加热或者制冷;第二PID反馈调节电路,用于通过PID闭环调节第二功率可调电源电路输出的控制电流来调整TEC的加热或者制冷功率,以控制激光器晶体和LD的工作温度处于设定的温度范围内。具体实施时,控制电路可以采用单片机实现。
在另外一种实施方式中,恒温控制模块13还可以包括温度采样电路,其中,温度采样电路,用于对第二功率可调电源电路输出的控制电流进行采样处理得到第二电压采样信号,向单片机输出第二电压采样信号;单片机,还用于根据第二电压采样信号确定第二功率可调电源电路输出的控制电流超过第二预设电流阈值时,关闭电流输出。
恒温控制模块13通过PID算法结合硬件电路,能够快速有效的对激光器的工作温度进行控制,具有控制精度高、速度快、稳定好等优点,控温精度可达±0.1℃。
在一种可能的实施方式中,本实用新型实施例提供的脉冲激光器驱动电源系统还可以包括PC上位机,其中:所述单片机,还用于从所述PC上位机接收所述设定的激光输出功率、所述设定的温度和所述温度控制指令;通过所述PC上位机显示所述恒流驱动模块和/或所述恒温控制模块的工作状态信息;在监控到所述恒流驱动模块和/或所述恒温控制模块状态异常时,通过所述PC上位机显示状态异常提示信息。
本实用新型实施例提供的脉冲激光器驱动电源系统中,主控模块由单片机和FPGA两部分组成,主要负责完成主控模块的整体控制。单片机向恒流驱动模块提供驱动信号,并对提供给激光器的电流状态进行监测,当电流异常时会自动断开恒流驱动模块供电,从而保障激光器安全。单片机实时监测电源系统中各模块状态,并汇总上传至PC上位机模块,从而通过交互界面告知用户。用户可根据系统状态进行启温、停温、出光、停光等一系列操作,并随时更改系统中电流和温控点参数。
基于同一技术构思,本实用新型实施例还提供了一种脉冲激光器驱动方法,应用于上述的脉冲激光器驱动电源系统中,如图2所示,本实用新型实施例提供的脉冲激光器驱动方法,包括以下步骤:
S21、单片机根据预先设定的激光输出功率确定相应的电功率,根据所述电功率生成驱动信号,并向恒流驱动模块提供生成的驱动信号。
S22、恒流驱动模块根据接收到的驱动信号输出驱动电流以驱动LD发射激光光束;
S23、单片机通过FPGA向恒温控制模块发送温度控制指令和预先设定的温度;
S24、恒温控制模块根据接收到的温度控制指令和预先设定的温度控制激光器晶体和LD的工作温度处于设定的温度范围内。
在一种可能的实施方式中,所述恒流驱动模块根据所述驱动信号输出驱动电流以驱动激光二极管LD发射激光光束,具体包括:
所述恒流驱动模块根据所述驱动信号调节电源输出功率输出驱动电流以驱动激光二极管LD发射激光光束;
通过PID闭环调节控制所述第一功率可调电源电路输出恒定电流。
在一种可能的实施方式中,还包括:
所述恒流驱动模块对输出的驱动电流进行采样处理得到第一电压采样信号,向所述单片机输出第一电压采样信号;
所述单片机根据第一电压采样信号确定所述恒流驱动模块输出的驱动电流超过第一预设电流阈值时,关闭电流输出。
在一种可能的实施方式中,还包括:
所述恒流驱动模块通过所述FPGA向所述单片机输出第一电压采样信号。
在一种可能的实施方式中,所述恒温控制模块根据接收到的温度控制指令和预先设定的温度控制激光器晶体和LD的工作温度处于设定的温度范围内,具体包括:
所述恒温控制模块在接收到所述温度控制指令后,根据所述设定的温度生成控制信号;根据所述控制信号向半导体致冷器TEC输出控制电流,以控制所述TEC完成加热或者制冷;
通过PID闭环调节输出的控制电流来调整TEC的加热或者制冷功率,以控制激光器晶体和LD的工作温度处于设定的温度范围内。
在一种可能的实施方式中,还包括:
所述恒温控制模块对输出的控制电流进行采样处理得到第二电压采样信号,向所述单片机输出第二电压采样信号;
所述单片机根据第二电压采样信号确定所述恒温控制模块输出的控制电流超过第二预设电流阈值时,关闭电流输出。
在一种可能的实施方式中,还包括:
所述单片机从PC上位机接收所述设定的激光输出功率、所述设定的温度和所述温度控制指令;
所述单片机通过PC上位机显示所述恒流驱动模块和/或所述恒温控制模块的工作状态信息;在监控到所述恒流驱动模块和/或所述恒温控制模块状态异常时,通过所述PC上位机显示状态异常提示信息。
在一种可能的实施方式中,所述单片机与所述FPGA通过可变静态存储控制器FSMC总线连接。
需要说明的是,本实用新型实施例中的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象,而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换,以便这里描述的实施例能够以除了在这里图示或描述的内容以外的顺序实施。
在本文中提及的“多个或者若干个”是指两个或两个以上。“和/或”,描述关联对象的关联关系,表示可以存在三种关系,例如,A和/或B,可以表示:单独存在A,同时存在A和B,单独存在B这三种情况。字符“/”一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
本实用新型实施例中,采用单片机和FPGA结合的方式,提高了脉冲激光器驱动电源系统的资源利用率,并降低了系统成本。此外,具体实施时,单片机可以采用多通道的DA(数模)芯片来提供电流驱动信号,因此可以支持多个恒流驱动模块同时工作,可以满足部分脉冲激光器多级放大的要求。FPGA的波特率可调、可扩展的串行接口,能够保证系统随时增加、减少恒温控制模块,满足系统多温控点控温的要求;多路独立调Q信号也能支持多个模块同时使用。
此外,系统对恒流驱动模块和恒温控制模块的信号监控采用单片机和FPGA两路监控的方式,在产生温度故障或电流故障时,会触发保护机制,关闭电流输出以保护激光器安全,并报警告知用户对系统进行检查和维护。系统还具备一定的自恢复功能,当主控模块与恒温控制模块通信断开时,会触发自动重连机制及保护机制并发送通信故障报警信息;当通信恢复后,故障会自动解除。
本实用新型实施例提供的脉冲激光器驱动电源系统具备一定的扩展性和自适应性,能够支持恒流驱动模块、恒温控制模块、调Q模块的增加或减少,用以保证系统的灵活性,满足各类激光器使用要求。此外,系统具备处理速度快、精度高、稳定可靠等优点,自恢复机制和保护机制也能够保证使用过程中激光器的安全。
通过具体实施方式的说明,应当可对本实用新型为达成预定目的所采取的技术手段及功效得以更加深入且具体的了解,然而所附图示仅是提供参考与说明之用,并非用来对本实用新型加以限制。
Claims (10)
1.一种脉冲激光器驱动电源系统,其特征在于,包括:主控模块、恒流驱动模块和恒温控制模块,所述主控模块包括:单片机和现场可编程门阵列FPGA,所述单片机分别与所述FPGA和所述恒流驱动模块相连,所述FPGA与所述恒温控制模块相连,其中:
所述单片机,用于根据预先设定的激光输出功率确定相应的电功率,根据所述电功率生成驱动信号,并向所述恒流驱动模块提供所述驱动信号;通过所述FPGA向所述恒温控制模块发送温度控制指令和预先设定的温度;
所述恒流驱动模块,用于根据所述驱动信号输出驱动电流以驱动激光二极管LD发射激光光束;
所述恒温控制模块,用于在接收到所述温度控制指令后,根据所述预先设定的温度控制激光器晶体和LD的工作温度处于设定的温度范围内;
所述FPGA,用于为激光器提供至少一路调Q信号。
2.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,所述恒流驱动模块包括:第一功率可调电源电路和第一比例微积分控制PID反馈调节电路,其中:
所述第一功率可调电源电路,用于根据所述驱动信号调节电源输出功率输出驱动电流以驱动激光二极管LD发射激光光束;
所述第一PID反馈调节电路,用于通过PID闭环调节控制所述第一功率可调电源电路输出恒定电流。
3.根据权利要求2所述的系统,其特征在于,所述恒流驱动模块还包括:电流采样电路,其中:
所述电流采样电路,用于对所述第一功率可调电源电路输出的驱动电流进行采样处理得到第一电压采样信号,向所述单片机输出第一电压采样信号;
所述单片机,还用于根据第一电压采样信号确定所述第一功率可调电源电路输出的驱动电流超过第一预设电流阈值时,关闭电流输出。
4.根据权利要求3所述的系统,其特征在于,
所述电流采样电路,还用于通过所述FPGA向所述单片机输出第一电压采样信号。
5.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,所述恒温控制模块包括:控制电路、隔离式H桥电路、第二功率可调电源电路、第二PID反馈调节电路,其中:
所述控制模块,用于在接收到所述温度控制指令后,根据所述设定的温度生成控制信号,向所述第二功率可调电源电路发送所述控制信号;
所述第二功率可调电源电路,用于根据所述控制信号通过所述隔离式H桥电路向半导体致冷器TEC输出控制电流,以控制所述TEC完成加热或者制冷;
所述第二PID反馈调节电路,用于通过PID闭环调节所述第二功率可调电源电路输出的控制电流来调整TEC的加热或者制冷功率,以控制激光器晶体和LD的工作温度处于设定的温度范围内。
6.根据权利要求5所述的系统,其特征在于,所述恒温控制模块还包括:温度采样电路,其中:
所述温度采样电路,用于对所述第二功率可调电源电路输出的控制电流进行采样处理得到第二电压采样信号,向所述单片机输出第二电压采样信号;
所述单片机,还用于根据第二电压采样信号确定所述第二功率可调电源电路输出的控制电流超过第二预设电流阈值时,关闭电流输出。
7.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,还包括:个人计算机PC上位机,其中:
所述单片机,还用于从所述PC上位机接收所述设定的激光输出功率、所述设定的温度和所述温度控制指令。
8.根据权利要求7所述的系统,其特征在于,
所述单片机,还用于通过所述PC上位机显示所述恒流驱动模块和/或所述恒温控制模块的工作状态信息。
9.根据权利要求7所述的系统,其特征在于,
所述单片机,还用于在监控到所述恒流驱动模块和/或所述恒温控制模块状态异常时,通过所述PC上位机显示状态异常提示信息。
10.根据权利要求1~9任一项所述的系统,其特征在于,所述单片机与所述FPGA通过可变静态存储控制器FSMC总线连接。
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CN201921154816.4U CN210201154U (zh) | 2019-07-23 | 2019-07-23 | 一种脉冲激光器驱动电源系统 |
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CN201921154816.4U Active CN210201154U (zh) | 2019-07-23 | 2019-07-23 | 一种脉冲激光器驱动电源系统 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN110391590A (zh) * | 2019-07-23 | 2019-10-29 | 中国电子科技集团公司第十一研究所 | 一种脉冲激光器驱动电源系统及其驱动方法 |
CN116765591A (zh) * | 2023-08-23 | 2023-09-19 | 深圳市柠檬光子科技有限公司 | 激光加热系统 |
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2019
- 2019-07-23 CN CN201921154816.4U patent/CN210201154U/zh active Active
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CN116765591A (zh) * | 2023-08-23 | 2023-09-19 | 深圳市柠檬光子科技有限公司 | 激光加热系统 |
CN116765591B (zh) * | 2023-08-23 | 2023-11-10 | 深圳市柠檬光子科技有限公司 | 激光加热系统 |
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