CN210189476U - 一种光学镜片抛光腐蚀特征点快速检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种光学镜片抛光腐蚀特征点快速检测装置，包括底座、灯条和抛光片本体，所述底座上安装有灯条，且底座上安装有竖筒，并且竖筒上开设有定位槽，所述定位槽的内部安装有固定杆，且固定杆安装在固定槽的内部，并且固定槽开设在底座上，所述竖筒上安装有控制杆，且控制杆和横杆相连接，并且横杆安装在竖筒上，所述横杆安装在固定筒的内部，且固定筒固定在活动板上，所述竖筒安装在安装孔的内部，所述功能槽的内部固定有限位块。该光学镜片抛光腐蚀特征点快速检测装置，设计了具有调节功能的结构，解决了传统装置不方便调节检测高度的问题，同时设计了具有固定功能的结构，解决了传统装置检测效率低的问题。

Description

一种光学镜片抛光腐蚀特征点快速检测装置

技术领域

本实用新型涉及单晶硅技术领域，具体为一种光学镜片抛光腐蚀特征点快速检测装置。

背景技术

单晶硅抛光片是集成电路加工中重要的组成材料之一，其中单晶硅抛光片热处理工艺可以有效提高单晶硅抛光片的品质。

随着单晶硅抛光片的不断应用和发展，单晶硅抛光镜片在加工过程中的缺点也逐渐显现，单晶硅抛光镜片在抛光使用的过程中，会产生腐蚀特征点，其中腐蚀特征点为单晶硅抛光镜片在抛光中出现的瑕疵，其中所产生的瑕疵会导致单晶硅抛光镜片使用效果下降，现有的检测装置，需要通过对单晶硅抛光镜片进行透光检查。

现有的镜片检测装置在使用时存在着不方便调节检测高度和检测效率低的缺点。针对上述问题，急需在原有镜片检测装置的基础上进行创新设计。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种光学镜片抛光腐蚀特征点快速检测装置，以解决上述背景技术中提出不方便调节检测高度和检测效率低的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种光学镜片抛光腐蚀特征点快速检测装置，包括底座、灯条和抛光片本体，所述底座上安装有灯条，且底座上安装有竖筒，并且竖筒上开设有定位槽，所述定位槽的内部安装有固定杆，且固定杆安装在固定槽的内部，并且固定槽开设在底座上，所述竖筒上安装有控制杆，且控制杆和横杆相连接，并且横杆安装在竖筒上，所述横杆安装在固定筒的内部，且固定筒固定在活动板上，并且活动板安装在活动槽的内部，同时活动槽开设在竖筒上，所述竖筒安装在安装孔的内部，且安装孔开设在横板上，并且横板上开设有功能槽，所述功能槽的内部固定有限位块，且功能槽的内部安装有抛光片本体，并且抛光片本体和限位块相连接。

优选的，所述定位槽和固定杆为卡合连接，且固定杆和固定槽为滑动连接，并且固定杆的末端设置为弧形。

优选的，所述控制杆和横杆上均设置有锥齿轮，且控制杆和横杆上的锥齿轮为啮合连接，并且横杆关于控制杆的中心线对称设置。

优选的，所述横杆和固定筒为螺纹连接，且固定筒关于活动板的中心线对称设置，并且活动板和活动槽为滑动连接。

优选的，所述安装孔的内部嵌套有竖筒，且限位块关于安装孔的中心线等角度设置，并且限位块和抛光片本体为卡合连接，同时抛光片本体嵌套在功能槽的内部。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该光学镜片抛光腐蚀特征点快速检测装置，采用了新型的结构设计，设计了具有调节功能的结构，解决了传统装置不方便调节检测高度的问题，同时设计了具有固定功能的结构，解决了传统装置检测效率低的问题；

1.底座、灯条、竖筒、控制杆、横杆、固定筒、活动板、活动槽、安装孔和横板组成的结构是装置实现调节功能的结构基础，通过对控制杆进行控制，实现对活动板的控制，通过活动板对横板进行固定，从而对横板上抛光片本体调节后的高度进行固定，解决了传统装置不方便调节检测高度的问题；

2.底座、灯条、竖筒、定位槽、固定杆、固定槽、横板、功能槽、限位块和抛光片本体组成的结构是装置实现固定功能的结构基础，通过功能槽和限位块对抛光片本体进行固定，通过定位槽和固定杆方便使用者对检测位置进行判断，解决了传统装置检测效率低的问题。

附图说明

图1为本实用新型正视剖面结构示意图；

图2为本实用新型灯条俯视结构示意图；

图3为本实用新型图1中A处结构示意图；

图4为本实用新型竖筒俯视剖面结构示意图；

图5为本实用新型横板仰视结构示意图。

图中：1、底座；2、灯条；3、竖筒；4、定位槽；5、固定杆；6、固定槽；7、控制杆；8、横杆；9、固定筒；10、活动板；11、活动槽；12、安装孔；13、横板；14、功能槽；15、限位块；16、抛光片本体。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：一种光学镜片抛光腐蚀特征点快速检测装置，包括底座1、灯条2、竖筒3、定位槽4、固定杆5、固定槽6、控制杆7、横杆8、固定筒9、活动板10、活动槽11、安装孔12、横板13、功能槽14、限位块15和抛光片本体16，底座1上安装有灯条2，且底座1上安装有竖筒3，并且竖筒3上开设有定位槽4，定位槽4的内部安装有固定杆5，且固定杆5安装在固定槽6的内部，并且固定槽6开设在底座1上，竖筒3上安装有控制杆7，且控制杆7和横杆8相连接，并且横杆8安装在竖筒3上，横杆8安装在固定筒9的内部，且固定筒9固定在活动板10上，并且活动板10安装在活动槽11的内部，同时活动槽11开设在竖筒3上，竖筒3安装在安装孔12的内部，且安装孔12开设在横板13上，并且横板13上开设有功能槽14，功能槽14的内部固定有限位块15，且功能槽14的内部安装有抛光片本体16，并且抛光片本体16和限位块15相连接。

本例中定位槽4和固定杆5为卡合连接，且固定杆5和固定槽6为滑动连接，并且固定杆5的末端设置为弧形，这种设计保证了固定杆5能够有效通过定位槽4对竖筒3的位置进行固定，固定杆5能够有效在固定槽6中进行运动，同时保证固定杆5能够有效从定位槽4中脱离；

控制杆7和横杆8上均设置有锥齿轮，且控制杆7和横杆8上的锥齿轮为啮合连接，并且横杆8关于控制杆7的中心线对称设置，这种设计保证了控制杆7能够有效通过锥齿轮带动横杆8运动，从而使横杆8上相连接具有固定功能的结构有效运行；

横杆8和固定筒9为螺纹连接，且固定筒9关于活动板10的中心线对称设置，并且活动板10和活动槽11为滑动连接，这种设计保证了横杆8能够有效带动固定筒9运动，固定筒9能够有效带动活动板10在活动槽11上进行滑动；

安装孔12的内部嵌套有竖筒3，且限位块15关于安装孔12的中心线等角度设置，并且限位块15和抛光片本体16为卡合连接，同时抛光片本体16嵌套在功能槽14的内部，这种设计保证了竖筒3能够有效在安装孔12中进行运动，功能槽14能够有效对抛光片本体16进行限位，限位块15能够有效对抛光片本体16的位置进行支撑固定。

工作原理：当使用该装置时，首先将装置放置在水平地面上，为装置中的灯条2接通电源，将需检测的抛光片本体16放置在功能槽14的内部，其中限位块15对抛光片本体16进行支撑固定；

打开灯条2，灯条2对灯条2上方的抛光片本体16进行照射，从而进一步对抛光片本体16上的瑕疵进行观察；

当需要对装置上抛光片本体16的高度进行调整时，拉动横板13，横板13通过安装孔12在竖筒3上进行上下运动，当横板13上的抛光片本体16运动到合适的位置时，转动控制杆7，控制杆7通过控制杆7和竖筒3相连接的旋转轴承转动，控制杆7通过锥齿轮带动横杆8转动，横杆8通过横杆8和竖筒3相连接的旋转轴承转动，横杆8带动固定筒9运动，固定筒9带动活动板10在活动槽11上进行滑动，活动板10对安装孔12的内壁进行挤压，从而横板13的位置固定，横板13上抛光片本体16的高度固定；

当需要调节抛光片本体16的检测角度时，拉动横板13，横板13带动竖筒3通过竖筒3和底座1相连接的旋转轴承转动，定位槽4的内壁对固定杆5进行挤压，固定杆5在固定槽6中进行滑动，固定杆5对固定杆5和固定槽6相连接的弹簧进行挤压，当竖筒3上的抛光片本体16转动一圈后，固定杆5和定位槽4对齐，固定杆5和固定槽6相连接的弹簧推动固定杆5在固定槽6中进行滑动，固定杆5和固定槽6卡合，竖筒3的位置固定，从而方便使用者对装置上抛光片本体16转动的位置进行判断，从而进一步对下一批待检测的抛光片本体16进行过更换。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种光学镜片抛光腐蚀特征点快速检测装置，包括底座（1）、灯条（2）和抛光片本体（16），其特征在于：所述底座（1）上安装有灯条（2），且底座（1）上安装有竖筒（3），并且竖筒（3）上开设有定位槽（4），所述定位槽（4）的内部安装有固定杆（5），且固定杆（5）安装在固定槽（6）的内部，并且固定槽（6）开设在底座（1）上，所述竖筒（3）上安装有控制杆（7），且控制杆（7）和横杆（8）相连接，并且横杆（8）安装在竖筒（3）上，所述横杆（8）安装在固定筒（9）的内部，且固定筒（9）固定在活动板（10）上，并且活动板（10）安装在活动槽（11）的内部，同时活动槽（11）开设在竖筒（3）上，所述竖筒（3）安装在安装孔（12）的内部，且安装孔（12）开设在横板（13）上，并且横板（13）上开设有功能槽（14），所述功能槽（14）的内部固定有限位块（15），且功能槽（14）的内部安装有抛光片本体（16），并且抛光片本体（16）和限位块（15）相连接。

2.根据权利要求1所述的一种光学镜片抛光腐蚀特征点快速检测装置，其特征在于：所述定位槽（4）和固定杆（5）为卡合连接，且固定杆（5）和固定槽（6）为滑动连接，并且固定杆（5）的末端设置为弧形。

3.根据权利要求1所述的一种光学镜片抛光腐蚀特征点快速检测装置，其特征在于：所述控制杆（7）和横杆（8）上均设置有锥齿轮，且控制杆（7）和横杆（8）上的锥齿轮为啮合连接，并且横杆（8）关于控制杆（7）的中心线对称设置。

4.根据权利要求1所述的一种光学镜片抛光腐蚀特征点快速检测装置，其特征在于：所述横杆（8）和固定筒（9）为螺纹连接，且固定筒（9）关于活动板（10）的中心线对称设置，并且活动板（10）和活动槽（11）为滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种光学镜片抛光腐蚀特征点快速检测装置，其特征在于：所述安装孔（12）的内部嵌套有竖筒（3），且限位块（15）关于安装孔（12）的中心线等角度设置，并且限位块（15）和抛光片本体（16）为卡合连接，同时抛光片本体（16）嵌套在功能槽（14）的内部。

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