CN210149960U - 一种具有冷却机构的pvd装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种具有冷却机构的PVD装置，包括转动安装的上下贯通的散热转腔，该散热转腔的腔壁中空设置散热流道，散热转腔内安装叶轮，散热转腔与散热流道之间通过散热流道上的流道孔连通，散热转腔设置相对转动的下散热体和上散热体，下散热体和散热转腔一体设置，上散热体通过加速齿轮与散热转腔联动；PVD操作室设置接通孔，上散热体和下散热体设置散热体孔，散热转腔转动时散热流道和PVD操作室之间通过接通孔、散热体孔、流道孔间歇连通。本实用新型的具有冷却机构的PVD装置，通过PVD操作室与接通孔、散热体孔、流道孔的间歇连通，将热气从散热流道排出，更好的保证了PVD操作室内温度的均匀，避免了工件的损坏。
Description
技术领域
本实用新型属于烧结炉领域，尤其涉及一种具有冷却机构的PVD装置。
背景技术
物理气相沉积(Physical Vapor Deposition，PVD)系统广泛用于当今的平板显示器等半导体产品的制造工艺中，这种通过电离惰性气体来得到等离子体的技术目前被广泛应用于PVD工艺中。
但是现有PVD装置冷却机构对工件局部冷却效果不均匀，影响后续工艺，局部温度不均匀过大可能会导致工件损坏。
实用新型内容
为解决现有PVD装置冷却机构对工件局部冷却效果不均匀的问题，本实用新型提供了一种具有冷却机构的PVD装置。
本实用新型是这样实现的，本实用新型的具有冷却机构的PVD装置包括转动安装的上下贯通的散热转腔，通过该散热转腔可以将PVD操作室内热量排出，该散热转腔的腔壁中空设置散热流道用于排出PVD操作室内的热气，散热转腔内安装叶轮，叶轮随散热转腔转动以从散热转腔顶部吸气形成负压，散热转腔与散热流道之间通过散热流道上的流道孔连通，散热转腔设置相对转动的下散热体和上散热体，下散热体和散热转腔一体设置，上散热体通过加速齿轮与散热转腔联动，上散热体的转动速度快于下散热体的转动速度；
PVD操作室设置接通孔，上散热体和下散热体设置散热体孔，散热转腔转动时散热流道和PVD操作室之间通过接通孔、散热体孔、流道孔间歇连通，连通时PVD操作室内的热气被吸至散热流道排出；
散热转腔顶部与该散热转腔一体安装有驱动外齿轮，该驱动外齿轮与转动安装于上散热体的被动外齿轮啮合传动，上散热体具有与该被动外齿轮啮合传动的内齿轮。
PVD操作室底部圆周阵列布置落料孔，下散热体底部圆周阵列设置落料收集孔，散热转腔转动时落料孔与落料收集孔间歇连通，由于散热流道内有负压，连通时PVD操作室内的落料会被吸进落料收集箱；
PVD操作室顶部为内凹的盘状结构，外界气体由此流进散热转腔，加大了顶部的散热面积。
本实用新型的具有冷却机构的PVD装置，通过PVD操作室与接通孔、散热体孔、流道孔的间歇连通，将热气从散热流道排出，更好的保证了PVD操作室内温度的均匀，避免了工件的损坏。
附图说明
图1是本实用新型实施例提供的具有冷却机构的PVD装置的结构示意图；
图中：1、落料收集孔；2、落料孔；3、PVD操作室；4、接通孔；5、散热体孔；6、被动外齿轮；7、上散热体；8、驱动外齿轮；9、散热转腔；10、散热流道；11、流道孔；12、落料收集箱；13、驱动电机；14、驱动齿轮；15、叶轮；16、下散热体；17、径向轴承。
具体实施方式
为能进一步了解本实用新型的实用新型内容、特点及功效，兹例举以下实施例，并配合附图详细说明如下。
下面结合附图对本实用新型的结构作详细的描述。
本实用新型的具有冷却机构的PVD装置包括转动安装的上下贯通的散热转腔9，散热转腔9由驱动电机13和驱动齿轮14驱动转动，该散热转腔9的腔壁中空设置散热流道10用于排出PVD操作室3内的热气，散热转腔9内安装叶轮15，叶轮15随散热转腔9转动以从散热转腔9顶部吸气形成负压，散热转腔9与散热流道10之间通过散热流道10上的流道孔11连通，散热转腔9设置相对转动的下散热体16和上散热体7，上散热体7和下散热体16之间安装径向轴承17以方便相对转动，下散热体16和散热转腔9一体设置，散热转腔9顶部与该散热转腔9一体安装有驱动外齿轮8，该驱动外齿轮8与转动安装于上散热体7的被动外齿轮6啮合传动，上散热体7具有与该被动外齿轮6啮合传动的内齿轮；
PVD操作室3设置接通孔4，上散热体7和下散热体16设置散热体孔5，散热转腔9转动时散热流道10和PVD操作室3之间通过接通孔4、散热体孔5、流道孔11间歇连通，连通时PVD操作室3内的热气被吸至散热流道10排出，PVD操作室3内顶部气体温度高于下部，上散热体7的转动速度快于下散热体的转动速度，所以PVD操作室3内顶部排热气频率更快，以保持PVD操作室3内温度更均匀；PVD操作室3顶部为内凹的盘状结构，外界气体由此流进散热转腔9，加大了PVD操作室3顶部的散热面积，使得PVD操作室3内山下温度更均匀；
PVD操作室3底部圆周阵列布置落料孔2，下散热体16底部圆周阵列设置落料收集孔1，散热转腔9转动时落料孔2与落料收集孔1间歇连通，由于散热流道10内有负压，连通时PVD操作室3内的落料会被吸进落料收集箱12，使得落料收集更方便；
本实用新型的具有冷却机构的PVD装置，通过PVD操作室与接通孔、散热体孔、流道孔的间歇连通，将热气从散热流道排出，更好的保证了PVD操作室内温度的均匀，避免了工件的损坏。
以上所述仅是对本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改，等同变化与修饰，均属于本实用新型技术方案的范围内。
Claims (4)
1.一种具有冷却机构的PVD装置，其特征在于，包括转动安装的上下贯通的散热转腔，该散热转腔的腔壁中空设置散热流道，散热转腔内安装叶轮，散热转腔与散热流道之间通过散热流道上的流道孔连通，散热转腔设置相对转动的下散热体和上散热体，下散热体和散热转腔一体设置，上散热体通过加速齿轮与散热转腔联动；
PVD操作室设置接通孔，上散热体和下散热体设置散热体孔，散热转腔转动时散热流道和PVD操作室之间通过接通孔、散热体孔、流道孔间歇连通。
2.如权利要求1所述具有冷却机构的PVD装置，其特征在于，散热转腔顶部与该散热转腔一体安装有驱动外齿轮，该驱动外齿轮与转动安装于上散热体的被动外齿轮啮合传动，上散热体具有与该被动外齿轮啮合传动的内齿轮。
3.如权利要求2所述具有冷却机构的PVD装置，其特征在于，PVD操作室底部圆周阵列布置落料孔，下散热体底部圆周阵列设置落料收集孔，散热转腔转动时落料孔与落料收集孔间歇连通。
4.如权利要求1至3中任一项所述具有冷却机构的PVD装置，其特征在于，PVD操作室顶部为内凹的盘状结构。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201920679241.1U CN210149960U (zh) | 2019-05-13 | 2019-05-13 | 一种具有冷却机构的pvd装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN210149960U true CN210149960U (zh) | 2020-03-17 |
Family
ID=69758867
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201920679241.1U Active CN210149960U (zh) | 2019-05-13 | 2019-05-13 | 一种具有冷却机构的pvd装置 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN210149960U (zh) |
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2019
- 2019-05-13 CN CN201920679241.1U patent/CN210149960U/zh active Active
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