CN210106422U - 一种石墨套轴 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种石墨套轴包括履带架，包括电机轴，所述电机轴的底端外表面固定安装有钢轴，且钢轴远离电机轴的一端固定安装有碳轴，所述钢轴的外表面靠近碳轴的位置设有外螺纹，且钢轴的外表面通过内外螺纹活动安装有石墨轴，所述石墨轴的内部中心处贯穿开设有通孔，所述钢轴的外表面靠近电机轴的位置焊接有连接套筒，且连接套筒的外表面活动安装有连接载环。本实用新型所述的一种石墨套轴，根据电机轴、钢轴与碳轴的热膨胀系数，在石墨轴内表面预留出热膨胀的间隙位置，使整个轴在炉腔内部温度升高后依然能精密啮合，从而使整个轴在生长过程中很好保证了同心度，使得腔体内的坩埚能够均衡受热，方便温度的精准控制。
Description
技术领域
本实用新型涉及碳化硅制备领域，特别涉及一种石墨套轴。
背景技术
碳化硅晶体结晶工艺就是将高纯碳化硅原料在坩埚中升华，气化，在特定籽晶上重新完成结晶、扩径和退火处理等程序最终得到碳化硅晶体，在碳化硅制备时需要电机带动支撑轴进行旋转；
现有的支撑轴在使用时存在一定的弊端，由于坩埚特殊的内部环境，要求腔体内部除了碳元素和硅元素外不许有其他元素存在，而支撑轴连接电机且轴距太长，在常温条件下，能保证支撑轴的同心度，但炉腔内温度逐步升高后，由于三种材质的热膨胀系数具有的较大区别，同心度会出现严重偏差，导致支撑轴在腔体内部不同心，随之而来的是长晶过程中坩埚受热不均衡，达不到温度的精准控制，在提拉选择系统开启后，此问题更加明显，为此，我们提出一种石墨套轴。
实用新型内容
本实用新型的主要目的在于提供一种石墨套轴可以有效解决背景技术中的问题。
为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：
一种石墨套轴，包括电机轴，所述电机轴的底端外表面固定安装有钢轴，且钢轴远离电机轴的一端固定安装有碳轴，所述钢轴的外表面靠近碳轴的位置设有外螺纹，且钢轴的外表面通过内外螺纹活动安装有石墨轴，所述石墨轴的内部中心处贯穿开设有通孔，且通孔的内表面靠近顶端位置开设有预留槽，预留槽的内直径大于通孔的内直径，所述钢轴的外表面靠近电机轴的位置焊接有连接套筒，且连接套筒的外表面活动安装有连接载环，所述连接载环的底端外表面靠近四角位置均焊接有插销，且插销的底端外表面焊接有半圆形插头。
优选的，所述连接套筒的外表面等间距焊接有四个滑轨，所述连接载环的内表面等间距开设有四个滑轨槽。
优选的，所述电机轴、钢轴与碳轴的外直径均相等，所述通孔的内直径与钢轴的外直径相等。
优选的，所述石墨轴的顶端外表面靠近通孔的位置等间距开设有四个插槽。
优选的，所述插销的外直径与插槽的内直径相等。
优选的，所述连接套筒的外表面靠近底端位置焊接有挡环。
与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：
1、根据电机轴、钢轴与碳轴的热膨胀系数，在石墨轴内表面预留出热膨胀的间隙位置，使整个轴在炉腔内部温度升高后依然能精密啮合，从而使整个轴在生长过程中很好保证了同心度，使得腔体内的坩埚能够均衡受热，方便温度的精准控制；
2、通过钢轴与石墨轴之间通过内外螺纹连接，方便对石墨轴进行更换与检测；
3、由于钢轴与石墨轴之间设置有内外螺纹，使得钢轴与石墨轴之间只能进行旋转，再通过钢轴的外表面焊接有连接套筒，并将连接套筒外表面的插销插入到石墨轴中，使得石墨轴不能发生旋转，从而完成对石墨轴的固定，能够自由的调节石墨轴的位置。
附图说明
图1为本实用新型一种石墨套轴的整体截面图；
图2为本实用新型一种石墨套轴中石墨轴的结构图；
图3为本实用新型一种石墨套轴中连接套筒与连接载环的结构图。
图中：1、电机轴；2、钢轴；3、碳轴；4、石墨轴；5、连接套筒；6、通孔；7、连接载环；8、插销。
具体实施方式
为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
参照图1-3所示，一种石墨套轴，包括电机轴1，电机轴1的底端外表面固定安装有钢轴2，且钢轴2远离电机轴1的一端固定安装有碳轴3，钢轴2的外表面靠近碳轴3的位置设有外螺纹，且钢轴2的外表面通过内外螺纹活动安装有石墨轴4，石墨轴4的内部中心处贯穿开设有通孔6，且通孔6的内表面靠近顶端位置开设有预留槽，预留槽的内直径大于通孔6的内直径，钢轴2的外表面靠近电机轴1的位置焊接有连接套筒5，且连接套筒5的外表面活动安装有连接载环7，连接载环7的底端外表面靠近四角位置均焊接有插销8，且插销8的底端外表面焊接有半圆形插头。
参照图3，连接套筒5的外表面等间距焊接有四个滑轨，连接载环7的内表面等间距开设有四个滑轨槽。
参照图1，电机轴1、钢轴2与碳轴3的外直径均相等，通孔6的内直径与钢轴2的外直径相等。
参照图2，石墨轴4的顶端外表面靠近通孔6的位置等间距开设有四个插槽。
参照图1，插销8的外直径与插槽的内直径相等。
参照图3，连接套筒5的外表面靠近底端位置焊接有挡环。
使用时，先手动将连接载环7向上拉，再将石墨轴4从碳轴3的下方套在钢轴2的外表面，之后旋转石墨轴4，使得石墨轴4在内外螺纹的作用下与钢轴2活动连接，同时使得石墨轴4顶端的插槽与连接载环7底端的插销8相对应，再手动将连接载环7向下按，使得连接载环7底端的插销8插入到插槽中，完成钢轴2与石墨轴4之间的固定，由于钢轴2与石墨轴4之间的内外螺纹，使得钢轴2与石墨轴4之间只能进行旋转，再通过将连接套筒5外表面的插销8插入到石墨轴4中，由于连接载环7内表面的滑轨槽与连接套筒5外表面的滑轨相互配合，使得连接载环7与连接套筒5之间不能进行相对旋转，由于石墨轴4与连接载环7连接，因此石墨轴4不能发生旋转，从而完成对石墨轴4的固定，能够自由的调节石墨轴4的位置，之后将电机轴1与电机连接，通过电机带动电机轴1、钢轴2与碳轴3一起进行旋转，根据电机轴1、钢轴2与碳轴3的热膨胀系数，在石墨轴4靠近顶端位置预留出热膨胀的间隙位置，使整个轴在炉腔内温度升高后依然能精密啮合，从而使整个轴在生长过程中很好保证了同心度，腔体内的坩埚能够均衡受热，方便温度的精准控制。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (6)
1.一种石墨套轴，包括电机轴(1)，所述电机轴(1)的底端外表面固定安装有钢轴(2)，且钢轴(2)远离电机轴(1)的一端固定安装有碳轴(3)，其特征在于：所述钢轴(2)的外表面靠近碳轴(3)的位置设有外螺纹，且钢轴(2)的外表面通过内外螺纹活动安装有石墨轴(4)，所述石墨轴(4)的内部中心处贯穿开设有通孔(6)，且通孔(6)的内表面靠近顶端位置开设有预留槽，预留槽的内直径大于通孔(6)的内直径，所述钢轴(2)的外表面靠近电机轴(1)的位置焊接有连接套筒(5)，且连接套筒(5)的外表面活动安装有连接载环(7)，所述连接载环(7)的底端外表面靠近四角位置均焊接有插销(8)，且插销(8)的底端外表面焊接有半圆形插头。
2.根据权利要求1所述的一种石墨套轴，其特征在于：所述连接套筒(5)的外表面等间距焊接有四个滑轨，所述连接载环(7)的内表面等间距开设有四个滑轨槽。
3.根据权利要求1所述的一种石墨套轴，其特征在于：所述电机轴(1)、钢轴(2)与碳轴(3)的外直径均相等，所述通孔(6)的内直径与钢轴(2)的外直径相等。
4.根据权利要求1所述的一种石墨套轴，其特征在于：所述石墨轴(4)的顶端外表面靠近通孔(6)的位置等间距开设有四个插槽。
5.根据权利要求4所述的一种石墨套轴，其特征在于：所述插销(8)的外直径与插槽的内直径相等。
6.根据权利要求1所述的一种石墨套轴，其特征在于：所述连接套筒(5)的外表面靠近底端位置焊接有挡环。
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| CN201920971350.0U CN210106422U (zh) | 2019-06-26 | 2019-06-26 | 一种石墨套轴 |
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| CN (1) | CN210106422U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113953122A (zh) * | 2021-12-23 | 2022-01-21 | 苏州优晶光电科技有限公司 | 一种可自动定中心的碳化硅晶锭粘结加工设备及方法 |
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2019
- 2019-06-26 CN CN201920971350.0U patent/CN210106422U/zh active Active
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