CN210099255U - 一种真空吸附载台 - Google Patents

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CN210099255U CN201920792480.8U CN201920792480U CN210099255U CN 210099255 U CN210099255 U CN 210099255U CN 201920792480 U CN201920792480 U CN 201920792480U CN 210099255 U CN210099255 U CN 210099255U
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黄显东
庄昌辉
冯玙璠
陈治贤
潘凯
戴剑
温喜章
肖骐
吴灏淮
尹建刚
高云峰
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Shenzhen Hans Semiconductor Equipment Technology Co Ltd
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Han s Laser Technology Industry Group Co Ltd
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Abstract

本实用新型涉及激光加工领域技术领域,具体涉及一种真空吸附载台。所述真空吸附载台,包括载台,所述载台上开设有方便切割的切割道,所述切割道将载台分割成内台和外台,所述内台上开设有若干用于吸附产品的气孔,所述内台四周的边缘开设有若干用于吸附产品边缘的条形孔。通过在载台上开设有切割道,气孔设置在内台上,将产品吸附固定,条形孔设置在内台四周的边缘,吸附产品的边缘,达到了避免产品边缘翘曲的目的,同时条形孔可以增大与产品的接触面积,增大了吸附力,使吸附更为紧密。

Description

一种真空吸附载台
技术领域
本实用新型涉及激光加工领域技术领域,具体涉及一种真空吸附载台。
背景技术
激光切割作为一种新型的热切割技术,由于其切割速度快、切割效率高、切割质量好和精度高等优势,广泛应用于各类材料加工领域,其中在显示行业,一些柔性膜材如PET保护膜等用作手机或电脑屏的保护膜、柔性显示屏的支撑基板,或其它类似的聚合物膜材以及多层结构的柔性显示屏等在使用激光加工的过程中,为了防止材料翘曲,加工时会采用真空吸附使得材料整体贴合在载台上,但是,在加工的过程中,材料切割道处为了减小激光作用的热累积,会将载台上对应的切割道位置掏空,形成凹槽。在进行激光切割时,切割道附近的产品由于真空吸附小孔位置分布不一定均匀,且悬于切割道上的产品边缘处无吸附,会使得这一区域的产品发生翘曲,偏离激光加工焦点,导致加工失败。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题在于,针对现有技术的上述缺陷,提供一种真空吸附载台,克服现有吸附载台切割道边缘无法吸附产品导致产品翘曲的缺陷。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:提供一种真空吸附载台,包括载台,所述载台上开设有方便切割的切割道,所述切割道将载台分割成内台和外台,所述内台上开设有若干用于吸附产品的气孔,所述内台四周的边缘开设有若干用于吸附产品边缘的条形孔。
本实用新型的更进一步优选方案是:若干所述气孔相互连通。
本实用新型的更进一步优选方案是:所述气孔均匀的设置在内台上。
本实用新型的更进一步优选方案是:所述载台上还开设有第一连接孔,所述第一连接孔与气孔连通。
本实用新型的更进一步优选方案是:若干所述条形孔相互连通。
本实用新型的更进一步优选方案是:所述条形孔均匀的设置在内台边缘。
本实用新型的更进一步优选方案是:所述载台上还设有第二连接孔,所述第二连接孔与条形孔连通。
本实用新型的更进一步优选方案是:所述载台上还设有第三连接孔,所述第三连接孔与切割道连通。
本实用新型的有益效果在于,通过在载台上开设有切割道,气孔设置在内台上,将产品吸附固定,条形孔设置在内台四周的边缘,吸附产品的边缘,达到了避免产品边缘翘曲的目的,同时条形孔可以增大与产品的接触面积,增大了吸附力,使吸附更为紧密。
附图说明
下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明,附图中:
图1是本实用新型的真空吸附台的结构示意图。
具体实施方式
现结合附图,对本实用新型的较佳实施例作详细说明。
如图1所示,本实用新型的真空吸附载台,包括载台1,所述载台1上开设有方便切割的切割道2,所述切割道2将载台1分割成内台11和外台12,所述内台11上开设有若干用于吸附产品的气孔111,所述内台11四周的边缘开设有若干用于吸附产品边缘的条形孔112。通过在载台1上开设有切割道2,气孔111设置在内台11上,将产品吸附固定,条形孔112设置在内台11四周的边缘,吸附产品的边缘,达到了避免产品边缘翘曲的目的,同时条形孔可以增大与产品的接触面积,增大了吸附力,使吸附更为紧密。
若干所述气孔111相互连通,在本实施例中,所述气孔111的形状为圆形,所述气孔均匀的设置在内台11上,所述载台1上还开设有第一连接孔13,所述第一连接孔13与气孔111连通,所述第一连接孔13外侧与真空泵连接,向气孔111通入真空,将产品吸附在内台11上。所述气孔111共有十六行,每行分别设有九个气孔111,多个气孔111将产品紧紧吸附在内台11上。
若干所述条形孔112相互连通,所述条形孔112均匀的设置在内台11边缘,所述载台1上还设有第二连接孔14,所述第二连接孔14与条形孔112连通。所述第二连接孔14外侧与抽气泵连接,通过条形孔112使产品的边缘紧紧吸附在内台11的边缘上,避免激光切割后产品边缘翘曲。在本实施例中,所述条形孔112共设有五十个,所述载台1的形状为长方形,所述条形孔112均匀的设置在内台11的边缘上,可增强产品边缘的吸附,提高工作效率。
所述载台1上还设有第三连接孔15,所述第三连接孔15与切割道2连通,在本实施例中,所述切割道2上开设有若干凹槽(图未示),所述凹槽与第三连接孔15连通,所述第三连接孔15外侧与气泵连接,气流依次经过第三连接孔15、凹槽,到达切割道2,用于降低切割时产品上的热影响,提高工作效率。
应当理解的是,以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案,而非对其限制,对本领域技术人员来说,可以对上述实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换;而所有这些修改和替换,都应属于本实用新型所附权利要求的保护范围。

Claims (8)

1.一种真空吸附载台,包括载台,所述载台上开设有方便切割的切割道,所述切割道将载台分割成内台和外台,所述内台上开设有若干用于吸附产品的气孔,其特征在于,所述内台四周的边缘开设有若干用于吸附产品边缘的条形孔。
2.根据权利要求1所述的真空吸附载台,其特征在于:若干所述气孔相互连通。
3.根据权利要求2所述的真空吸附载台,其特征在于:所述气孔均匀的设置在内台上。
4.根据权利要求3所述的真空吸附载台,其特征在于:所述载台上还开设有第一连接孔,所述第一连接孔与气孔连通。
5.根据权利要求4所述的真空吸附载台,其特征在于:若干所述条形孔相互连通。
6.根据权利要求5所述的真空吸附载台,其特征在于:所述条形孔均匀的设置在内台边缘。
7.根据权利要求6所述的真空吸附载台,其特征在于:所述载台上还设有第二连接孔,所述第二连接孔与条形孔连通。
8.根据权利要求7所述的真空吸附载台,其特征在于:所述载台上还设有第三连接孔,所述第三连接孔与切割道连通。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111085954A (zh) * 2019-12-24 2020-05-01 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 基板吸附装置
CN111469392A (zh) * 2020-04-01 2020-07-31 深圳市联得自动化装备股份有限公司 贴膜装置

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Patentee before: HAN'S LASER TECHNOLOGY INDUSTRY GROUP Co.,Ltd.