CN210074419U - 激光器腔面镀膜用陪条装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种激光器腔面镀膜用陪条装置，用于将两个激光器正条间隔开，该陪条装置包括陪条本体，所述陪条本体沿陪条长度方向延伸的四条棱角均设有倒角，所述陪条本体未倒角部分的宽度小于正条的宽度。本实用新型陪条本体沿陪条长度方向延伸的四条棱角均设有倒角，陪条设计宽度可以与正条宽度一致，且陪条的中心与正条的中心允许有一定的高度差，降低了对摆条设备的要求，本实用新型设计精巧，使用简单，解决了目前镀膜时边缘蒸发被阻挡导致的镀膜不均匀的问题及导致的半导体激光器期间报废的问题，提高了产出良率和可靠性，同时也改善了膜层粘连所带来的分离难，减少了半导体激光器腔面薄膜污染，损失，以及正条断裂的问题。

Description

激光器腔面镀膜用陪条装置

技术领域

本实用新型涉及激光器腔面镀膜技术领域，尤其涉及一种激光器腔面镀膜用陪条装置。

背景技术

目前在InP衬底上制做半导体激光器工艺中，需要在腔面的背光面镀反射膜，出光面镀增透膜，镀膜工艺是影响激光器机器良率和可靠性的核心工艺。目前的镀膜工艺在Bar条（正条）摆放的过程中，都会使用到陪条。陪条和产品Bar条（正条）在夹具中交替摆放，陪条宽度比正条宽度窄10-50um，固定后再进镀膜机进行镀膜，陪条和正条都是长方体的长条。

上述的陪条和正条的摆放方式，实际在镀膜过程中仍然存在一些问题，会影响镀膜的良率与性能。主要原因是实际在正条和陪条摆放到夹具过程中，目前使用的摆条方式是正条与陪条都以夹具中心位置为准，通过陪条与正条的宽度尺寸差，让正条两端凸出来达到我们想要的理想效果，但实际上设备精度总是会有些误差，导致存在有一个端面陪条比正条凸出还要多，另一个面就会出现严重的膜溢出问题

如图1所示，当出现因为摆条设备摆放是陪条突出超过正条时，会在陪条和正条接触处（见图1圈出的位置），因为镀膜蒸发角度问题，导致正条的腔面接触处出现镀膜膜层不均匀(实际厚度与设计厚度有差异)，这种靠近正条端面靠近上下面边缘的镀膜不均匀会影响激光器器件出光功率等，阈值电流等关键性能，导致芯片报废。此外，因为陪条比正条突出原因，在镀膜过程中，陪条和正条接触处因为蒸发后膜层整体覆盖，容易出现陪条和正条出现粘连，导致下条时正条与陪条分开时断裂，污染等现象，影响良率。其次，目前使用的陪条，一般都是一次使用就废弃了，而做陪条的成本实际上是很高的，因此存在成本高的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种激光器腔面镀膜用陪条装置，旨在用于解决现有的激光器腔面镀膜用陪条装置在摆条时容易出现陪条比正条突出导致镀膜不均匀以及陪条和正条出现粘连的问题。

本实用新型是这样实现的：

本实用新型提供一种激光器腔面镀膜用陪条装置，用于将两个激光器正条间隔开，该陪条装置包括陪条本体，所述陪条本体沿陪条长度方向延伸的四条棱角均设有倒角，所述陪条本体未倒角部分的宽度小于正条的宽度。

进一步地，所述倒角为直线倒角。

进一步地，所述倒角的角度为130-140度，倒角深度为10-30μm。

进一步地，所述倒角为弧形倒角。

进一步地，所述陪条本体的宽度与正条的宽度一致。

进一步地，所述陪条本体的长度为30-40mm。

进一步地，所述陪条本体的厚度为 100-200μm。

进一步地，所述陪条本体采用金属材质制成。

进一步地，所述陪条本体采用不锈钢材质制成。

进一步地，所述陪条本体所采用材料的粗糙度不大于0.1μm。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型提供的这种激光器腔面镀膜用陪条装置，陪条本体沿陪条长度方向延伸的四条棱角均设有倒角，使得陪条本体宽度方向的两端呈渐缩状，陪条设计宽度可以与正条宽度一致，且陪条的中心与正条的中心允许有一定的高度差，降低了对摆条设备的要求，本发明设计精巧，使用简单，解决了目前镀膜时边缘蒸发被阻挡导致的镀膜不均匀的问题及导致的半导体激光器期间报废的问题，提高了产出良率和可靠性，同时也改善了膜层粘连所带来的分离难，减少了半导体激光器腔面薄膜污染，损失，以及正条断裂的问题。

附图说明

图1为现有技术的一种激光器腔面镀膜陪条与正条摆放示意图；

图2为本实用新型实施例提供的一种激光器腔面镀膜用陪条装置的结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的一种激光器腔面镀膜用陪条装置与正条摆放的示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图2和图3所示，本实用新型实施例提供一种激光器腔面镀膜用陪条装置，用于激光器正条3镀膜时将两个激光器正条3间隔开，该陪条装置包括陪条本体1，所述陪条本体1呈长方体状，所述陪条本体1沿陪条长度方向延伸的四条棱角均设有倒角2，使得陪条宽度方向的两端呈渐缩状，所述陪条本体1未倒角部分的宽度小于正条3的宽度，保证正条3的两端可以同时突出于陪条本体1未倒角的部分，陪条本体1的整体宽度可以大于或等于正条3的宽度。这样在摆条的过程中，如果出现了陪条本体1突出正条3的情况时，因为该倒角2的设计，正条3在与陪条本体1接触处正条3两端仍然可以是全部露出的，不存在镀膜时边缘蒸发被阻挡导致的镀膜不均匀的问题；而且因为接触处存在倒角2，这样镀膜时出现陪条本体1和正条3粘连的情况就大为降低，有效解决了粘连导致的整条断裂，污染，损伤的问题。

本实用新型实施例提供的这种激光器腔面镀膜用陪条装置，陪条本体1沿陪条长度方向延伸的四条棱角均设有倒角2，使得陪条本体1宽度方向的两端呈渐缩状，陪条设计宽度可以与正条3宽度一致，且陪条的中心与正条3的中心允许有一定的高度差，降低了对摆条设备的要求，本发明设计精巧，使用简单，解决了目前镀膜时边缘蒸发被阻挡导致的镀膜不均匀的问题及导致的半导体激光器期间报废的问题，提高了产出良率和可靠性，同时也改善了膜层粘连所带来的分离难，减少了半导体激光器腔面薄膜污染，损失，以及正条3断裂的问题。

作为实施方式之一，所述倒角2为直线倒角。优选地，所述倒角2的角度R为130-140度，优选为135度，倒角2深度D为10-30μm，优选为20μm。既保证一定的倒角，又保证了陪条本体1与正条3的接触面积，确保稳定性。作为另外一种实施方式，所述倒角2还可以为弧形倒角，同样可以达到上述效果。

作为本实施例的优选，所述陪条本体1的宽度W与正条3的宽度一致，为150-300μm，优选为用250μm，这样可以方便摆条，降低对摆条设备的要求。

作为本实施例的优选，所述陪条本体1的长度L为30-40mm，优选为35 毫米，方便操作。

作为本实施例的优选，所述陪条本体1的厚度H为 100-200μm，优选为150μm，既方便夹持，不易变形，又尽可能地减少成本。

进一步优选地，所述陪条本体1采用金属材质制成，因为金属陪条可以反复使用，整体成本大大降低。更为优选地，所述陪条本体1采用304不锈钢材质或306不锈钢材质制成。不锈钢材料在精密机械加工很容易实现，制造成本比目前使用的材料做的陪条成本低，因此大幅度的降低陪条制作成本。

进一步优选地，所述陪条本体1所采用材料的粗糙度不大于0.1μm，使得陪条本体1与正条3接触更好。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种激光器腔面镀膜用陪条装置，用于将两个激光器正条间隔开，其特征在于：该陪条装置包括陪条本体，所述陪条本体沿陪条长度方向延伸的四条棱角均设有倒角，所述陪条本体未倒角部分的宽度小于正条的宽度。

2.如权利要求1所述的激光器腔面镀膜用陪条装置，其特征在于：所述倒角为直线倒角。

3.如权利要求2所述的激光器腔面镀膜用陪条装置，其特征在于：所述倒角的角度为130-140度，倒角深度为10-30μm。

4.如权利要求1所述的激光器腔面镀膜用陪条装置，其特征在于：所述倒角为弧形倒角。

5.如权利要求1所述的激光器腔面镀膜用陪条装置，其特征在于：所述陪条本体的宽度与正条的宽度一致。

6.如权利要求1所述的激光器腔面镀膜用陪条装置，其特征在于：所述陪条本体的长度为30-40mm。

7.如权利要求1所述的激光器腔面镀膜用陪条装置，其特征在于：所述陪条本体的厚度为 100-200μm。

8.如权利要求1所述的激光器腔面镀膜用陪条装置，其特征在于：所述陪条本体采用金属材质制成。

9.如权利要求8所述的激光器腔面镀膜用陪条装置，其特征在于：所述陪条本体采用不锈钢材质制成。

10.如权利要求1所述的激光器腔面镀膜用陪条装置，其特征在于：所述陪条本体所采用材料的粗糙度不大于0.1μm。

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